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- 저자 : 황광석(Kwangseok Hwang) (검색결과 2 건)
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초음속 나노입자빔을 이용한 표면 나노입자(10㎚) 제거 실험
김인호(Inho Kim),황광석(Kwangseok Hwang),김의재(Euijae Kim),이진원(JinWon Lee) 대한기계학회 2010 대한기계학회 춘추학술대회 Vol.2010 No.5
나노 기술의 발달과 함께 나노 크기의 오염 입자가 큰 문제로 대두되고 있지만 입자의 크기가 50㎚ 이하로 작아지면 효과적인 제거가 어려워진다. 최근 나노 입자를 대상으로 하는 다양한 오염 제거 기술이 개발되고 있으나 입자의 크기가 작아질수록 입자와 표면의 상대적인 부착력이 크게 증가하기 때문에 기존의 입자제거 방식은 효과적이지 못하다. 그 대안으로 건식 세정 방식 중 초음속 입자빔의 모멘텀 전달을 이용한 방식이 제시되고 있다. 본 연구에서는 초음속 노즐을 통한 초음속 팽창 과정에서 생성되는 입자빔을 이용하여 고체 표면에 부착되어 있는 나노 크기의 입자를 제거하는 방법에 대한 기본적인 특성과 제거 메커니즘을 확인해 보았다. 그 결과 초음속 팽창 중의 응축을 통한 CO₂ 입자빔을 이용하면 10㎚ 이상의 세라믹 입자를 90%이상 제거할 수 있었다. Nano particle contaminant is becoming a major issue. Cryogenic aerosols are now proposing to be an effective technique for removal of small particles. The dry cleaning technology utilizes momentum transfer of cryogenic aerosol clusters to dislodge and remove contaminant particles. Cryogenic process generates the solid clusters using the supersonic nozzle. Contaminant particles on the substrate are dislodged by mechanical impact of the solid clusters. In this study, the particle removal mechanisms will be addressed using CO₂ cleaning. High speed jet of CO₂ is generated through a converging-diverging nozzle. It can remove contaminant particles due to the greater impact of CO₂ clusters at supersonic speed. The best removal efficiency is greater than 90% for 10㎚ Al₂O₃ particle.
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최은석(Eunserk Choi),황광석(Kwangseok Hwang),이진욱(Jinuk Lee),정기현(Kihyun Chung),장창국(Changguk Jang) 한국자동차공학회 2023 한국자동차공학회 부문종합 학술대회 Vol.2023 No.5
As vehicle industry has been experiencing CO2 reduction and smart car systems, IT-oriented patent disputes are emerging in the vehicle technology. In this paper, technology fields where patent disputes occur and patent disputes litigation progress are described. Patent disputes for the autonomous vehicle and electric vehicle are also described.
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