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Low-k dielectrics on base of silicon carbon nitride films
Fainer, N., Rumyantsev, Y., Kosinova, M., Maximovs Elsevier Science B.V., Amsterdam. 2007 Surface & Coatings Technology Vol.201 No.22-23
Structure study of thin RPECVD Cd~xZn~1~-~xS films
Fainer, N. I. Les Ulis; EDP Sciences; 1999 2001 The European Physical Journal. Special Topics Vol.11 No.3
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