재일코리안 집중거주 지역의 한글경관

정성희 글로벌문화콘텐츠학회 2022 글로벌문화콘텐츠학회 학술대회 Vol.2022 No.10

티타늄과 코발트 박막의 산화규소 스페이서에 대한 열적안정성

정성희,송오성,김민성,Cheong, Seong-Hwee,Song, Oh-Sung,Kim, Min-Sung 한국재료학회 2002 한국재료학회지 Vol.12 No.11

We investigated the reaction stability of titanium, cobalt and their bilayer films with side-wall spacer materials of SiO$_2$ for the salicide process. We prepared Ti 350 $\AA$, Co 150 $\AA$, Co 150 $\AA$/Ti 100 $\AA$ and Ti 100 $\AA$/Co 150 $\AA$ films on 1000 $\AA$-thick thermally grown SiO$_2$ substrates, respectively. Then the samples were rapid thermal annealed at the temperatures of $500^{\circ}C$, $600^{\circ}C$, and $700^{\circ}C$ for 20 seconds. We characterized the sheet resistance of the metallic layers with a four-point probe, surface roughness with scanning probe microscope, residual phases with an Auger depth profilometer, phase identification with a X-ray diffractometer, and cross-sectional microstructure evolution with a transmission electron microscope, respectively. We report that Ti reacted with silicon dioxide spacers above $700^{\circ}C$, Co agglomerated at $600^{\circ}C$, and Co/Ti, Ti/Co formed CoTi compound requiring a special wet process.

복합 티타늄실리사이드 공정에서 발생한 공극 생성 연구

정성희,송오성,Cheong, Seong-Hwee,Song, Oh-Sung 한국재료학회 2002 한국재료학회지 Vol.12 No.11

We investigated the void formation in composite-titanium silicide($TiSi_2$) process. We varied the process conditions of polycrystalline/amorphous silicon substrate, composite $TiSi_2$ deposition temperature, and silicidation annealing temperature. We report that the main reason for void formation is the mass transport flux discrepancy of amorphous silicon substrate and titanium in composite layer. Sheet resistance in composite $TiSi_2$ without patterns is mainly affected by silicidation rapid thermal annealing (RTA) temperature. In addition, sheet resistance does not depend on the void defect density. Sheet resistance with sub-0.5 $\mu\textrm{m}$ patterns increase abnormally above $850^{\circ}C$ due to agglomeration. Our results imply that $sub-750^{\circ}C$ annealing is appropriate for sub 0.5 $\mu\textrm{m}$ composite X$sub-750_2$ process.

다양한 박막층을 채용한 코발트실리사이드의 물성

정성희,송오성,Cheong, Seong-Hwee,Song, Oh-Sung 한국재료학회 2003 한국재료학회지 Vol.13 No.5

The $CoSi_2$ process is widely employed in a salicide as well as an ohmic layer process. In this experiment, we investigated the characteristics of $CoSi_2$ films by combinations of I-type (TiN 100$\AA$/Co 150$\AA$), II-type(TiN 100$\AA$/Co 150$\AA$/Ti 50$\AA$), III-type(Ti 100$\AA$/Co 150$\AA$/Ti 50$\AA$), and IV-type(Ti 100$\AA$/Co 150$\AA$/Ti 100$\AA$). Sheet resistances of $CoSi_2$ show the lowest resistance with 2.9 $\Omega$/sq. in a TiN/Co condition and much higher resistances in conditions simultaneously applying Ti capping layers and Ti interlayers. Though we couldn't observe a $CoSi_2$roughness dependence on the film stacks from RMS values, Ti capping layers turned into 78∼94$\AA$ thick TiN layers of (200) preferred orientation at $N_2$ambient. In addition, Ti interlayers helped to form the epitaxial $CoSi_2$with (200) preferred orientation and ternary compounds of Co-Ti-Si. We propose that film structures of II-type and III-type may be appropriate in the salicide process and the ohmic layer process from the viewpoint of Co diffusion kinetics and the CoSi$_2$epitaxy.

