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최정안(Jeongan Choi),송호현(Hohyun Song),이대훈(Dae Hoon Lee) 한국환경에너지공학회 2023 한국열환경공학회 학술대회지 Vol.2023 No.2
대기 중 방출되는 바이오가스 (CH4, CO2 주성분)는 주요 온실가스로서 이를 이용한 H2 생산은 탄소중립 (CO2 neutral) 공정으로 그린 수소 생산 기술이다. CO2를 포함하는 바이오가스를 활용한 수소 생산 기술은 그린 수소 생산 기술 중에서 저렴하고 유망한 기술이며, 기술적 경제적으로 타당한 기술이고 환경 친화적인 기술로 알려져 있다. 국내의 경우, 천연가스를 활용한 수소 생산 비용은 수소 1kg 당 7,328원 (산업부, 2021년 4 월기준)이며, 화석연료를 이용하는 수소 생산방식은 CO2가 추가로 발생한다. 향후 국내에서도 탄소세 는 유럽과 마찬가지 로 점점 높 아질 것으로 예상되기 때문에 탄소세 증가와 기술 개발을 고려하면, CO2 포함 바이오가스를 이용한 그 린수소 생산은 경제성이 크다고 볼 수 있다. 본 연구에서 는 회전아크 플라즈마를 활용한 버너를 이용해 바이오가스를 활용해 열중립적인 방법으로 수소를 생산하는 방법에 대한 실험을 진행하였다. 바이오가스 일부 (20~30%)를 연소시켜 얻은 반옹열 로 촉매반옹을 이용해 수소를 생산하였다.
Changmin Kim,Sungwon Choi,최정안,석현호,Keun-Oh Park,Youngho Cho,박기홍,Sanghyuck Jeon,김형우,김태성 대한기계학회 2023 JOURNAL OF MECHANICAL SCIENCE AND TECHNOLOGY Vol.37 No.3
A particle sizer was developed for real-time monitoring of suspended particles in chemical mechanical polishing (CMP) slurries to prevent any damage caused by coarse particles in the CMP process. Laser-induced light scattering from individual particles was utilized to monitor the concentration and size distribution of suspended particles in the CMP slurries, because monitoring is crucial for achieving higher than 80 % of chip yields by controlling the slurries. The particle sizer, termed as PrimeSizer_SM Micro, consists of an integrated fluid system and optical sensing component. The PrimeSizer_SM Micro was calibrated using commercially available standard polystyrene-latex (PSL) particles with sizes in the range of 0.15-0.5 µm. Performance was evaluated in terms of the PSL particle size distribution. Two types of CMP slurries, containing silica and ceria particles, were analyzed using the PrimeSizer_SM Micro. The results revealed the size distributions and concentrations of the CMP slurries.