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https://www.riss.kr/link?id=O38975600
1998년
dut
0167-9317
1873-5568
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
MICROELECTRONIC ENGINEERING
473-476 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
Micro- and nanofabrication
International conference
Leuven; Belgium
1998; Sep
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