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ア ァ カ サ ザ タ ダ ナ ハ バ パ マ ヤ ャ ラ ワ ヮ ン イ ィ キ ギ シ ジ チ ヂ ニ ヒ ビ ピ ミ リ ウ ゥ ク グ ス ズ ツ ヅ ッ ヌ フ ブ プ ム ユ ュ ル エ ェ ケ ゲ セ ゼ テ デ ヘ ベ ペ メ レ オ ォ コ ゴ ソ ゾ ト ド ノ ホ ボ ポ モ ヨ ョ ロ ヲ ―

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      저자 : 최헌화 (검색결과 1 건)
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        Fabrication and Characterization of an Attonewton-sensitivity Si Cantilever with an Nb Micro-ring

        김윤원,최헌화,최재혁,이순걸 한국물리학회 2012 THE JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY Vol.60 No.7

        We have fabricated ultrasensitive silicon cantilevers integrated with a superconducting Nb micro-ring as a key part of a flux quantum-based force measurement system, and have characterized both their mechanical and superconducting properties by mechanical methods. A 50 nm-thick Nb ring with the inner and outer radii of 5 µm and 10 µm was mounted by DC magnetron sputtering and lift-off on the end of a 410 µm-long, 4 µm-wide and 340 nm-thick single-crystalline silicon cantilever. The cantilever showed force sensitivity as good as 4.2 aN/√Hz at 3 K, which was estimated from its spring constant of 2.6 ×10<sup>-5</sup> N/m and a quality factor of 31000. The superconducting property of the Nb micro-ring was observed from the variation of the cantilever vibration amplitude while the vibration was driven by an excitation coil, showing a transition temperature of 7 K. The superconducting transition was also confirmed through an electrical transport measurement for a separately prepared Nb strip film on a silicon wafer.

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