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Patterning critical dimension control for advanced logic nodes
Le-Gratiet, Bertrand,De-Caunes, Jean,Gatefait, Max SPIE-The International Society for Optical Engineering 2015 Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS Vol.14 No.2
Investigating process variability at ppm level using advanced massive eBeam CD metrology and contour analysis
Le-Gratiet, B., Mermet, O., Gardin, C., Desmoulins SPIE 2019 Proceedings of SPIE, the International Society for Vol.2019 No.10959
Investigation and mitigation of field-edge CDU fingerprint for ArFi lithography for 45-nm to sub-28-nm logic nodes [8352-10]
Le-Gratiet, B., Finders, J., Mouraille, O., Queens International Society for Optical Engineering; 1999 2012 Proceedings of SPIE, the International Society for Vol.8352 No.-
Analysis and modelling of patterned wafer nano-topography using multiple linear regression on design GDS and silicon PWG data
Kessar, M., Le-Gratiet, B., Lemaire, P., Brouzet, SPIE 2019 Proceedings of SPIE, the International Society for Vol.2019 No.10959
Toward 7nm target on product overlay for C028 FDSOI technology [8681-4]
Gatefait, M., Le-Gratiet, B., Goirand, P.J., Lam, International Society for Optical Engineering; 1999 2013 Proceedings of SPIE, the International Society for Vol.8681 No.1
In-field in-design metrology target integration for advanced CD and overlay process control via DoseMapper and high order overlay correction for 28nm and beyond logic node [8681-52]
Ducote, J., Bernard-Granger, F., Le-Gratiet, B., B International Society for Optical Engineering; 1999 2013 Proceedings of SPIE, the International Society for Vol.8681 No.2
Effect of etch pattern transfer on local overlay (OVL) margin in 28nm gate integration. [9054-5]
Ros, O., Gouraud, P., Le-Gratiet, B., Gardin, C., International Society for Optical Engineering; 1999 2014 Proceedings of SPIE, the International Society for Vol.9054 No.-
100 kHz Mueller polarimeter in reflection configuration
Le Gratiet, A., Rivet, S., Dubreuil, M., Le Grand, OPTICAL SOCIETY OF AMERICA 2015 Optics letters Vol.40 No.4
Zebrafish structural development in Mueller-matrix scanning microscopy
Le Gratiet, Aymeric, d'Amora, Marta, Duocastella, Nature Publishing 2019 Scientific Reports Vol.9 No.1
Multimodal Label Free Stokes/Mueller Matrix and Non Linear Scanning Microscopy
Le Gratiet, Aymeric, Marongiu, Riccardo, Bianchini Elsevier Science B.V., Amsterdam 2019 Biophysical journal Vol.116 No.S1
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