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Verhaverbeke, S. MATERIALS RESEARCH SOCIETY 1993 Materials Research Society Symposium Proceedings Vol.315 No.-
The Role of the Peroxide Anion as an Oxidizer in SC-1 Solutions
Verhaverbeke, S., Parker, J. The Society 1997 PROCEEDINGS- ELECTROCHEMICAL SOCIETY PV Vol.- No.35
Modelling of the Hydrogen Passivation Kinetics of Si in Dilute HF Solutions
Verhaverbeke, S.,Meuris, M.,Schmidt, H.,Mertens, P Electrochemical Society 1993 PROCEEDINGS- ELECTROCHEMICAL SOCIETY PV Vol.94-7 No.-
The Effect of H~2 Annealing on the Si Surface and Its Use in the Study of Roughening during Wet Chemical Cleaning
Verhaverbeke, S., Futatsuki, T., Ohmi, T. Electrochemical Society 1993 EXTENDED ABSTRACTS- ELECTROCHEMICAL SOCIETY -ALL D Vol.- No.1
A Novel Vapor Phase Etching Process for Si
Verhaverbeke, S. Scitec Publications Ltd 2009 Diffusion and defect data, solid state data. Solid Vol.145-146 No.-
Surface chemical investigation and topography study of hydrogen baked Si surfaces by infrared spectroscopy and atomic force microscopy
Verhaverbeke, S., Bender, H., Vatel, O., Caymax, M Elsevier 1993 CONTROL OF SEMICONDUCTOR INTERFACES Vol.1 No.-
Wet Processing Uniformity for 200mm and 300mm in One Bath Cleaning Systems
Verhaverbeke, S.,Jopp, K.,Garzarella, T.,Liu, L. Balazs Analytical Laboratory 1998 SEMICONDUCTOR PURE WATER AND CHEMICALS CONFERENCE Vol.17 No.-
ENGINEERING TOOLS FOR DESIGNING A METALLIC REMOVAL SOLUTION
Verhaverbeke, S. Electrochemical Society 2001 PROCEEDINGS- ELECTROCHEMICAL SOCIETY PV Vol.26 No.-
NEW SHORT CYCLE WET CLEANING CONCEPT FOR 300 mm FABRICATION LINE
Verhaverbeke, S.,Truman, K. Electrochemical Society 2001 PROCEEDINGS- ELECTROCHEMICAL SOCIETY PV Vol.26 No.-
Interaction of Metallic Contaminants from Liquids and Solid Surfaces in Semiconductor Processing
Verhaverbeke, S. TALL OAKS PUBLISHING INC 2001 Ultrapure water Vol.18 No.10
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