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Silicon Integrated Microcalorimeters
Margesin, B., Zen, M., Pignatel, G. U., Soncini, G MIDEM 1996 SYMPOSIUM ON DEVICES AND MATERIALS Vol.32 No.-
Realisation of silicon microcalorimeters with bulk micromachining technology
Margesin, B.,Faes, A.,Pignatel, G. U. Mikroelektronik Centret 2000 EUROSENSORS -CONFERENCE- Vol.14 No.-
Stress Characterization of Electroplated Gold Layers for Low Temperature Surface Micromachining
Margesin, B.,Bagolini, A.,Guarnieri, V.,Giacomozzi Institute of Electrical and Electronics Engineers 2003 DESIGN TEST INTEGRATION AND PACKAGING OF MEMS MOEM Vol.- No.-
An apparatus for combined vapor deposition; ion implantation to modify the surface properties of metals
B. Margesin, F. Giacomozzi, L. Guzman, G. Lazzari Elsevier BV 1987 Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Vol.21 No.1-4
Experimental-numerical Dynamic Characterization of Series RF MEMS
Marchetti, B., Cannella, F., Caso, T., Margesin, B Bethel, Conn.:; Society for Experimental Mechanics, 2006 Proceedings of the International Modal Analysis Co Vol.24 No.4
A Test Chip for ISFET/CMNOS Technology Development
Lui, A., Margesin, B., Zanini, V., Zen, M. IEEE 1996 Proceedings of the IEEE International Conference o Vol.3 No.-
Stress and resistivity analysis of electrodeposited gold films for MEMS application
Kal, S., Bagolini, A., Margesin, B., Zen, M. Elsevier Science B.V., Amsterdam. 2006 Microelectronics Journal Vol.37 No.11
Temperature as an accelerating factor for lifetime estimation of RF-MEMS switches
Mulloni, V., Lorenzelli, L., Margesin, B., Barbato Elsevier Science B.V., Amsterdam. 2016 MICROELECTRONIC ENGINEERING Vol.160 No.-
Controlling stress and stress gradient during the release process in gold suspended micro-structures
Mulloni, V., Giacomozzi, F., Margesin, B. Elsevier Science B.V., Amsterdam. 2010 Sensors and actuators. A Physical Vol.162 No.1
Novel test structures for stress diagnosis in micromechanics
Bagolini, A., Margesin, B., Faes, A., Turco, G., G Elsevier Science B.V., Amsterdam. 2004 Sensors and actuators. A Physical Vol.115 No.2-3
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