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INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING (SPIE) ISSN : 1017-9909;1560-229X
SPIE - International Society for Optical Engineering ISSN : 0091-3286;1560-2303
Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS
SPIE - International Society for Optical Engineering ISSN : 1932-5150;2708-8340