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M.E. Sherwin, G.O. Munns, M.E. Elta, E.G. Woelk, G North-Holland Pub. Co 1991 Journal of crystal growth Vol.111 No.1-4
Improving RIE Process Robustness via Real-Time Feedback Control
Elta, M. E.,Freudenberg, J. S.,Grizzle, J. W.,Khar The Society 1995 PROCEEDINGS- ELECTROCHEMICAL SOCIETY PV Vol.95-2 No.-
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Elta, M. E. and G. I. Haddad IEEE 1979 IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniqu Vol.27 No.5
Real-time feedback control of reactive ion etching [2091-50]
Elta, M. E. SPIE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL 1993 Progress in Biomedical Optics and Imaging Vol.- No.2091
The Center for Display Technology & Manufacturing
Elta, M. E. SID 1994 DISPLAY MANUFACTURING TECHNOLOGY CONFERENCE Vol.1 No.-
Plasma-etch technology
Cotler, T.J., Elta, M.E. IEEE 1990 IEEE circuits and devices magazine Vol.6 No.4
Grizzle, J. W.,Elta, M. E.,Freudenberg, J. S.,Khar The Society 1995 EXTENDED ABSTRACTS- ELECTROCHEMICAL SOCIETY -ALL D Vol.- No.1
A self-consistent particle model for the simulation of RF glow discharges
H.W. Trombley, F.L. Terry, M.E. Elta Institute of Electrical and Electronics Engineers 1991 IEEE transactions on plasma science Vol.19 No.2
Implications of velocity overshoot in heterojunction transit-time diodes
P.A. Blakey , J.R. East , M.E. Elta , G.I. Haddad [Institution of Electrical Engineers] 1983 Electronics Letters Vol.19 No.14
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