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Growth of TixAl1−xOy films by atomic layer deposition using successive supply of metal precursors
Arroval, T. n., Aarik, L., Rammula, R., Aarik, J. Elsevier Science B.V., Amsterdam. 2015 Thin Solid Films Vol.591 No.B
Influence of growth temperature on the structure and electrical properties of high-permittivity TiO2 films in TiCl4-H2O and TiCl4-O3 atomic-layer-deposition processes
Arroval, T., Aarik, L., Rammula, R., Mndar, H., Aa John Wiley & Sons, Ltd 2014 Physica Status Solidi. Rapid Research Letters Vol.211 No.2
Influence of growth temperature on the structure and electrical properties of high-permittivity Ti<fc>O</fc>~2 films in Ti<fc>C<
Arroval, T., Aarik, L., Rammula, R., Mndar, H., Aa John Wiley & Sons, Ltd 2014 Physica Status Solidi. A Vol.211 No.2
Effect of substrate-enhanced and inhibited growth on atomic layer deposition and properties of aluminum–titanium oxide films
Arroval, T. n., Aarik, L., Rammula, R., Kruusla, V Elsevier Science B.V., Amsterdam. 2016 Thin Solid Films Vol.600 No.-
Atomic layer deposition of TiO"2 from TiCl"4 and O"3
Aarik, L., Arroval, T., Rammula, R., Mandar, H., S Elsevier Science B.V., Amsterdam. 2013 Thin Solid Films Vol.542 No.-
Aarik, L., Arroval, T., Rammula, R., Mandar, H., S Elsevier Science B.V., Amsterdam. 2014 Thin Solid Films Vol.560 No.-
Atomic layer deposition of rutile-phase TiO2 on RuO2 from TiCl4 and O3: Growth of high-permittivity dielectrics with low leakage current
Aarik, J., Arroval, T. n., Aarik, L., Rammula, R. Elsevier Science B.V., Amsterdam. 2013 Journal of crystal growth Vol.382 No.-
Atomic layer deposition of high-quality Al2O3 and Al-doped TiO2 thin films from hydrogen-free precursors
Aarik, L., Arroval, T., Rammula, R., Mandar, H., S Elsevier Science B.V., Amsterdam. 2014 Thin Solid Films Vol.565 No.-
Effect of oxygen on active Al concentration in ZnO:Al thin films made by PLD
Kodu, M., Arroval, T., Avarmaa, T., Jaaniso, R., K Elsevier Science B.V., Amsterdam. 2014 Applied Surface Science Vol.320 No.-
Oxygen Barrier Properties of Al2O3- and TiO2-coated LDPE Films
Lange, S., Arroval, T., Saar, R., Kink, I., Aarik, Taylor & Francis 2015 Polymer-Plastics Technology and Materials Vol.54 No.3
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