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Spectral Reflectance as an in Situ Monitor for MOCVD
Breiland, W. G. MATERIALS RESEARCH SOCIETY 1994 Materials Research Society Symposium Proceedings Vol.324 No.-
GAS-PHASE SILICON ATOMS IN SILANE CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION - LASER-EXCITED FLUORESCENCE MEASUREMENTS AND COMPARISONS WITH MODEL PREDICTIONS
W. G. Breiland, P. Ho, M. E. Coltrin American Institute of Physics 1986 Journal of Applied Physics Vol.60 No.4
In-Situ Reflectance and Virtual Interface Analysis for Compound Semiconductor Process Control
Breiland, W. G., Hong, H. Q., Hammons, B. E., Klem Electrochemical Society 1998 PROCEEDINGS- ELECTROCHEMICAL SOCIETY PV Vol.- No.2
Distributed Bragg Reflectors for Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers
Breiland, W. G., Allerman, A. A., Klem, J. F., Wal MRS MATERIALS RESEARCH SOCIETY 2002 MRS Bulletin Vol.27 No.7
Effect of diffraction and film-thickness gradients on wafer-curvature measurements of thin-film stress
Breiland, W. G., Lee, S. R., Koleske, D. D. AMERICAN INSTITUTE OF PHYSICS 2004 Journal of Applied Physics Vol.95 No.7
A VIRTUAL INTERFACE METHOD FOR EXTRACTING GROWTH-RATES AND HIGH-TEMPERATURE OPTICAL-CONSTANTS FROM THIN SEMICONDUCTOR-FILMS USING IN-SITU NORMAL INCIDENCE REFLECTANCE
W. G. Breiland, K. P. Killeen American Institute of Physics 1995 Journal of Applied Physics Vol.78 No.11
COMPARISONS BETWEEN A GAS-PHASE MODEL OF SILANE CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION AND LASER-DIAGNOSTIC MEASUREMENTS
W. G. Breiland, M. E. Coltrin, P. Ho American Institute of Physics 1986 Journal of Applied Physics Vol.59 No.9
PULSED UV LASER RAMAN-SPECTROSCOPY OF SILANE IN A LINEAR-FLOW CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION REACTOR
W. G. Breiland, M. J. Kushner American Institute of Physics 1983 Applied Physics Letters Vol.42 No.4
Spectral Reflectance as an In Situ Monitor for MOCVD
Breiland, W. G., Killeen, K. P. The Society 1993 Materials Research Society Symposium Proceedings Vol.324 No.-
In-Sire Reflectance and Virtual Interface Analysis for Compound Semiconductor Process Control
Breiland, W. G., Hou, H. Q., Hammons, B. E., Klem, Electrochemical Society 1999 Meeting Abstracts- Electrochemical Society Vol.- No.1
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