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Characterization and optimization of a new Cu/SiN/TaN/Cu damascene architecture for metal–insulator–metal capacitors
Thomas, M., Piquet, J., Farcy, A., Bermond, C., To Elsevier 2005 MICROELECTRONIC ENGINEERING Vol.82 No.3-4
Electrical Properties in Metal/Si~1~-~xGe~x/Si(100) Contacts
Zaima, S., Kojima, J., Shinoda, H., Yasuda, Y. MRS 1996 ADVANCED METALLIZATION CONFERENCE IN Vol.- No.-
In Situ Tungsten Plug Contact Metallization: An Economical Integration Approach
Koerner, H.,Seidel, U. Materials Research Society 1993 ADVANCED METALLIZATION CONFERENCE IN Vol.- No.-
Impacts of Cu Metallization on High Density Damascene Cu/TiN/Ta~2O~5/TiN/Cu Metal-Insulator-Metal Capacitors
Thomas, M., Farcy, A., Perrot, C., Gros-Jean, M., Warrendale, Pa; Materials Research Society 2006 ADVANCED METALLIZATION CONFERENCE IN Vol.- No.-
The Impact of Negative Overlap between Metal- and Via-Levels on Via Performance: Via Resistance, Via String Yield and Electromigration Resistance
Doedel, W., Rouchouze, E., Gounelle, C. MRS 1995 Advanced Metallization and Interconnect Systems fo Vol.10 No.-
Advanced Thermally Stable Contact Technology for Fabricating Embedded and Gigabit Metal-Based DRAMs
Nakamura, Y.,Yoshida, M.,Goto, H.,Fukuda, T.,Kobay Materials Research Society 1998 ADVANCED METALLIZATION CONFERENCE IN Vol.- No.-
Realization of Very Low Resistivities and Interface Studies of Metal/Silicon Contacts
Yasuda, Y.,Zaima, S. Materials Research Society 1993 ADVANCED METALLIZATION CONFERENCE IN Vol.- No.-
Finite Element Modeling of Casting Roll during Twin-Roll Strip Casting
Zhang, X.M., Jiang, Z.Y., Wei, D.B., Liu, X.H., Wa Stafa-Zurich; Trans Tech Publications Ltd., 2011 Advanced Materials Research Vol.145 No.-
Mechanism of Cross Bow in Single-Roll Transmission Temper Mill
Dai, J.T., Zhang, Q.D. Stafa-Zurich; Trans Tech Publications Ltd., 2011 Advanced Materials Research Vol.145 No.-
Influence of Roll Profile Configuration on High-Strength Strip Flatness Control Performance in Tandem Cold Rolling
Wen, J., Zhang, Q.D., Zhang, X.F., Ye, X.W. Stafa-Zurich; Trans Tech Publications Ltd., 2011 Advanced Materials Research Vol.145 No.-
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