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HF-last Cleaning에서 SC-1 step과 $UV/O_3$ step이 gate 산화막에 미치는 영향
최형복,류근걸,정상돈,전형탁,Choe, Hyeong-Bok,Ryu, Geun-Geol,Jeong, Sang-Don,Jeon, Hyeong-Tak 한국재료학회 1996 한국재료학회지 Vol.6 No.4
반도체 소자가 점점 고집적회되고 고성능화되면서 Si 기판 세정 방법은 그 중요성이 더욱 더 커지고 있다. 특히 ULSI급 소자에서는 세정 방법이 소자 생산수율 및 신뢰성에 큰 영향을 끼치고 있다. 본 연구에서는 HF-last 세정에 UV/O3과 SC-1 세정을 삽입하여 그 영향을 관찰하였다. 세정 방법은 HF-last 세정을 기본으로 split 1(piranha+HF), split 2(piranha+UV/O3+HF), split 3(piraha+SC-1+HF), split 4(piranha+(UV/O3+HF) x3회 반복)의 4가지 세정 방법으로 나누어 실험하였다. 세정을 마친 Si 기판은 Total X-Ray Fluorescence Spectroscopy(AFM)을 사용하여 표면거칠기를 측정하였다. 또한 세정류량을 측정하고, Atomic Force Microscopy(AFM)을 사용하여 표면거칠기를 측정하였다. 또한 세정후 250$\AA$의 gate 산화막을 성장시켜 전기적 특성을 측정하였다. UV/O3을 삽입한 split 2와 split 4세정방법이 물리적, 전기적 특성에서 우수한 특성을 나타냈고, SC-1을 삽입한 split 3세정 방법이 표준세정인 split 1세정 방법보다 우수하지 못한 결과를 나타냈다.
제한적 내고정술 및 외고정술을 이용한 경골 Pilon 골절의 치료
최원태,엄두섭,임영택,유현종,정상돈,Choi, Won-Tae,Eom, Doo-Seob,Lim, Young-Taeg,Yoo, Hyun-Jong,Jeong, Sang-Don 대한족부족관절학회 1999 대한족부족관절학회지 Vol.3 No.1
Fractures of the tibial pilon are the severe injuries to the ankle joint resulted from axial compression, shear and/or rotational forces. The pilon fractures have been difficult in management due to the severe comminution of articular surface and frequent soft tissue problem. Among many treatment options, limited internal fixation of the tibia with long screws and multiple pins augmented with external fixation or casting provide adequate stabilization without soft tissue compromise. Among the patients of pilon fracture admitted to our hospital from March 1993 to March 1997 who treated by limited internal fixation and external fixation or casting, 25cases are included who could be follow up for more than 10months. According to Ruedi and Allgower, typeI 3cases, typeII 14cases, typeIII 8cases. The authors analyzed the clinical and radiological results of the tibial pilon fractures according to Magnusson. The results were as follow. 1. 10cases at Ruedi-Allgower typeII were obtained above fair and 5cases at Ruedi-Allgower typeIII were obtained above fair. 2. The postoperative complications were skin problem(3cases) and infection(2cases), which were treated by antibiotics and flap surgery.