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Broas, Mikael, Lemettinen, Jori, Sajavaara, Timo, Elsevier Science B.V., Amsterdam. 2019 Thin Solid Films Vol.682 No.-
Simulations on time-of-flight ERDA spectrometer performance
Julin, Jaakko, Arstila, Kai, Sajavaara, Timo American Institute of Physics 2016 Review of scientific instruments Vol.87 No.8
Structural and chemical analysis of annealed plasma-enhanced atomic layer deposition aluminum nitride films
Mikael Broas , Perttu Sippola , Timo Sajavaara , V AVS-Science & Technology Soc 2016 Journal of Vacuum Science & Technology. A Vol.34 No.4
A liquid alkoxide precursor for the atomic layer deposition of aluminum oxide films
LiAo Cao, Felix Mattelaer, Timo Sajavaara, Jolien American Institute of Physics 2020 Journal of Vacuum Science & Technology. A Vol.38 No.2
Atomic layer deposition of ternary ruthenates by combining metalorganic precursors with RuO4 as the co-reactantElectronic supplementary information (ESI) available: XPS spectra for TMA/RuO4 and MeCpPtMe3
Minjauw, Matthias M., Feng, Ji-Yu, Sajavaara, Timo Royal Society of Chemistry 2022 Dalton Transactions Vol.51 No.28
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