통계적 실험 방법을 이용한 티타늄실리사이드의 열적안정성 연구

정성희,송오성,Cheong, Seong-Hwee,Song, Oh-Sung 한국재료학회 2003 한국재료학회지 Vol.13 No.3

A statistical experiment method was employed to investigate the window of the thermal stability of $TiSi_2$films which are popular for Ti-salicide and ohmic layers. The statistical experimental results showed that the first order term of $TiSi_2$thickness and annealing temperature was acceptable as a function of $\Delta$resistivity by 95% reliability criteria, and R-sq value implying a fit accuracy of the model also showed a high value of 93.80%. We found that $\Delta$resistivity of the $TiSi_2$film annealed at $700^{\circ}C$ for 1 hr changed from 3.35 to $0.379\mu$$\Omega$$\cdot$cm with increasing thickness from 185 to $703\AA$, and $\Delta$resistivity of the $TiSi_2$film with a fixed thickness of 444 $\AA$ changed from 0.074 to 17.12 $\mu$$\Omega$$\cdot$cm with increasing temperature increase from 600 to $800^{\circ}C$. From these results, we report that the process conditions of$ 692^{\circ}C$-1 hr, $715^{\circ}C$-1 hr, and 73$0^{\circ}C$-1 hr for $TiSi_2$($400 \AA$) are stable by the criteria of 1, 2, and 3 $\mu$$\Omega$$\cdot$cm of $\Delta$resistivity, respectively.

편협된 민족적 우월의식을 극복해야 할 한·일 관계

정성희 明知大學校 附設 日本問題硏究所 1990 日本硏究 Vol.1 No.-

셀프리더십이 변화지향 조직시민행동에 미치는 영향: LMX의 매개효과

정성희 서울평생교육연합 2021 한국미래교육연구 Vol.1 No.1

The purpose of this study is to reveal how self-leadership affects change-oriented organizational citizenship behavior, which is the core of organizational innovation, and what mechanism the leader-member exchange relationship (LMX) has in this process. Through the analysis of literature and previous studies, it was confirmed that self-leadership emphasized on self-initiation had a significant effect on the quality of the relationship between leaders and members. wanted to find out. In order to confirm the set research problem, a survey was conducted using the convenience sampling method with workers in their 20s and 50s working in large and medium-sized enterprises located in the metropolitan area and Gyeongnam area, and analysis was conducted based on a total of 291 copies of data. Based on the results of this study, the following implications can be provided. First, as a factor to promote change-oriented organizational citizenship behavior, the importance of self-leadership emphasizing the self-initiation of members was raised. Second, it was confirmed that improving the quality of the exchange relationship between leaders and members was an important part as a way to elicit change-oriented organizational citizenship behaviors of organizational members with high self-leadership. 본 연구는 셀프리더십이 조직 혁신의 핵심인 변화지향 조직시민행동에 어떠한 영향을 미치는지와 이 과정에 리더󰠏구성원 교환관계(LMX)가 어떠한 메커니즘을 가지는지 밝히는 것을 목적으로 하고 있다. 문헌 및 선행연구 분석을 통해 자기 주도성이 강조된 셀프리더십이 리더와 구성원 사이의 관계의 질에 유의한 영향을 미친다는 것을 확인하였고 이를 통해 결과적으로 변화지향 조직시민행동이 강화된다고 보고 LMX의 매개역할을 알아보고자 하였다. 설정된 연구 문제를 확인하기 위해 수도권 및 경남권 지역에 위치한 대기업 및 중견기업에 재직 중인 20~50대의 근로자를 대상으로 편의표집법을 통한 설문조사를 진행하였고, 총 291부의 자료를 바탕으로 분석을 진행하였다. 연구결과는 다음과 같다. 첫째, 셀프리더십이 변화지향 조직시민행동에 정적(+)인 영향을 미치는 것으로 나타났다. 셀프리더십의 하위요인인 행위중심전략과 자연적보상전략이 변화지향 조직시민행동에 정적으로 유의미한 영향을 미치는 것으로 나타났다. 둘째, 셀프리더십이 LMX에 부분적으로 유의한 영향을 미치는 것으로 나타났다. 셋째, LMX가 변화지향 조직시민행동에 정적(+)인 영향을 미치는 것으로 나타났다. 넷째, 셀프리더십이 변화지향 조직시민행동에 미치는 경로에서 LMX을 통해 매개효과가 나타났다. 본 연구의 결과를 토대로 다음과 같은 시사점을 제공할 수 있다. 변화지향 조직시민행동을 증진시키기 위한 요인으로 구성원의 자기 주도성이 강조된 셀프리더십의 중요성을 제고 하였으며 리더와 구성원의 교환관계의 질적 수준 향상이 중요한 부분임을 확인할 수 있었다.

