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Field terminator를 이용한 CMA 제작에 관한 연구
이충만(C. M. Lee),성면창(M. C. Sung),권순남(S. N. Kwon),정광호(K. Jeong) 한국진공학회(ASCT) 1996 Applied Science and Convergence Technology Vol.5 No.4
Field terminator를 이용하여 single path cylindrical mirror analyser를 제작하였다. 먼저 컴퓨터 모의실험을 바탕으로 CMA의 원통형 전극양단에서 fringing field effect를 최소로 하여 log-scale의 등전위면을 그대로 유지하는 terminator의 전압비와 위치 등을 구하였다. 계산된 전압을 직렬로 연결된 금속산화물저항으로 만든 voltage divider로 field terminator에서 직접 인가하여 CMA의 fringing field effect를 줄이는 방법을 개발하였다. 이 방법으로 제작된 CMA의 분해능이 △E/E = 0.4% 이상임을 확인하였다. We constructed a single path cylindrical mirror analyser(CMA) using field terminator method. With computer simulation, the best fit voltage ratio and position of the field terminator was determined which maintain log-scale equipotential line near both end of the CMA. Then we construct field terminator with voltage divider of metal-oxide resisters which reduces the fringe field effect. The resolving power of the CMA was better than △E/E = 0.4%.
권순남(S. N. Kwon),이재경(J. G. Lee),이충만(C. M. Lee),정광호(K. Jeong) 한국진공학회(ASCT) 1997 Applied Science and Convergence Technology Vol.6 No.3
Angle Resolved Ultraviolet Photoemission Spectroscopy(ARUPS) 연구를 위한 표면 구조 확인과 표면 방향 결정을 위한 LEED를 제작하여 그 성능을 조사하였다. 컴퓨터 시뮬레이션을 이용하여 제작에 필요한 요인들을 최적의 값으로 결정하였다. 제작된 LEED는 3 Grid 방식을 채택하였고 시료와 스크린 사이의 거리를 75 ㎜, 투영 각도를 80˚로 하였다. 전자총은 TV gun을 사용하였고 이 gun의 특성을 조사하였다. 완성된 LEED의 성능 조사를 위하여 Si(001), AI₂O₃(0001) 표면의 LEED pattern을 분석하였다. Low Energy Electron Diffraction (LEED) apparatus was made to confirm the surface structure and to determine the direction of the structure for the Angle Resolved Ultraviolet Photoemission Spectroscopy (ARUPS) study. To determine the parameters needed for the design of the apparatus, computer simulation was used. Our LEED has 3 grids. The distance between sample and sccreen is 75 ㎜, and the viewing anlge is 80˚. The LEED apparatus was tested by investigating the Si(001) and AI₂O₃(0001) surface.
권순남(S. N. Kwon),이명호(M. H. Lee),송호식(H. S. Song),박소아(S. A. Park),이충만(C. M. Lee),정광호(K. Jeong) 한국진공학회(ASCT) 1999 Applied Science and Convergence Technology Vol.8 No.1
Angle Resolved Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy(ARUPS)용 전자 에너지 분석기를 제작하고 그 성능을 조사하였다. 독립적인 각 분해와 에너지 분해를 위하여 3전극 전자 렌즈 2개를 연이어 붙인 동심 반구형으로 제작하였다. 이 분석기의 성능을 조사하기 위하여 Cu(100)의 전자 에너지 구조를 연구하였다. 이 분석기의 최고 에너지 분해능은 40 meV 이하이고 각 분해능은 0.2°임을 확인할 수 있었다. An electron energy analyser for Angle Resolved Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy (ARUPS) has been constructed and tested. This analyser consists of tandem 3 element electron lenses and two concentric hemispherical capacitors. Electronic structure of clean Cu(100) surface has been studied to test the feature of the analyser. The ultimate energy resolution is 40 meV and angle resolution is 0.2°.