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Samukawa, Y., Mutoh, M., Chen, S., Mizui, N. PHARMACEUTICAL SOCIETY OF JAPAN 2017 Biological & pharmaceutical bulletin Vol.40 No.8
Extremely High-Selective Electron Cyclotron Resonance Plasma Etching for Phosphorus-Doped Polycrystalline Silicon
Samukawa, Seiji.,Suzuki, Yasuhiro.,Sasaki, Masami. American Institute of Physics 1990 Applied Physics Letters Vol.57 No.4
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