논산시 성동면 우곤리의 남양전씨와 소장 고문서

안승준 한국고문서학회 1998 古文書硏究 Vol.14 No.1

N_(2) 가스 Flow에 의한 LPCVD 방법으로 증착된 다결정 실리콘 박막의 산소농도 저하

안승준,정민호 韓國材料學會 1998 한국재료학회지 Vol.8 No.4

일반적으로 LPCVD 방법에 의한 다결정 실리콘 박막은 SiH_(4) 가스를 열분해하여 증착한다. 본 실험에서는 다결정 실리콘 박막속에 포함된 산소농도를 낮추기 위하여 실리콘 웨이퍼를 반응로 안으로 장착할 때, 20slm의 N_(2) 가스를 반응로의 위에서부터 아래로 flow하였으며 박막의 산소농도를 측정하기 위하여 두께가 1000Å인 박막을 증착한 다음 SIMS로 분석한 결과 반응로의 hatch에 있는 짧은 injector를 통하여 20slm의 N_(2) 가스를 flow한 경우보다 박막의 산소농도가 ∼30배 정도 낮아짐을 알 수 있었다. 긴 injector를 사용하여 증착된 박막의 두께 균일도, particle 및 Rs를 측정하여 박막증착의 재현성이 있음을 평가하였다. Polycrystalline silicon films are generally deposited by LPCVD, utilizing the thermal decomposition of SiH_(4) gas. When silicon wafers are loaded into the furnace in order to reduce oxygen concentration of the films, we flow 20slm N_(2) gas from top to bottom of the furnace, and then deposit films of 1000Å thickness to measure oxygen concentration by SIMS. As a consequence of SIMS, we obtain oxygen concentration in films lower about 30 times than that of films deposited with 20slm N_(2) gas-flow through the short injector in the hatch of furnace. In our long injector system, we estimate a reproducibility by uniformity, particle, and Rs of the deposited films.

Effect of Laser Annealing on Permeability Spectra in Co-based Amorphous Ribbon

안승준 선문대학교 자연과학대학 1998 자연과학대학 논문집 Vol.1 No.-

Co-based 비정질 리본을 펄스형 Nd:YAG 레이저의 에너지, E_(a)를 변화 시키면서 열처리하여 투자율과 relaxation frequency의 변화를 연구하였다. 복소 투자율 분광선은 열처리 에너지에 따라 민감하게 변하였다. 이 분광선을 자구회전에 의한 자화와 μ_(rot)(f)자벽이동에 의한 자화, μ_(dw)(f)로 분리할 수 있었다. 투자율의 크기는 자벽이동과 자구회전 모두 열처리 에너지가 176 mJ일 때 최대값을 나타냈다. 그리고 자구회전과 자벽 이동에서 relaxation frequency의 최대값은 각각 E_(a)=62 mJ에서 700 kHz, 230 mJ에서 26 kHz로 나타났다. 이런 변화는 레이저 열처리에 의해 시료의 magnetic softness와 내부 미세구조의 변화되었음을 반영한다. We investigated the variation of permeability spectra and relaxation frequency in Co-based amorphous ribbon annealed by pulsed Nd:YAG laser at various annealing energy, E_(a). The complex permeability spectra varied sensitively with the annealing energy, where the spectra could be decomposed into two contributions from domain wall motion, μ_(dw)(f) and rotational magnetization, μ_(rot)(f) by analyzing the measured spectra as a function of driving ac field amplitude. The magnitude of μ_(dw)(f) and μ_(rot)(f) in dc limit showed maximum at E_(a)=176 mJ. The maximum relaxation frequency for rotational magnetization, determined by μ"(f) curve, is about 700 kHz at E_(a)=62 mJ but that for wall motion is about 26 kHz at 230 mJ. These variations reflected the increase of magnetic softness and microstructural change by the annealing.

