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실리콘 기판위에 플라즈마 분자선 에피택시를 이용하여 성장된 질화알루미늄 박막의 특성분석
홍성의,한기평,백문철,조경익,윤순길 한국전기전자재료학회 2000 전기전자재료학회논문지 Vol.13 No.10
Growth characteristics and microstructure of AIN thin films grown by plasma assisted molecular beam epitaxy on Si substrates have been investigated. Growing temperature and substrate orientation were chosen as major variables of the experiment. Reflection high energy electron diffraction (RHEED), X-ray diffraction (XRD), atomic force microscopy (AFM) and transmission electron microscopy/diffraction (TEM/TED) techniques were employed to characterize the micorstructure of the films. On Si(100) substrates, AlN thin films were grown along the hexagonal c-axis preferred orientation at temperature range 850-90$0^{\circ}C$. However on Si(111), the AlN films were epitaxially grown with directional coherency in AlN(0001)/Si(111), AlN(1100)/Si(110), and AlN(1120)/Si(112) at 85$0^{\circ}C$ and the epitaxial coherencry seemed to be slightly distorted with increasing temperature. The microstructure of AlN thin films on Si(111) substrates showed that the films include a lot of crystal defects and there exist micro-gaps among the columns.
RAMBE를 사용하여 Si 기판 위에 성장된 AIN 박막의 결정성 분석
홍성의,한기평,백문철,조경익,윤순길 한국진공학회 2001 Applied Science and Convergence Technology Vol.10 No.1
Plasma assisted molecular beam epitaxy(PAMBE)를 사용하여 Si 기판위에 성장시킨 AlN 박막에 대하여 성장온도 및 기판의 방향성에 따른 박막의 결정성 변화를 분석하였다. Reflection high energy electron diffraction(RHEED) 패턴을 이용하여 성장 중의 결정성을 관찰하였고, 성장 후에는 X-ray diffraction(XRD), double crystal X-ray diffraction(DCXD), transmission electron microscopy/diffraction(TEM/TED)분석을 하였다. $850^{\circ}C$이상의 온도에서 Si(100)위에 성장된 AlN박막은 육방정계의 c축 방향으로 우선 배향되어 있음을 확인하였으며 Si(111)위에 성장된 AlN박막의 경우 AlN(0001)/Si(111), AlN(1100)/Si(110), AlN(1120)/Si(112)의 결정방위를 가지고 성장하였음을 확인하였다. 또한 Si(111) 기판 위에서는 전위와 적층결함 등 많은 결정결함에 의해 DCD패턴의 반치폭이 2$\theta$=$36.2^{\circ}$에서 약 3000arcsec에 이르는 등 결정성은 좋지 않았으나 AlN박막이 단결정으로 성장된 것으로 나타났다. Microstructures of AlN thin films on Si substrates grown by plasma assisted molecular beam epitaxy were analyzed with various growth temperatures and substrate orientations. Reflection high energy electron diffraction (RHEED) patterns were checked for the in-situ monitoring of the growth condition. X-ray diffraction(XRD), double crystal X-ray diffraction (DCXD), and transmission electron microscopy/diffraction (TEM/TED) techniques were employed to characterize the microstructure of the films after growth. On Si(100) sub-strates, AlN thin films were grown mostly along the hexagonal c-axis orientation at temperature higher than $850^{\circ}C$. On the other hand the AlN films on Si(111) were epitaxially grown with directional coherencies in AlN(0001)/Si(111), AlN(1100)/Si(110), and AlN(1120)/Si(112). The microstructure of AlN thin films on Si(111) substrates, with a full width at half maximum of almost 3000 arcsec at 2$\theta$=$36.2^{\circ}$, showed that the single crystal films were grown, even if they includ a lot of crystal defects such as dislocations and stacking faults.
사고, 재난, 그리고 참사의 사회적 구성: 가습기 살균제 사건의 피해 확산과정
홍성만(洪性滿),한준섭(韓準燮) 한국공공관리학회 2019 한국공공관리학보 Vol.33 No.4
본 연구는 정책행위자 간 상호작용에 초점을 맞추어서 가습기 살균제로 인한 피해가 확산되는 과정을 분석하였다. 단순한 화학물질 사건으로 끝날 수 있었던 사건이 공식/비공식 정책 행위자 간 갈등이 발생하면서 적극적 정책대응의 중요한 시점을 놓쳤고, 그 결과 물리적/심리적 피해가 확산되는 결과로 이어졌다. 본 연구가 채택한 방법론은 과정추적을 위한 근거이론 방법이다. 연구진은 가습기 살균제 사건의 정책과정을 정책행위자의 정책행동에 관한 자료로 정리하여 사건일지로 재구성하였다. 연구자들은 정책행위자들의 정책행동을 총179개의 1차 코드로 개념화하였고, 이를 다시 ‘행위자의 행동-상대방의 반응-행위자의 대응’을 기준으로 29개의 순환(cycle)으로 범주화 하였다. 분석결과, 협동, 협상, 그리고 갈등의 9가지 관계유형 중 7가지 유형에서 갈등적 양상이 나타나고 있었다. 가습기 살균제 사건은 단순사고, 사회재난, 그리고 사회참사의 단계를 거치면서 점점 협력과 협상보다는 갈등의 상호작용이 증가하였고, 이런 갈등이 물리적/심리적 피해를 확산시켰다. 본 연구의 결과를 다양한 사례에 적용하고 세밀하게 분석한다면, 갈등고리와 협동고리, 그리고 협상의 조건 등에 관한 정교한 이론화가 가능할 것이다. 또한 정책행위자 간 갈등을 관리하기 위한 현장지식과 결합한다면 정책현장에서 유용한 지식이 될 것이라는 정책적 함의를 도출할 수 있다.
홍성만(洪性滿),서인석(徐寅錫) 한국공공관리학회 2019 한국공공관리학보 Vol.33 No.1
본 연구는 사회재난의 피해증폭현상에 주목하여 정부의 대응에도 불구하고, 왜 2차적 재난피해가 발생하는가에 대한 근본적인 문제의식을 갖고, 사회재난의 피해 확산 분석 모형의 도출을 목적으로 하였다. 이를 위하여 본 연구에서는 최근 10년간의 재난관련 논문을 중심으로 메타분석적 접근을 실시하였고, 이를 통해서 사회재난 피해확산에 관한 모형을 도출하여 제시하였다. 사회재난의 피해가 증폭되고 확대되는 현상을 이해할 수 있는 이론이 부재한 상황에서 재난적 사건 · 사고→법 · 제도→정부대응→사회적 상호작용→재난피해증폭의 인과관계는 재난피해가 증폭되는 과정을 이해하고 설명할 수 있는 의미 있는 모형이 될 수 있음을 알 수 있었다. 본 모형은 사회재난 피해확산 논리에 대한 단기적 설명부터 장기적으로 사회재난의 피해완화를 위한 처방과 설명을 가능하게 하여 그 유용성은 크다는 점을 제시하였다. 다만, 향후 모형의 설명력을 높이기 위해서는 학제적 사례연구를 통해 실제적 검증작업을 꾸준히 해 나가야하는 과제가 있다.