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단일 이온원을 사용하는 이온빔 스퍼터링법에 의한 Mn-Zn 페라이트 박막의 증착 기구
조해석,하상기,이대형,홍석경,양기덕,김형준,김경용,유병두,Jo, Hae-Seok,Ha, Sang-Gi,Lee, Dae-Hyeong,Hong, Seok-Gyeong,Yang, Gi-Deok,Kim, Hyeong-Jun,Kim, Gyeong-Yong,Yu, Byeong-Du 한국재료학회 1995 한국재료학회지 Vol.5 No.2
단일 이온원을 사용하는 이온빔 스퍼터링법을 이용하여 Mn-Zn페라이트 박막을 증착하였다. 기판은 1000$\AA$의 산화막이 입혀진 실리콘 웨이퍼를 사용하고 타깃은 (110)Mn-Zn 페라이트 단결정위에 Fe 금속선을 부착한 모자이크 타깃을 사용하엿다. 산소의 유입없이 성장된 박막은 금속선으로부터 스퍼터링된 금속이온들에 의해 상대적인 산소결핍을 나타내어 Wustite 구조를 가졌으며, 이를 해결하기 위해 기판주위로 산소를 유입시켜 증착시킨 결과(111) 우선배향성을 가지는 스피넬 페라이트 상의 박막을 얻을 수 있었다.박막의 성장속도는 이온빔 인출전압, 이온빔 입사각이 증가할수록 감소하였고, 기판과 타깃과의 거리가 멀어질수록 감소하였다. 낮은 이온빔 인출전압에서는 인출전압의 증가에 따라서 박막의 결정화가 향상되었지만, 매우 높은 인출전압에서는 이차이온의 에너지가 너무 높아 박막에 손상을 가하게 되므로 인출전압이 증가할수록 박막의 결정화는 오히려 저하되었다. 스피넬 구조를 가지는 페라이트 박막들은 페리자성을 나타내었으며 박막면에 평행한 방향으로 자화용이축을 가졌다. Mn-Zn ferrite thin films were deposited on $SiO_2(1000 \AA)/Si(100)$ by ion beam sputtering using a single ion source. A mosaic target consisting of a single crystal(ll0) Mn-Zn ferrite with a Fe metal strip on it was used. As-deposited films without oxygen gas flow have a wiistite structure due to oxygen deficiencies, which originated from the extra metal atoms sputtered from the metal strips during deposition. The as-deposited films with oxygen gas flow, however, have a spinel structure with (111) preferred orientation. The crystallization of thin films was maximized at the ion beam extraction voltage of 2.lkV, at which the deposited films are bombarded appropriately by the energetic secondary ions reflected from the target. As the extraction voltage increased or decreased from the optimum value, the crystallinity of thin films becomes poor owing to a weak and severe bombardment of the secondary ions, respectively. Crystallization due to the bombardment of the secondary ions was also maximized at the beam incidence angle of $55^{\circ}$. The as-deposited ferrite thin films with a spinel structure showed ferrimagnetism and had an in-plane magnetization easy axis.
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이온빔 스퍼터링에 의해 증착된 Mn-Zn 페라이트 박막의 자기 및 전기적 특성
조해석,하상기,이대형,주한용,김형준,김경용,제해준,유병두 한국세라믹학회 1995 한국세라믹학회지 Vol.32 No.3
We investigated the preferred orientation, electrical and magnetic properties of the Mn-Zn ferrite thin films deposited on SiO2/Si(100) by ion beam sputtering. The Cu-added Mn-Zn ferrite thin films had a preferred orientation of (111) with a weak orientation, (311). While the Zn-added one had a strong (111) preferred orientation. The saturation magnetization of the Cu- or Zn-doped Mn-Zn ferrite films increased with increasing substrate temperature (Ts) due to the increase of grain size and the enhancement of crystallinity. For the same reason the coercivity of Cu- or Zn-doped Mn-Zn ferrite films deposited at low Ts increased with increasing Ts, but those of the films deposited at high Ts slightly decreased not only because the defect density of the films decreases but because more grains have multi-domains with increasing Ts. The resistivity of Cu- or Zn-added Mn-Zn ferrite thin fims measured by complex impedance method decreased with increasing Ts due to the ehhancement of crystallinity as well as due to the increase of grain size.
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