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Characteristic Features of Heating Semiconductor Silicon Structures during Rapid Thermal Treatment in the VLSI Technology
Bondariev, V., Gorushko, V., Pilipenko, V., Solodu BEGELL HOUSE INC. PUBLISHERS 2018 HIGH TEMPERATURE MATERIAL PROCESSES Vol.22 No.1
Formation of Platinum Silicide Layers during the Rapid Thermal Processing of the Platinum-Silicon System: Structural-Phase Changes
Solodukha, V. A., Pilipenko, V. A., Gorushko, V. A BEGELL HOUSE INC. PUBLISHERS 2019 HIGH TEMPERATURE MATERIAL PROCESSES Vol.23 No.3
Control of the Properties of Thin-Film Systems with the Use of Pulsed Photon Treatment
Pilippenko, V. A., Ponomar, V. N., Gorushko, V. A. Kluwer Academic Publishers 2003 JOURNAL OF ENGINEERING PHYSICS AND THERMOPHYSICS C Vol.76 No.4
Properties of a silicon surface exposed to nanosecond laser-radiation pulses
Pilipenko, V. A., Vecher, D. V., Gorushko, V. A., Springer Science + Business Media 2008 JOURNAL OF ENGINEERING PHYSICS AND THERMOPHYSICS C Vol.81 No.3
Modeling of the parameters of bipolar transistors
Pilipenko, V. A., Vecher, D. V., Gorushko, V. A., Springer Science + Business Media 2007 JOURNAL OF ENGINEERING PHYSICS AND THERMOPHYSICS C Vol.80 No.3
Model of Laser Gettering of Fast-Diffusing Impurities
Pilipenko, V. A., Ponomar', V. N., Gorushko, V. A. Springer Science + Business Media 2005 JOURNAL OF ENGINEERING PHYSICS AND THERMOPHYSICS C Vol.78 No.3
Removal of Photoresist Masks with the Use of Rapid Heat Treatment
Pilipenko, V. A., Ponomar, V. N., Gorushko, V. A. Kluwer Academic Publishers 2003 JOURNAL OF ENGINEERING PHYSICS AND THERMOPHYSICS C Vol.76 No.5
Cleaning of the Surface of Silicon Structures in the Technology of Very Large-Scale Integrated Circuits with the Use of Rapid Heat Treatment
Formation of Platinum Silicide during Rapid Thermal Processing of the Platinum Silicon System: Microstructure and Electrophysical Characteristics
Solodukha, V. A., Pilipenko, V. A., Gorushko, V. N BEGELL HOUSE INC. PUBLISHERS 2019 HIGH TEMPERATURE MATERIAL PROCESSES Vol.23 No.3
Influence of Fast Thermal Treatment on the Electrophysical Properties of Silicon Dioxide
Pilipenko, V. A., Solodukha, V. A., Gorushko, V. A Springer Nature 2018 JOURNAL OF ENGINEERING PHYSICS AND THERMOPHYSICS C Vol.91 No.5
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