복강경담낭절제술 후 발생한 양측성 상완신경총병증 - 증례 보고 -

정성희,임성훈,임선,정명은,김한승,이종인,고영진,김혜원 대한근전도전기진단의학회 2009 대한근전도 전기진단의학회지 Vol.11 No.2

Bilateral brachial plexopathy following general anesthesia is rare and has not been reported in Korea. An 81-year-old man developed weakness of bilateral upper extremities immediately after undergoing cholecystectomy. Electrodiagnostic study performed 16 days after onset of weakness revealed bilateral brachial plexopathy. His clinical symptoms showed gradual improvement with rehabilitation treatment. We report a patient who developed bilateral brachial plexopathy following laparoscopic cholecystectomy under the general anesthesia. Careful positioning of the upper extremity with awareness of risk factors which are likely to cause brachial plexus injury can prevent injury and potential disability to the patients.

식민지 시기 영남유림의 서양 정치제도 연구와 대응-이인재(李寅梓:1870~1929)와조긍섭(曺兢燮:1873~1933)을 중심으로-

정성희 동국대학교 동서사상연구소 2019 철학·사상·문화 Vol.0 No.29

이인재와 조긍섭은 조선말에서 식민지시기의 퇴계 학통을 이은 영남유림으로서 서양문명을 연구하여 저작물을 남겼다. 이 둘은 서양문명 연구에서 시작하여 정치제도 연구로 나아갔고, 그것의 현실 적용 가능성까지 모색하였다. 이인재는 서양철학 연구를 바탕으로 정치제도 연구로 나아갔다. 그는 공화제의 핵심이 대의제와 지방자치라고 보았다. 그는 서양 정치제도와 도학의 유사점을 찾고, 그 제도를 현실에 적용하려하였다. 우승열패, 자유, 민권 등 강유위나 양계초의 사상과 사회진화론을 수용하고, 선거제도를 활용해야 한다고 보았다. 조긍섭은 이인재에 비해 보수적이었다. 그는 사회진화론과 공리적 사고가 경쟁과 혼란을 가져온다고 본다. 공화제 역시 같은 측면에서 바라본다. 공화제의 대강을 선출에 의한 대통령제와 의회제도로 파악하는데, 임기제 최고통치자의 존재와 그를 견제하는 의회의 존재를 이해하지 못한다. 신분제를 기초로 한 전통적 군신관계를 절대적 기준으로 설정하고, 신분을 떠난 직책으로서의 대통령과 대중이 주체가 되는 선거제도를 수용하지 못하는 것이다. 이인재와 조긍섭은 식민지 시기의 지식인으로서 낮선 대상을 연구하고 도학적 가치관으로 그 파장에 대처하고자 하였다. 조선 말기에 시작된 외래문명과 본래적 가치의 관계설정에 대한 고민은 현재도 진행되고 있다. 또한 다문화시대에 접어든 지금 다양한 관계설정 방식을 고찰한다는 의미도 있을 것이다. Lee In-Jae and Jo Geung-Seob were scholars in the Yeongnam area following the school of Lee Hwang(李黃). Recognizing the Joseon Dynasty of the time as a crisis, they studied Western politics in order to overcome the crisis of Joseon Dynasty. But their goals were different. Lee In-Jae acknowledged the richness of the West, and saw that the power was based on the representative system and local autonomy, and tried to apply it to Joseon Dynasty. Jo Geung-Seob likewise acknowledged the wealth of the West, but he was more critical of it. He studied Western republicanism, and regarded its core as presidential and parliamentary systems. However he denied the system of the presidential term of office as having no authority, and he also denied the parliamentary system that controls the president in terms of efficiency. Jo Geung-Seob showed a strong objection to the ideas of the heavenly human rights and other rights which were the foundation of the republic system. He eventually criticized the republic system in the framework of the absolute kingship based on the class system. Their research was the result of concern of how to understand and establish relationships with Western as another being. Our concerns about relationships with Western as another being began at the end of the Joseon Dynasty, and have continued to this era passing through Lee In-Jae and Jo Geung-Seob. Recently, it seems to be entering a new stage as we move into a multicultural society. Their research will be an occasion of reflecting on our concerns about setting up relationships with another being.

永川 龍田里遺蹟

정성희 국립중앙박물관 2005 동원학술논문집 Vol.7 No.-