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Structural Analysis of Ag Agglomeration in Ag-based Ohmic Contact to p-type GaN
J. H. Son(손준호),Y. H. Song(송양희),J. -L. Lee(이종람) 한국진공학회(ASCT) 2011 Applied Science and Convergence Technology Vol.20 No.2
본 연구에서는 고분해능 X선 회절법을 이용해 Ni/Ag 반사막 p형 오믹 전극의 Ag 집괴에 따른 전극의 구조 분석을 수행하였다. 대기 분위기에서 오믹 전극을 고온 열처리할 경우, 열처리 시간이 증가할수록 Ag의 집괴가 진행되어 24시간 열처리 후, 전류-전압 곡선은 쇼트키 특성을 나타내었고, 또한 460 ㎚ 파장에서 21%의 낮은 반사도를 나타내었다. X선 회절 결과로부터 Ag의 집괴가 진행될수록, Ag 박막의 내부 변형율을 감소되는 방향으로 Ag 원자의 확산이 진행되어, Ag (111) 결정면의 면간 거리가 bulk Ag와 거의 동일하게 나타났다. 이러한 반사막 오믹 전극의 구조 분석은 고출력 고효율 수직형 LED에 적합한 열적 안정성이 우수한 오믹 전극의 개발에 매우 중요함을 알 수 있다. We investigate the crystallographic orientation and strain states of the Ni/Ag ohmic contacts on p-type GaN. The Ag film in the Ni/Ag contact was severely agglomerated during high temperature annealing in air ambient. As a results, after annealing for 24 h, the Ni/Ag contact shows non-linear I-V curve and low light reflectance of ∼21% at 460 ㎚ wavelength. High-resolution X-ray diffraction results show that the interplanar spacing of Ag (111) planes is almost same to that of bilk Ag after annealing for 24 hrs, indicating that the in-plane tensile strain in the Ag film was fully relaxed due to the Ag agglomeration.
Structural Analysis of Ag Agglomeration in Ag-based Ohmic Contact to p-type GaN
손준호,송양희,이종람,Son, J.H.,Song, Y.H.,Lee, J.L. The Korean Vacuum Society 2011 Applied Science and Convergence Technology Vol.20 No.2
본 연구에서는 고분해능 X선 회절법을 이용해 Ni/Ag 반사막 p형 오믹 전극의 Ag 집괴에 따른 전극의 구조 분석을 수행하였다. 대기 분위기에서 오믹 전극을 고온 열처리할 경우, 열처리 시간이 증가할수록 Ag의 집괴가 진행되어 24시간 열처리 후, 전류-전압 곡선은 쇼트키 특성을 나타내었고, 또한 460 nm 파장에서 21%의 낮은 반사도를 나타내었다. X선 회절 결과로부터 Ag의 집괴가 진행될수록, Ag 박막의 내부 변형율을 감소되는 방향으로 Ag 원자의 확산이 진행되어, Ag (111) 결정면의 면간 거리가 bulk Ag와 거의 동일하게 나타났다. 이러한 반사막 오믹 전극의 구조 분석은 고출력 고효율 수직형 LED에 적합한 열적 안정성이 우수한 오믹 전극의 개발에 매우 중요함을 알 수 있다. We investigate the crystallographic orientation and strain states of the Ni/Ag ohmic contacts on p-type GaN. The Ag film in the Ni/Ag contact was severely agglomerated during high temperature annealing in air ambient. As a results, after annealing for 24 h, the Ni/Ag contact shows non-linear I-V curve and low light reflectance of ~21% at 460 nm wavelength. High-resolution X-ray diffraction results show that the interplanar spacing of Ag (111) planes is almost same to that of bilk Ag after annealing for 24 hrs, indicating that the in-plane tensile strain in the Ag film was fully relaxed due to the Ag agglomeration.
AISI 5160 스프링강에서 비금속 개재물과 수소의 상호작용에 의한 연구
이기영,이재영,이성만,이종람 대한금속재료학회(대한금속학회) 1984 대한금속·재료학회지 Vol.22 No.11
The hydrogen Thermal Analysis experiments have been carried out for the identification of hydrogen trapping character by nonmetallic inclusions in AISI 5160 spring steel. It was found that oxide inclusions including Fe-oxide, Al₂O₃and SiO₂have a strong interaction with hydrogen relative to the other defects such as the cementite-ferrite interfaces and microvoids. Also, the trap activation energies of hydrogen for each inclusion were determined as follows. They are 50.6 kJ/mole and 69.5 kJ/mole for the Fe-oxides like Fe₃O₄, and Fe₂O₃, 86.2 kJ/mole for the Al₂O₃and 112.1 kJ/mole for the SiO₂respectively. The thermal analysis technique could be used to predict the fatigue properties of the steel by identifying the nonmetallic inclusions and determining the amount of them in the steel.