단일 이온원을 사용하는 이온빔 스퍼터링법에 의한 Mn-Zn 페라이트 박막의 증착 기구

조해석,하상기,이대형,홍석경,양기덕,김형준,김경용,유병두,Jo, Hae-Seok,Ha, Sang-Gi,Lee, Dae-Hyeong,Hong, Seok-Gyeong,Yang, Gi-Deok,Kim, Hyeong-Jun,Kim, Gyeong-Yong,Yu, Byeong-Du 한국재료학회 1995 한국재료학회지 Vol.5 No.2

단일 이온원을 사용하는 이온빔 스퍼터링법을 이용하여 Mn-Zn페라이트 박막을 증착하였다. 기판은 1000$\AA$의 산화막이 입혀진 실리콘 웨이퍼를 사용하고 타깃은 (110)Mn-Zn 페라이트 단결정위에 Fe 금속선을 부착한 모자이크 타깃을 사용하엿다. 산소의 유입없이 성장된 박막은 금속선으로부터 스퍼터링된 금속이온들에 의해 상대적인 산소결핍을 나타내어 Wustite 구조를 가졌으며, 이를 해결하기 위해 기판주위로 산소를 유입시켜 증착시킨 결과(111) 우선배향성을 가지는 스피넬 페라이트 상의 박막을 얻을 수 있었다.박막의 성장속도는 이온빔 인출전압, 이온빔 입사각이 증가할수록 감소하였고, 기판과 타깃과의 거리가 멀어질수록 감소하였다. 낮은 이온빔 인출전압에서는 인출전압의 증가에 따라서 박막의 결정화가 향상되었지만, 매우 높은 인출전압에서는 이차이온의 에너지가 너무 높아 박막에 손상을 가하게 되므로 인출전압이 증가할수록 박막의 결정화는 오히려 저하되었다. 스피넬 구조를 가지는 페라이트 박막들은 페리자성을 나타내었으며 박막면에 평행한 방향으로 자화용이축을 가졌다. Mn-Zn ferrite thin films were deposited on $SiO_2(1000 \AA)/Si(100)$ by ion beam sputtering using a single ion source. A mosaic target consisting of a single crystal(ll0) Mn-Zn ferrite with a Fe metal strip on it was used. As-deposited films without oxygen gas flow have a wiistite structure due to oxygen deficiencies, which originated from the extra metal atoms sputtered from the metal strips during deposition. The as-deposited films with oxygen gas flow, however, have a spinel structure with (111) preferred orientation. The crystallization of thin films was maximized at the ion beam extraction voltage of 2.lkV, at which the deposited films are bombarded appropriately by the energetic secondary ions reflected from the target. As the extraction voltage increased or decreased from the optimum value, the crystallinity of thin films becomes poor owing to a weak and severe bombardment of the secondary ions, respectively. Crystallization due to the bombardment of the secondary ions was also maximized at the beam incidence angle of $55^{\circ}$. The as-deposited ferrite thin films with a spinel structure showed ferrimagnetism and had an in-plane magnetization easy axis.

3차원 GIS를 활용한 재건축 및 리모델링 시나리오 비교 분석 - 분당신도시 시범단지를 중심으로 -

전진환(Jun, Jin Hwan),정다은(Jung, Da Eun),조해송(Jo, Hae Song),김충호(Kim, Chung Ho) 대한건축학회 2023 대한건축학회 학술발표대회 논문집 Vol.43 No.1

In February 2023, Korean government announced the Special Act which includes raising the floor area ratio, changing land use, and allowing the number of households to increase. However, Bundang New Town has established a plan for remodeling by 2025. Therefore, Each Reconstruction and Remodeling scenario was conducted in Bundang New Town, where the two urban space variables of reconstruction and remodeling conflicted. Therefore, the purpose of this study is to provide a comprehensive reference for the discussion of design, landscape, and quantity by index for each scenario of reconstruction and remodeling. To this end, Reconstruction Scenario according to the change of the land use and Remodeling Scenario defining a customized extension apartment model were created. As a result, in the case of reconstruction, it was easy to develop designs open space according to changes in the land use area, and it was advantageous to form a long-term eco-friendly urban structure. However, there were disadvantages such as the large amounts of wastes. On the other hand, in the case of remodeling, it was difficult to solve the landscape problem and the number of parking problems. However, Remodeling has advantages in conservation of indigenous people and communities and waste emissions.

