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Patterning critical dimension control for advanced logic nodes
Le-Gratiet, Bertrand,De-Caunes, Jean,Gatefait, Max SPIE-The International Society for Optical Engineering 2015 Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS Vol.14 No.2
Overlay improvement through lot-based feed-forward: applications to various 28nm node lithography operations [8681-73]
Orlando, B., Gatefait, M., De-Caunes, J., Goirand, International Society for Optical Engineering; 1999 2013 Proceedings of SPIE, the International Society for Vol.8681 No.1
Design and use of multivariate approach error analysis APC system [6155-06]
de Caunes, J., Van-Herk, J., Warrick, S., Le Grati SPIE 2006 Progress in Biomedical Optics and Imaging Vol.6155 No.-
Integration and automation of DoseMapper in a logic fab APC system: application for 45/40
LeGratiet, B., Salagnon, C., de Caunes, J., Mikola International Society for Optical Engineering; 1999 2012 Proceedings of SPIE, the International Society for Vol.8324 No.2
Integration and automation of DoseMapper in a logic fab APC system: application for 45/40/28nm node [8324-64]
LeGratiet, B., Salagnon, C., de Caunes, J., Mikola Bellingham, Wash.; SPIE 2012 Proceedings of SPIE, the International Society for Vol.8324 No.2
Overlay breakdown methodology on immersion scanner [7638-132]
Lam, A., Pasqualini, F., de Caunes, J., Gatefait, International Society for Optical Engineering; 1999 2010 Progress in Biomedical Optics and Imaging Vol.7638 No.2
Validity of Postnatal Assessments of Gestational Age
Alexander, Greg R.,Caunes, Francois de,Hulsey, THo C.V.Mosby Co 1991 American Journal of Obstetrics & Gynecology Vol.166 No.3
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