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Composition of selectively grown InxGa1-xAs structures from locally resolved Raman spectroscopy
J. Finders, J. Geurts, A. Kohl, M. Weyers, P. Balk North-Holland Pub. Co 1991 Journal of crystal growth Vol.107 No.1-4
Can DUV take us below 100 nm? [4346-18]
Finders, J. International Society for Optical Engineering; 1999 2001 Progress in Biomedical Optics and Imaging Vol.- No.4346/2
Solutions for 22-nm node patterning using ArFi technology [7973-29]
Finders, J., Dusa, M., Mulkens, J., Cao, Y., Escal International Society for Optical Engineering; 1999 2011 Proceedings of SPIE, the International Society for Vol.7973 No.1
Sub-0.25 Micron Lithography Applying Illumination Pupil Filtering (Quadrupole) on a DUV Step-an-Repeat System
Finders, J., Mulders, A. M., Krist, J., Flagello, Olin Microelectronics Materials 1998 INTERFACE -PROCEEDINGS- OLIN MICROELECTRONICS MATE Vol.11 No.-
Finders, J. International Society for Optical Engineering; 1999 2001 Progress in Biomedical Optics and Imaging Vol.- No.4346/1
Investigation of MOVPE-grown In~0~.~5~3Ga~0~.~4~7As/InP multi-quantum wells by Raman spectroscopy and X-ray diffractometry
Finders, J.,Keuter, M.,Gnoth, D.,Geurts, J. Elsevier 1993 Materials Science and Engineering B Vol.21 No.2-3
KrF lithography for 130 nm [4000-18]
Finders, J. International Society for Optical Engineering; 1999 2000 Progress in Biomedical Optics and Imaging Vol.- No.4000/1
Impact of reticle absorber on the imaging properties in ArFi lithography (Invited Paper) [8352-03]
Finders, J., Mouraille, O., Bouma, A., Ngai, A., G International Society for Optical Engineering; 1999 2012 Proceedings of SPIE, the International Society for Vol.8352 No.-
Random 65nm..45nm C/H printing using optimized illumination source and CD sizing by post processing [6924-106]
Finders, J., Van der Heijden, E., Janssen, G.-J., International Society for Optical Engineering; 1999 2008 Progress in Biomedical Optics and Imaging Vol.6924 No.2
Characterization of the interface abruptness of In~0~.~5~3Ga~0~.~4~7As/InP multi quantum wells by Raman spectroscopy, X-ray diffractometry and photoluminescence
Geurts, J., Finders, J., Woitok, J., Gnoth, D. North Holland 1994 Journal of crystal growth Vol.145 No.1-4
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