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Sarro, P. M. ELSEVIER SEQUOIA S A 1998 Sensors and actuators. A Physical Vol.67 No.1-3
M^3: the Third Dimension of Silicon
Sarro, P. M. WILEY VCH 2004 ADVANCED MICRO AND NANOSYSTEMS Vol.1 No.-
Anisotropic Etching of Silicon in Saturated TMAHW Solutions for IC-Compatible Micromachining
Sarro, P. M. SCIENTIFIC PUBLISHING DIVISION MYU 1998 Sensors and Materials Vol.10 No.4
Silicon Carbide as a New MEMS Technology (Invited)
Sarro, P. M. Institute of Electrical Engineers of Japan 1999 TRANSDUCERS -CONFERENCE- Vol.10 No.1
A silicon-silicon nitride membrane fabrication process for smart thermal sensors
Sarro, P. M.,Van Herwaarden, A. W.,Van der Vlist, Elsevier Sequoia 1993 Sensors and actuators. A Physical Vol.42 No.1-3
New developments in the integration of micromachined sensors (Invited Paper) [2882-01]
Sarro, P. M., French, P. J., Gennissen, P. T. J. SPIE 1996 Progress in Biomedical Optics and Imaging Vol.- No.2882
Guest editorial
Sarro, P.M., Shkel, A.M. IEEE 2003 IEEE Sensors Journal Vol.3 No.6
New developments in the integration of micromachined sensors [2882-01]
Sarro, P. M. 00 1996 Progress in Biomedical Optics and Imaging Vol.- No.2882
Effect of surfactant on surface quality of silicon microstructures etched in saturated TMAHW solutions
Sarro, P. M. ELSEVIER SEQUOIA S A 2000 Sensors and actuators. A Physical Vol.85 No.1-3
Low stress PECVD SiC thin films for IC-compatible microstructures
Sarro, P. M., De Boer, C. R., Laros, J. M. W., Kor Sensor lab Sp. 1997 EUROSENSORS -CONFERENCE- Vol.2 No.-
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