초미니 전자빔 장치를 위한 Micron-Size Aperture의 레이저 미세가공

안승준 선문대학교 자연과학대학 1999 자연과학대학 논문집 Vol.2 No.-

Piezo 방법으로 Q-switched Nd:YAG 레이저를 이용하여 Mo diaphragm을 미세가공하였다. 최근에 이르러 전자빔 리소그라피 분야와 portable 미니 scanning electron microscope (SEM) 분야에 소형화된 전차총 array의 적용이 폭넓게 조사되고 있다. 일반적으로 전가빔 장치제작 기술은 수차를 최소화하는데 있다. 본 연구에서는 piezo Q-switched Nd:YAG 레이저를 이용하여 Mo diaphragm을 미세가공하여 20-30μm의 aperture를 얻었다. Aperture의 정교함과 직경의 크기는 레이저빔의 에너지, 펄스 폭, 빔의 spot 크기, 그리고 가공물질의 성질에 의존됨을 알았다. Experimental studies of laser micromachining on Mo diaphragm using piezo Q-switched Nd:YAG laser have been performed. Application of miniaturized microcolumn electron gun arrays as a potential electron beam lithography or portable mini-scanning electron microscope (SEM) application have recently extensively examined. The conventional microcolumn fabrication technique would give a limitation on the minimization of aberration. In this paper, we obtained 20-30μm aperture of laser micromachining on Mo diaphragm using piezo Q-switched Nd:YAG laser. The geometrical figures, such as the diameter and the preciseness of the drilled aperture are dependent upon the total energy of the laser pulse train, laser pulse width, and the diameter of laser spot in addition to the materials-dependent parameters.

Gate 및 bit-line용 TiSi_(2) 박막의 특성 개선

안승준 선문대학교 자연과학대학 2001 자연과학논총 Vol.4 No.-

몰리브덴 산화물에 대하여 수소유량, 온도, 그리고 입자크기에 따른 수소환원 속도에 대해 조사하였다. 환원실험은 500 - 750℃ 온도구간에서 실시하였으며 환원과정에서 생성된 상은 SEM으로 미세조직을 관찰하였고, X-ray를 이용하여 상을 확인하였는데, 2 단계 환원임을 알 수 있었다. MoO_(3) → Mo 환원시 중간 상으로 Mo_(4)O_(11), MoO_(2) 가 관찰되었고, MoO_(3) → Mo 빚 MoO_(2) → Mo 에의 환원반응은 어느 경우에서나 계면속도식에 의해 지배되었됨을 확인하였다. The effect of hydrogen gas flow, temperature, and grain size on the hydrogen reduction kinetics in molybdenum oxide was investigated. Reduction experiment was carried out in the temperature range of 500 to 750℃, and it was found that microstructural morphology change revealed on SEM and phase transformation identified by X-ray diffractometer during reduction showed two step process. Intermediate phases such as Mo_(4)O_(11) and MoO_(2) were observed during reduction from MoO_(3) to metal Mo, And interface kinetics were reasonably well applied all over the reduction process during from molybdenum oxide to metal Mo.

「原始禪의 本質및 그 修習構造에 관한 一考」에 대한 논평

안승준 불교학연구회 2000 불교학연구 Vol.1 No.-

Michelson 레이저 간섭계를 이용한 Fe_49Co_49V_2 합금의 자기변형 측정

안승준 선문대학교 ·중소기업기술지원연구소 1999 선문공대 연구/기술 논문집 Vol.4 No.1

F_49Co_49V_2 합금을 500, 750, 800, 900 ℃의 furnace에서 열처리한 후, 공냉조건으로 냉각하여 시료를 제작하였다. Michelson 레이저 간섭계를 이용하여 시료의 자기변형을 측정하였다. 시료의 자기 변형은 간섭계의 한쪽 팔에 piezoelectric transducer (PZT)틀 부착하여 간섭계의 두 팔사이의 상대적 광경로를 일정하게 유지하였으며 궤환회로의 전압을 광경로의 변화(자기변형)로 환산하였다. 시료의 열처리 온도를 증가시키면 grain size가 증가하였으며 900 ℃의 furnace에서 열처리한 후, H=60 Oe에서 F_49CO_49V_2 합금의 자기변형을 측정한 결과 2×10^-6에서 38×10^-6까지 증가하였다. 이것은 시료의 미세구조가 변화되어 자기특성이 개선된 것으로 생각된다 A Fe_49Co_49V_2 alloy is annealed in thermal annealing furnace at 500, 150, 800, 900 ℃. Annealed samples has been cooled in air conditions. The magnetostriction is measured by Michelson laser interferometer. Receiving the feedback signal of interference, a mirror attached to piezoelectric transducer (PZT) is relatively kept the constant optical path length (OPL) between two arms of laser interferometer. The feedback voltage is calibrated to the OPL variation. As the annealing temperature of the samples increases, the grain size of texture in samples also increases. Magnetostriction of 2×10^-6 at H=60 Oe increases up to 38×10^-6 annealing temperature of 900℃, suggesting that the magnetostrictive characteristics are improved by the microstructural modification.

