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박막 캔틸레버 어레이 센서를 이용한 질병 진단기 설계 및 구현
정승표,최준규,이정훈,박주성,Jung, Seung-Pyo,Choi, Jun-Kyu,Lee, Jung-Hoon,Park, Ju-Sung 한국전기전자학회 2015 전기전자학회논문지 Vol.19 No.1
커패시턴스 용량의 변화를 측정할 수 있는 박막 Si3N4 캔틸레버 센서 어레이를 이용한 질병진단 시스템을 설계하고 구현하였다. 시스템은 32 비트 RISC 프로세서, 메모리, 버스, 통신용 IP, ADC, LCD 디스플레이로 구성되어 있다. 10개 내외의 마커를 이용하여 수십 개의 마커를 사용했을 경우와 같은 정확도를 얻을 수 있는 마커선정 방법을 제안한다. 개발된 진단기의 커패시턴스 분해능은 1fF 이하이고, 트롬빈 10nM 까지 감지할 수 있다. The disease diagnosis system has been developed using the thin nitride(Si3N4) cantilever arrays which can measure the difference of capacitances between sensor and reference. The system consists of 32-bits RISC(Reduced Instruction Set Computer), RAM/Flash, bus, communication IP's, ADC(Analog Digital Converter) board, and LCD display. The marker selection method, which give us the good accuracy from reasonal numbers of markers, is suggested. The developed system has the resolution under 1fF and can detect 10nM concentration of Thrombin.