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ア ァ カ サ ザ タ ダ ナ ハ バ パ マ ヤ ャ ラ ワ ヮ ン イ ィ キ ギ シ ジ チ ヂ ニ ヒ ビ ピ ミ リ ウ ゥ ク グ ス ズ ツ ヅ ッ ヌ フ ブ プ ム ユ ュ ル エ ェ ケ ゲ セ ゼ テ デ ヘ ベ ペ メ レ オ ォ コ ゴ ソ ゾ ト ド ノ ホ ボ ポ モ ヨ ョ ロ ヲ ―

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      저자 : Mussenbrock, T (검색결과 1 건)
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        Observation of the generation of multiple electron beams during a single sheath expansion phase in capacitive RF plasmas

        Berger, B,You, K,Lee, H-C,Mussenbrock, T,Awakowicz, P,Schulze, J IOP PUBLISHING 2018 PLASMA SOURCES SCIENCE AND TECHNOLOGY Vol.27 No.12

        <P>The fundamental investigation of different electron heating modes is important in order to fully understand the generation of plasmas, as well as to optimize their technological applications. In this study, a capacitively coupled radio-frequency discharge is operated at its limit of comparably low plasma density. Phase resolved optical emission spectroscopy provides insights into the electron dynamics on a nanosecond time scale under these conditions. At low applied voltage amplitudes, it is observed that more than one electron beam is generated within a single phase of sheath expansion at a given electrode. When the voltage amplitude is increased these beams merge in time to a single electron beam. This effect has been predicted by particle in cell/Monte-Carlo collision simulations before and contradicts existing models that assume the generation of a single beam per sheath expansion phase by stochastic heating (Wilczek <I>et al</I> 2015 <I>Plasma Sources Sci. Technol.</I> <B>24</B> 024002; Wilczek <I>et al</I> 2016 <I>Phys. Plasmas</I> <B>23</B> 063514). In this study, results from a systematic experimental study of the effect are presented, which support the theoretically predicted phenomenon.</P>

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