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Rho, Seung Baik,Cho, Jung Ho 啓明大學校 産業技術硏究所 1997 産業技術硏究所 論文報告集 Vol.19 No.2
Phase behavior for nonpolar hydrocarbon mixtures can be described well by using any cubic equation of state with the conventional quadratic mixing rule. However, Vapor-liquid equilibria (VLE) for carbon dioxide rich hydrocarbon systems cannot be predicted with the conventional mixing rule because it is so difficult to predict to its phase behavior when the CO₂is added to hydrocarbon mixtures. VLE on binary and ternary of Hydrocarbon-CO₂mixtures are calculated using the modified Soave-Redlich -Kwong Equation of state(SRK- EOS) with various composition dependent mixing rules. The parameters of the alpha function are evaluated with the regression of pure component vapor pressure and the saturated liquid heat capacity departure at low temperature. The prediction of C₂H(6)-CO₂-N₂ternary VLE with only pure and binary experimental information is presenting better accuracy than the conventional mixing rule with parameters obtained from ternary experimental data. Without any empirically adjusted parameters, we could obtain comparably good VLE calculated results, as those from other existing EOS+GE models, from low to high pressures. With this advanced approach, the VLE on binary and ternary CO₂rich mixtures are predicted with significantly better results those from other approaches.
안종기,심섭,강고루,오남근,김진태,함성호,윤주영 한국공업화학회 2016 한국공업화학회 연구논문 초록집 Vol.2016 No.0
ZrO2 세가지 상을 가지며 그 중 tetragonal phase가 이론적으로 가장 높은 값을 갖는 것으로 알려져 있다 (k ~ 47). 하지만 실제로는 tetragonal phase가 열역학적으로 불안정하므로 Si, Al, Ge 등의 작은 이온반경을 가진 4가 원소를 ZrO2에 적당히 doping하면 이를 안정화시킬 수 있으며, 최근 연구결과에 따르면, dopant의 농도에 의해 ZrO2 박막의 phase stability 및 dieletric constant 값이 결정됨이 보고되었다. 이 때문에 high-k tetragonal ZrO2 박막을 얻기 위해서는 dopant의 농도를 정확히 제어하는 것이 무엇보다 중요하다. 현재 이러한 Al doped high-k tetragonal ZrO2 박막을 형성하기 위해 atomic layer deposition (ALD) 등의 방법이 사용되고 있는데 증착된 Al-doped ZrO2 박막의 Al dopant 농도는 증착 후에나 확인할 수 있어 원하는 조성의 박막을 얻는 데에는 근본적인 한계가 있었다. 본 연구는 distillation 방법을 이용하여 precursor의 기상을 액상으로 포집하여 H-NMR 분석을 통하여 조성을 확인하였다. 향후 기상의 조성을 측정방법을 통해 조성을 확인한다면, ALD 증착시, 박막의 조성을 좀 더 쉽게 제어할것으로 기대된다.