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Mescheder, U. M., Estan, C., Somogyi, G., Freudenr IEEE, 2005 TRANSDUCERS -CONFERENCE- Vol.1 No.-
Distortion optimized focusing mirror device with large aperture
Mescheder, U. M., Estan, C., Somogyi, G., Freudenr Elsevier Science B.V., Amsterdam. 2006 Sensors and actuators. A Physical Vol.130-131 No.-
Local laser bonding for low temperature budget
Mescheder, U. M., Alavi, M., Hiltmann, K., Lietzau ELSEVIER SCIENCE 2002 Sensors and actuators. A Physical Vol.97-98 No.-
Porous Silicon as Multifunctional Material in MEMS
Mescheder, U. M.,Kovacs, A.,Kronast, W.,Barsony, I IEEE 2001 PROCEEDINGS OF THE IEEE CONFERENCE ON NANOTECHNOLO Vol.- No.-
Active focusing device based on MOEMS technology [6186-01]
Mescheder, U., Torok, Z., Kronast, W. International Society for Optical Engineering; 1999 2006 Progress in Biomedical Optics and Imaging Vol.6186 No.-
Optical monitoring and control of Si wet etching
Mescheder, U.M. ELSEVIER SEQUOIA S A 1999 Sensors and actuators. A Physical Vol.76 No.1-3
Piezoelectric Inch Worm Motor with Monolithically Integrated Driving Block
Mescheder, U,Kotter, C,Katzenstein, B,Lang, T. Messe Bremen GMBH 1998 ACTUATOR -PROCEEDINGS- Vol.6 No.-
Local Laser Bonding for Low Temperature Budget
Mescheder, U.,Nachtigall, C.,Alavi, M.,Hiltmann, K Springer 2001 EUROSENSORS -CONFERENCE- Vol.15 No.1
Porous Silicon: Technology and Applications for Micromachining and MEMS
Mescheder, U. Dordrecht; London:; Kluwer Academic in cooperation with NATO Scientific Affairs Division, 2004 NATO SCIENCE SERIES SUB SERIES 2 MATHEMATICS PHYSI Vol.181 No.-
Mikromechanischer Neigungssensor fuer industrielle Anwendungen
Mescheder, U., Majer, S. Technische Universitat Ilmenau 1996 Internationales Wissenschaftliches Kolloquium Vol.41 No.1
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