플라즈마 화학기상 증착법에 의한 B이 첨가된 ZnO 박막의 증착에 관한 연구

최준영,조해석,김영진,이용의,김현준,Choe, Jun-Yeong,Jo, Hae-Seok,Kim, Yeong-Jin,Lee, Yong-Ui,Kim, Hyeon-Jun 한국재료학회 1995 한국재료학회지 Vol.5 No.5

We investigated the effects of B-doping on the growth mechanism of ZnO films. The B-doped ZnO films, which were widely applied for transparent conducting electrode, were deposited by plasma enhanced chemcial vapor depostion(PECVD) using diethylzinc(DEZ), No.sub 2/. and B$_{2}$H$_{6}$. The deposition conditions were a sbustrate temperature of 30$0^{\circ}C$, an rf power of 200, and a chamber pressure of 1 torr. At the given depostion condition, the growth rate of B-doped ZnO thin films was higher than that of undoped ones, but didn't change even with further increasing B$_{2}$H$_{6}$ flow rate and the interplanar distance between(0002) planes was reduced as B atoms substituted Zn sites.s.

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 Al이 첨가된 ZnO 투명전도막의 전기적 특성

김진용,이용의,조해석,이동현,김영진,김형준,Kim, Jin-Yong,Lee, Yong-Ui,Jo, Hae-Seok,Lee, Dong-Hyeon,Kim, Yeong-Jin,Kim, Hyeong-Jun 한국재료학회 1995 한국재료학회지 Vol.5 No.3

첨가제로 $Al_{2}$$O_{3}$가 포함된 ZnO 소결체가 타깃을 이용하여 RF 마그네트론 스퍼터링법으로 Al이 첨가된 ZnO박막을 증착하고, 타깃에 첨가된 $Al_{2}$$O_{3}$의 농도와 증착시 스퍼터링장치내의 기판위치에 따른 박막의 물성 변화를 고찰하였다. 타깃의 $Al_{2}$$O_{3}$ 첨가농도가 2wt%인 경우에 비저항치 8 $\times$ $10_{-3}$ $\Omega$-cm인 박막이 증차되었다. 또한 $Al_{2}$$O_{3}$가 2wt%이상 첨가된 경우는 모든 Al이 박막내부에서 Zn를 치환하여 전자주게로의 역할을 하지 못하고, 오히려 치환되지 못한 Al원자의 중성 불순물 산란효과에 의해 박막의 비저항이 증가하였다. 타깃의 마모영역 위에서 증착된 Al을 첨가한 ZnO 박막은 그 영역 KR에서 증착된 박막보다 높은 비저항값을 나타냈으며, 이는 큰 에너지를 가지는 산소입자의 충돌에 기인한 것으로 여겨진다.

Rf 마그네트론 반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 $RuO_2$ 박막의 특성분석

조호진,홍석경,조해석,양홍근,김형준,Jo, Ho-Jin,Hong, Seok-Gyeong,Jo, Hae-Seok,Yang, Hong-Geun,Kim, Hyeong-Jun 한국재료학회 1995 한국재료학회지 Vol.5 No.5

Rf 마그네트론 반응성 스퍼터링법을 이용하여 Si, SiO$_{2}$/Si 가판의에 전도성 RuO$_{2}$ 박막을 증착하고, 공정변수가 증착되는 박막의 특성에 미치는 영향을 고찰하였다. 대부분의증착조건에서 주상정 구조의 단일상 RuO$_{2}$ 박막이 증착되었으며, 부착원자들의 표면이동도가 낮은 영역에서는 (101) 우선배향성이 관찰되었고, 높은 영역에서는 (200) 우선배향성이 관찰되었다. 증착조건에 따른 박막의 우선배향성 변화는 박막의 결정구조와연관지어 논의되었다. 기판온도 35$0^{\circ}C$에서 증착된 박막은 치밀하고 표면이 평탄하며, 비저항이 90㏁-cm 정도로 낮아서 고유전율 박막의 전극물질로 이용하기에 적합하였다. 45$0^{\circ}C$ 이상의 기판온도에서 증착된 박막은 46㏁-cm 정도로 매우 낮은 비저항을 갖니만 표면이 거칠었다.

