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Effect of atomic layer deposition on the quality factor of silicon nanobeam cavities
Gehl, Michael,Gibson, Ricky,Hendrickson, Joshua,Homyk, Andrew,Sä,ynä,tjoki, Antti,Alasaarela, Tapani,Karvonen, Lasse,Tervonen, Ari,Honkanen, Seppo,Zandbergen, Sander,Richards, Benjamin C.,Olit The Optical Society 2012 Journal of the Optical Society of America B Vol.29 No.2