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Evaluation of thin Ta(N) film integrity deposited on porous glasses
Shamiryan, D., Baklanov, M. R., Yanovitskaya, Z. S SPIE - THE INT SOC FOR OPTICAL ENGINEERING 2002 Optica Applicata Vol.33 No.1
Modification of Low-K SiCOH Film Porosity by a HF Solution
Shamiryan, D. Scitec Publications; 1999 2001 Diffusion and defect data, solid state data. Solid Vol.76-77 No.-
Using Ellipsometry for Assessment of TiN Surface Roughness after Plasma Etch
Shamiryan, D., Paraschiv, V., Dictus, D., Baklanov ELECTROCHEMICAL SOCIETY INC 2008 Journal of the Electrochemical Society Vol.155 No.2
Silicon Surface Cleaning after Spacer Dry Etching
Electrical Characterization of Thin Silicon Films Produced by Metal-induced Crystallization on Insulating Substrates by Conductive AFM
Shamiryan, O., Maidanchuk, I., Ahn, N., Choi, I., SURFACE ANALYSIS SOCIETY OF JAPAN 2011 JOURNAL OF SURFACE ANALYSIS Vol.17 No.3
Selective Removal of High-k Dielectrics
Shamiryan, D., Paraschiv, V. Pennington, NJ; The Electrochemical Society 2011 ECS Transactions Vol.34 No.1
SELECTIVE REMOVAL OF HIGH-K GATE DIELECTRICS
Shamiryan, D., Baklanov, M., Claes, M., Boullart, Taylor & Francis 2009 Chemical engineering communications Vol.196 No.12
Influence of the Top Chamber Window Temperature on the STI Etch Process
Shamiryan, D., Danilkin, E., Tinck, S., Klick, M. Pennington, N.J.; Electrochemical Society 2010 ECS Transactions Vol.27 No.1
Plasma etching: From micro- to nanoelectronics
Shamiryan, D., Paraschiv, V., Boullart, W., Baklan Springer Science + Business Media 2009 High Energy Chemistry Vol.43 No.3
Diffusion of solvents in thin porous films
Shamiryan, D., Baklanov, M. R., Lyons, P., Beckx, Elsevier Science B.V., Amsterdam. 2007 Colloids and Surfaces A Vol.300 No.1-2
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