화학기상증착법에 의한$TiO_2$박막의 구조 및 전기적 특성에 관한 연구

최상준,이용의,조해석,김형준,Choe, Sang-Jun,Lee, Yong-Ui,Jo, Hae-Seok,Kim, Hyeong-Jun 한국재료학회 1995 한국재료학회지 Vol.5 No.1

Titanium oxide$(TiO_{2})$ 박막을 금속 알콕사이드 물질인 $(Ti(OC_3H_7)_4$(titanium isopropoxide)를 이용하여 p-Si(100) 기판위에 상압 화학 기상 증착법으로 증착시켰다. $(TiO_{2})$ 박막의 증착기구는 단순경 계층 이론으로 잘 설명되었으며, 화학반응 지배 기구 영역에서 겉보기 활성화 에너지는 18.2kcal/mol이었다. 증착된 박막은 $250^{\circ}C$이상에서 anatase상의 결정질 박막이었으며, 고온에서 열처리를 했을 경우에 rutile상으로 전이하였다. 박막의 상전이에는 열처리 온도외에도 열처리 시간과 박막의 두께가 영향을 미쳤다. 정전용량-전압특성을 조사해 본 결과 전형적인 MOS 다이오드구조의 특성을 보였으며, 비유전율 상수는 약 80정도였다. 제조한 $(TiO_{2})$ 박막의 열처리 공정 후에는 정전용량이 감소하였으며, 첨가물을 사용한 박막은 열처리 전과 같았다. 이때 $V_{FB}$는 -0.5 ~ 1.5V였다. 전기전도 특성을 알아보기 위하여 전류-전압특성을 조사하였으며 증착된 박막의 전도기구는 hopping mechanism이었다. 전기적 특성을 개선하기 위해서 후열처리 방법과 박막 증착시 Nb, Sr을 첨가하였으며, 모두 누설전류의 감소와 정전파괴전압의 증가를 가져왔다. $(TiO_{2})$ thin films were deposited on p-Si(100) substrate by APMOCVD using titanium isopropoxide as a source material. The deposition mechanism was well explained by the simple boundary layer theory and the apparent activation energy of the chemical reaction controlled process was 18.2kcal /mol. The asdeposited films were polycrystalline anatase phase and were transformed into rutile phase after postannealing. The postannealing time and the film thikness as well as the postannealing temperature also affected the phase transition. The C-V plot exhibited typical charateristics of MOS diode, from which the dielectric constant of about 80 was obtained. The capacitance of the annealed film was decreased but those of the Nb or Sr doped films were not changed. I-V characteristics revealed that the conduction mechanism was hopping conduction. The postannealing and the doping of Nb or Sr cause to decrease the leakage current and to increase the breakdown voltage.

V2X를 이용한 교통 신호 예측 및 자율주행자동차 종 방향 제어 방법

윤수현(Suhyun Yoon),조해준(Hae Jun Jo),곽성우(Seong Woo Kwak),이재천(Jae Cheon Lee),이호승(Ho Seung Lee) 한국지능시스템학회 2020 한국지능시스템학회논문지 Vol.30 No.3

본 논문에서는 V2X를 이용하여 교통 신호 정보를 예측하고 자율주행 자동차가 교차로를 통과하는 시간을 단축시키는 종 방향 제어 방법을 제안한다. 이 방법을 구현하기 위해서는 정밀 도로지도, 자율 주행 차량, 종 방향 액추에이터 및 V2X 터미널이 필요하다. 먼저 V2X 정보를 사용하여 교통 신호주기를 결정하고, 이것을 이용하여 가상 신호등을 생성한다. 다음으로 차량의 주행 속도에 따라 교차로 진입 시점에서 신호등의 변화를 예측한다. 이것을 바탕으로 교차로에서 제한 속도를 초과하지 않고 통과 시간을 단축하기 위한 교차로 차량 제어 알고리즘을 제안한다. 제안된 알고리즘은 시뮬레이션과 실제 차량에서의 실험을 통하여 그 유효성을 검증하였다. In this paper, we propose a longitudinal control method that predicts traffic signal information using V2X and shortens the time that autonomous vehicles pass through the intersection. To implement this method, high definition maps, autonomous vehicle, longitudinal actuators and V2X terminals are required. First, the traffic signal cycle is determined using V2X information. Next, a virtual traffic light is generated based on the traffic signal period. Then, we predicts the change of the traffic light at the intersection entry point according to the traveling speed of the vehicle. We developed a vehicle control algorithm in front of the intersection to shorten the intersection passing time without exceeding the speed limit.