주요기사 디지탈 시대를 선도할 삼성전자의 인력육성 체계

안승준 한국공학교육학회 2000 Ingenium(人材니움) Vol.7 No.1

LPCVD 방법으로 증착된 다결정 실리콘 박막의 특성개선

안승준 선문대학교 첨단과학기술연구소 1998 첨단과학기술연구소 논문집 Vol.3 No.-

일반적으로 LPCVD 방법에 의한 다결정 실리콘 박막은 SiH_(4) 가스톨 열분해하여 증착한다. 본 실험에서는 다결정 실리콘 박막속에 포함된 산소농도를 낮추기 위하여 실리콘 웨이퍼를 반응로 안 에 장착할 때 N_(2) 가스를 반응로의 위에서부터 아래로 flow하였다. 두께가 1000Å인 박막을 증착한 다음 박막의 산소농도를 SIMS로 분석한 곁과, 반응로의 hatch에 있는 짧은 injector를 통하여 20slm 의 N2 가스를 flow한 경우보다 박막의 산소농도가 ~30배 정도 낮아짐을 알 수 있었다. Polycrystalline silicon films are generally deposited by LPCVD, utilizing the thermal decomposition of SiH_(4) gas. When silicon wafers are loaded into the furnace in order to reduce oxygen concentration of the films, we flow N_(2) gas from top to bottom of the furnace, and then deposit films of 1000Å thickness to measure oxygen concentration by SIMS. As a consequence of SIMS, we obtain oxygen concentration in films lower about 30 times than that of films deposited with 20slm Na gas-flow through the short injector in the hatch of furnace.

조선시대 한문·한글 병용 古文書 三例의 고찰

안승준 국어사학회 2014 국어사연구 Vol.0 No.18

고에서는 16세기 말~17세기 전반에 작성된 광산김씨 所志(민원문서)와 諺簡(한글편지), 최진립이 아들 며느리에게 쓴 한문·한글 서간, 그리고 19세기 지방 수령이 향약의 반포를 위해 발행한 진언번등(眞諺翻謄:한문과 한글번역문) 전령(傳令)을 분석하였다. 그 과정에서 한문과 한글은 각기 수수(授受)하는 당사지 등의 능력이나 지위에 따라 최대한 그 장점을 살려 구사되고 있었다. 특히 소송이 증거자료로 쓰인 諺簡, 양반가의 농업 경영방식 기록, ‘죵들 논화지에주고’ 등의 말은 한문 고문서 어디에도 없는 표현이었다. 19세기 왕정의 내용을 기층민인 군민 면민 동민에게 전한 공문서인 전령(傳令)에서 진언(眞諺)이 사용된 점은 백성 편에 선 문자사용이라는 점에서 그 역사성이 높다. This article analysed three kinds of documents: civil documents 所志 and Hangeul letters 諺簡 by Gwangsan Kim family written in late 16th century and early 17th century, a letter written in Hangeul and Chinese characters by Choi Jinrip to his daughter-in-law, and a message written in Chinese characters and translated in Hangeul 眞諺翻謄 by a local government administrator to proclaim local regulations. Both Chinese characters and Hangeul were used appropriately considering the ability and social standing of readers. Special features found were Hangeul letters used for evidence of law suits, agricultural management of yangban families, and the expression of ‘Jongdeul nonhwajie jugo 죵들 논화지에주고’ which has not been discovered in any other old documents in Chinese characters. Using both Chinese characters and Hangeul letters in official documents delivering messages from royal government to people in dong, gun and myeon unit regions in the 19th century, Joseon government established the tradition of using appropriate letters for people. That has historical importance.