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플라스틱 기판에 펜타센 유기박막트랜지스터를 이용한 집적회로 제작
허영헌(Yong-Xian Xu),황성범(Sung-Beom Hwang),송정근(Chung-Kun Song) 대한전자공학회 2007 電子工學會論文誌-SD (Semiconductor and devices) Vol.44 No.11
본 연구에서는 하부전극 구조 펜타센 유기박막트랜지스터를 이용하여 플라스틱 기판에 인버터, 링 발진기, NAND & NOR 논리게이트, 정류기 등 간단한 집적회로를 제작하고 그 특성을 관찰하였다. 제작된 유기박막트랜지스터 소자의 평균 전하이동도는 0.26 ㎠/V.sec, 전류점멸비는 10?로 나타났으며 인버터와 NAND, NOR 논리게이트는 입력에 대해 정확한 논리출력값을 출력하였다. 전파 정류기는 1㎒의 AC 입력신호에 대해 정류효과를 나타냈으며 링 발진기는 DC 40V에서 1㎒의 발진특성을 보였다. 이와 같이 유기박막트랜지스터를 이용한 집적회로를 제작하고 특성을 분석함으로써 현재 관심이 되고 있는 초저가 RFID tag, Flexible Display 구동회로 등에 유기박막트랜지스터를 적용할 수 있는 가능성을 확인하였다. In this article, the organic integrated circuits such as inverter, ring oscillator, NAND and NOR gates, and rectifier have been fabricated on PEN substrate by using pentacene TFTs, The OTFTs used bottom contact structure and produced the average mobility of 0.26 ㎠/V.sec and on/off current ratio of 10?. All circuits successfully worked as the simulation results. Especially, the rectifier was able to operate up to 1 ㎒ input AC signals, and ring oscillator exhibited oscillation frequency of 1㎒ at 40 V. Based on the results of organic integrated circuits we could confirm the possibility of the low cost RFID tags and flexible display with OTFTs.