당뇨병 환자에서 발생한 Cerivastatin에 의한 횡문근 융해증 3예

이성수 ( Lee Seong Su ),조유경 ( Jo Yu Gyeong ),김해림 ( Kim Hae Lim ),박훈준 ( Park Hun Jun ),박만원 ( Park Man Won ),최민석 ( Choe Min Seog ),이강우 ( Lee Gang U ),장윤식 ( Jang Yun Sig ),방병기 ( Bang Byeong Gi ) 대한신장학회 2001 Kidney Research and Clinical Practice Vol.20 No.6

Cerivastatin is novel HMG-CoA reductase inhibitors. Clinical trials showed no significant differences of serum creatine kiase between cerivastatin and placebo, and cerivastatin-induced myopathy was rarely reported. This beneficial effect of cerivastatin is thought to be related to the the dual pathway metabolism by hapatic CYP3A4 and 2C8. We here report three cases of rhabdomyolysis which is associated with cerivastatin therapy. Two patients had diabetes mellitus, and received cerivastatin( 0.8 mg/day) for treating hyperlipidemia and the other patient had chronic renal failure due to diabetic nephropathy and has maintained peritoneal dialysis and received cerivastatin(0.4 mg/day). Within one month of cerivastatin treatment, those patients experienced myalgia or muscle weakness. At that time, laboratory findings including muscle enzyme level, and bone scan finding were compatible with rhadomyolysis. Under the impression of cerivastatininduced rhabodmyolysis, cerivastatin was withdrwan, and conventional treatment for rhabdomyolysis was started. Clinical course was uneventful, and these patients were discharged with good general condition. In conclusion, cerivastatin is regarded as a safe drug as compared with other statins, but it also causes rhabdomyolysis. Careful history taking and regular follow-up of muscle enzyme levels would be necessary to detect cerivastatin-induced rhabdomyolysis.

가토 두개골 결손 모델에서 실크단백과 나노하이드록시아파타이트, 옥수수 녹말 복합물을 이용한 골 이식재 개발

박용태,권광준,박영욱,김성곤,김찬우,조유영,권해용,강석우,Park, Yong-Tae,Kwon, Kwang-Jun,Park, Young-Wook,Kim, Seong-Gon,Kim, Chan-Woo,Jo, You-Young,Kweon, Hae-Yong,Kang, Seok-Woo 대한악안면성형재건외과학회 2011 Maxillofacial Plastic Reconstructive Surgery Vol.33 No.6

Purpose: This study evaluated the capability of bone formation with silk fibroin/nano-hydroxyapatite/corn starch composite scaffold as a bone defect replacement matrix when grafted in a calvarial bone defect of rabbits $in$ $vivo$. Methods: Ten New Zealand white rabbits were used for this study and bilateral round-shaped defects were formed in the parietal bone (diameter: 8.0 mm). The silk fibroin 10% nano-hydroxyapatite/30% corn starch/60% composite scaffold was grafted into the right parietal bone (experimental group). The left side (control group) was grafted with a nano-hydroxyapatite (30%)/corn starch (70%) scaffold. The animals were sacrificed at 4 weeks and 8 weeks. A micro-computerized tomography (${\mu}CT$) of each specimen was taken. Subsequently, the specimens were decalcified and stained with Masson's trichrome for histological and histomorphometric analysis. Results: The average ${\mu}CT$ and histomorphometric measures of bone formation were higher in the control group than in the experimental group at 4 weeks and 8 weeks after surgery though not statistically significant ($P$ >0.05). Conclusion: The rabbit calvarial defect was not successfully repaired by silk fibroin/nano-hydroxyapatite/corn starch composite scaffold and may have been due to an inflammatory reaction caused by silk powder. In the future, the development of composite bone graft material based on various components should be performed with caution.

DC 누설전류 측정 범위 개선을 위한 증폭 장치 개발

유정훈(Jung Hoon Yoo),방준호(Junho Bang),천현준(Hyun Jun Chun),선로빈(Robin Sun),조장훈(Jang Hoon Jo),권명회(Myeng-hae Kwon),오일대(Ildae Oh) 대한전기학회 2020 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2020 No.10