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이동명,Lee. Dong-Myung 한국방재학회 2005 한국방재학회논문집 Vol.5 No.3
본 연구에서는 온도가 보상된 대기압을 제연구역의 기준압력으로 설정하기 위한 공학적인 메커니즘과 보상방법을 정렵하였고, 차압센서의 개발을 위한 프로세스, 알고리즘 확립과 엔지니어링 데이터 구축으로 신뢰성이 확보된 차압센서를 개발하였다. 차압센서를 개발함으로서, 첫째, 비제연구역의 압력측정을 위해서 별도로 설치되는 압력측정관을 생략할 수 있어 제작단가와 설치비용 및 작업공수를 줄이고, 둘째, 층별 제연구역의 차압측정을 위한 비제연구역의 압력측정포트를 시스템에 일체화함으로서 차압의 정밀도를 향상시킬 수 있으며, 셋째, 기존의 개별제어 방식에서 제연시스템으로부터 중앙집중식 통합관리를 함으로서 보다 정확하고 신뢰성 있는 차압을 얻을 수 있고, 시스템에 유연성을 부과시킬 수 있을 것으로 본다. 또한 통합 제연시스템의 기틀을 마련하고 제연의 유연성을 주며 방재성능을 향상시킬 것으로 본다. This study defined engineering mechanism and compensation method to establish reference pressure of smoke control zone with atmospheric pressure that is compensated for temperature. The reliable pressure differential sensor was developed by establishing the specifications, algorithms and constructing engineering data. The development of pressure differential sensor can cut down number of processes, manufacturing and installation cost by removing pressure measurement pipe established separately for non smoke control zone, and improve the accuracy of pressure differential by embedding pressure measurement ports for non smoke control zone. More correct and reliable pressure differentials can be obtained by the central control rather than the existent individual control. This will provide the basics and the flexibility to the integral smoke control system and accordingly improve the performance of disaster prevention.
Air Data Module 적용을 위한 고정밀 MEMS 차압센서 개발
유은실(Eun-Shil Yoo),이장섭(Jang-Sub Lee),안준은(Jun-Eon An),박치현(Chi-Hyun Park),송진우(Jin-Woo Song) 제어로봇시스템학회 2012 제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집 Vol.2012 No.7
I비행체의 이동속도를 측정하는 차압센서는 Air Data Module의 핵심부품으로 높은 정밀도가 요구되며 해외에서 수입되고 있다. 이로 인해 많은 시간과 비용이 지출되고 핵심부품을 해외에 의존하게 되므로 국산화된 차압센서 개발이 필요하다. 따라서 본 연구에서는 국산화를 위해 MEMS 고정밀 차압센서를 설계 및 제작하였다. 센서는 SOI 웨이퍼와 고횡비 실리콘 식각 기술을 이용하여 박막 두께와 크기를 정밀하게 제어하였다. 압력에 의해 발생된 박막의 응력은 이온주입으로 형성된 압저항의 저항값 변화로 나타나며, 이러한 압저항은 온도의 영향을 최소화하기 위하여 휘스톤 브릿지 형태로 구성하였다. 제작된 센서는 압력이 누설되지 않도록 설계 및 제작된 고신뢰 패키지에 조립되었다. 개발된 센서는 최대 차압 20psi(137.9㎪)까지 측정 가능하며, 비선형성 0.1%FSO 이하, 반복성 0.05%FSO 이하, 히스테리시스 0.1%FSO 이하의 성능을 가진다. 이는 현재 도입되고 있는 해외 부품의 성능과 유사한 정밀도로 Air Data Module용 차압센서의 수입대체뿐만 아니라 특수 산업용 분야까지 적용 가능할 것으로 기대된다.
Silicone rubber 멤브레인을 이용한 압저항형 저차압센서의 개발
서창택,공성수,심준환,고광락,서현미,김영진,설철규,신장규,이종현 경북대학교 센서기술연구소 1998 센서技術學術大會論文集 Vol.9 No.1
A 4-beam piezoresistive differential pressure sensor using a silicone rubber membrane has been fabricated on the selectively diffused (100)-oriented n/n^(+)/n silicon substrates by an unique silicon micromachining technique using porous silicon etching. The width, length, and thickness of the beam is 120 μn, 600 μm, and 6 μm, respectively, and the thickness of the silicone rubber membrane was 36 gm. By the use of four-beam structure, the mechanical strength of the differential pressure sensor can be highly improved due to smaller shear stress. And the lower sensitivity of the sensor can be simply solved by combining two output signals of half-bridge. The effectiveness of the sensor is confirmed through an experiment and FEM simulation in which the differential pressure sensor is characterized.
3way LP EGR의 차압센서 위치 선정에 대한 연구
조웅래(Ungrae Cho),이은열(Eunyeol Lee),남지현(Jihyun Nam) 한국자동차공학회 2019 한국자동차공학회 학술대회 및 전시회 Vol.2019 No.11
Vehicle emissions regulations, especially about NOx, are getting stronger day by day. That’s why LP EGR system has been studied importantly today. This system can reduce NOx and improve fuel efficiency by recirculating low temperature and low pressure exhaust gas. In order to that functions clearly, it’s important to select the optimal position of Differential Pressure Sensor mounted LP EGR valve because that sensor helps to estimate the flow rate by measuring the front and the rear differential pressure of LP EGR. This paper presents optimal position of Differential Pressure Sensor in LP EGR by CAD and CAE.
한태수(Tae-Su Han),유선학(Sun-Hak Yoo),김용기(Yong-Ki Kim),이태원(Tae-Won Lee) 대한설비공학회 2009 대한설비공학회 학술발표대회논문집 Vol.2009 No.-
Noise is one of the major environmental problems in human life. But hot water distributers with the flow rate control valve bring about often noise according to the heating control condition in residential buildings. The sound power level increased as the flow rate and pressure difference increased. And thus, experimental analyses for the flow rate control and the pressure difference control were carried out in this study to reduce the noise emitted from the flow rate control valve. As the results, the flow rate control method using a SMA(Shape Memory Alloy)-valve and the flow rate control system using a pressure difference sensor can be expected to control noise in the region of below 50 ㏈ of sound power level.