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1991년
eng
2166-2746
2166-2754
SCIE
학술저널
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena
1497-1502 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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Reactive sputtering of InP in N2 and N2/O2 plasmas
Chemically assisted ion beam etching of InP and InSb using reactive flux of iodine and Ar+ beam