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구리 확산방지막으로서의 Ta와 Nb 박막의 특성에 관한 연구
최중일,이종무,Choe, Jung-Il,Lee, Jong-Mu 한국재료학회 1996 한국재료학회지 Vol.6 No.10
본 연구에서는 여러 기판에 대한 Cu의 확산정도를 알기 위하여 Ta, Nb, Co/Ta이중층 및 Co/Nb 이중층 위에 기화법으로 증착하고 열처리를 실시하였다. 열처리한 Ta막은 열처리하지 않은 Ta막보다 Cu 확산방지막으로서의 성능이 더 떨어지는데, 이것은 열처리에 의하여 Ta막이 결정화되기 때문이다. Cu/Co/Ta/(001)Si 구조에서의 구리 실리사이드 생성온도는 Cu/Co/Ta(001)Si 구조에서의 그것보다 더 높다. 한편, nb의 Cu에 대한 barrier 특성은 Ta와 비슷한 수준이다. 또한 Cu막 도포 이전에 Pd+HF활성화 전처리나 N2플라즈마 전처리를 실시하면, Cu의 핵생성뿐만 아니라 기판에 대한 Cu막의 접착성도 향상된다.
HfN/Si$_3$N$_4$와 NbN/$Si_3N_4$다층박막의 기계적 특성
정진중,황선근,이종무,Jeong, Jin-Jung,Hwang, Seon-Geun,Lee, Jong-Mu 한국재료학회 2001 한국재료학회지 Vol.11 No.3
고속도 공구강 기판에 반응성 스퍼터링법으로 증착된 HfN/Si$_3$N$_4$와 NbN/Si$_3$N$_4$다층박막의 기계적인 성질들을 막 증착 조건에 따라 평가하였다. HfN/Si$_3$N$_4$와 NbN/Si$_3$N$_4$ 다층박막의 강도는 $N_2$/Ar비가 0.4일 때가지 증가하다가 유량비가 증가함에 따라 더 이상 증가하지 않았다. 두 다층박막의 강도는 낮은 온도에서의 열처리에 의해서는 거의 변화가 업지만 80$0^{\circ}C$ 정도의 고온에서는 열처리에 의한 산화로 인하여 감소하였다. 낮은 온도에서의 열처리는 밀착성을 향상시키는 반면 고온에서의 열처리는 강도의 감소 이외에 밀착성이 감소하므로 바람직하지 못하다. HfN/Si$_3$N$_4$and NbN/Si$_3$N$_4$ multilayer coatings were deposited onto a high speed tool steel substrate by reactive sputtering and their mechanical properties were evaluated in terms of the dependence of hardness and adhesion strength on the sputter deposition process parameters. The hardnesses of both HfN/Si$_3$N$_4$and NbN/Si$_3$N$_4$ multiplayer coatings increase up to the flux ratio of 0.4 but nearly do not change after that as the $N_2$/Ar flux ratio in nitride sputter deposition increases. The hardnesses of both multiplayer coatings nearly do not change with annealing at low temperatures but decrease owing to oxidation with annealing at a high temperature like 80$0^{\circ}C$ after depositing the layers by sputtering. Post-annealing at low temperatures increases the adhesion strength of the multilayers. but high temperature annealing is not desirable since it decreases the adhesion strength besides the hardness deterioration.
AAO 템플릿과 잉크젯 인쇄 기술에 의한 은 나노로드 제조에 관한 연구
정봉용 ( Bong Yong Jeong ),정은혜 ( Eun Hye Jung ),최진섭 ( Jin Sub Choi ),김지훈 ( Ji Hoon Kim ),이진형 ( Jin Hyung Lee ),장정호 ( Jeong Ho Chang ),이종무 ( Chong Mu Lee ) 대한금속재료학회(구 대한금속학회) 2013 대한금속·재료학회지 Vol.51 No.9
Silver nanorods were fabricated using a porous anodic aluminum oxide (AAO) template by an ink-jet printing process. The highly arrayed AAO template was prepared to infiltrate silver nano particles by an anodization method. The ink-jet printing unit is equipped with a piezoelectric nozzle with a 50 um orifice from Microfab technology. The morphology and crystal structure of the silver nanorods were confirmed by field emission scanning electron microscopy and x-ray diffraction pattern, respectively. The diameter of the silver nanorods was about 60 nm, which was consistent with that the diameter distribution of the AAO template.
코로나 플라즈마 처리에 의한 HDPE 표면의 개질에 관한 연구
최진숙,전종탁,정봉규,이근대,문명준,이종무 釜慶大學校 2001 釜慶大學校 論文集 Vol.6 No.-
We are able to generate the stable plasma in open air and nitrogen using a corona plasma treatment system(CPTS) with a high voltage. This was applied to treat the surface of rather non-polar HDPE(High Density Polyethylene) intended for the improvement of adhesion of over-coated layers such as coatings, printing inks. The surface tension of HDPE was significantly improved by the CPTS. The characteristics of surface layer were evaluated by means of contact angle measurement, ATR-FT/IR spectroscopy, and it was found that functional groups were introduced into the surface layer of the HDPE. The use of nitrogen was increased the surface tension of the HDPE from 33.8 mJ/m^2 to 66.56 mJ/m^2, and highly effective method of HDPE surface modification could be realized.