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Fabrication of UV imprint stamp using diamond-like carbon coating technology
EUNG-SUG LEE(이응숙),JUN-HO JEONG(정준호),KI-DON KIM(김기돈),YOUNG-SUK SIM(심영석),DAE-GEUN CHOI(최대근),JUNHYUK CHOI(최준혁),TAE-WOO LIM(임태우),SANG-HU PARK(박상후),DONG-YOL YANG(양동열),NAM-GOO CHA(차남구),IN-KWON KIM(김인권),JIN- 대한기계학회 2005 대한기계학회 춘추학술대회 Vol.2005 No.11
The two-dimensional (2D) and three-dimensional (3D) diamond-like carbon (DLC) stamps for ultraviolet nanoimprint lithography (UV-NIL) were fabricated using two kinds of methods, which were a DLC coating process followed by the focused ion beam (FIB) lithography and the two-photon polymerization (TPP) patterning followed by nano-scale thick DLC coating. We fabricated 70 ㎚ deep lines with a width of 100 ㎚ and 70 ㎚ deep lines with a width of 150 ㎚ on 100 ㎚ thick DLC layers coated on quartz substrates using the FIB lithography. 200 ㎚ wide lines, 3D rings with a diameter of 1.35 ㎛ and a height of 1.97 ㎛, and a 3D cone with a bottom diameter of 2.88 ㎛ and a height of 1.97 ㎛ were successfully fabricated using the TPP patterning and DLC coating process. The wafers were successfully printed on an UV-NIL using the DLC stamp. We could see the excellent correlation between the dimensions of features of stamp and the corresponding imprinted features.
김정환,이응숙,황경현,유영은,윤재성,Kim, Jeong Hwan,Lee, Eung-Sug,Whang, Kyung-Hyun,Yoo, Yeong-Eun,Yoon, Jae-Sung 대한기계학회 2015 대한기계학회 논문집 C. 기술과 교육 Vol.3 No.4
이온 및 분자 이송제어를 위한 기능성 나노채널의 구현을 통하여 이온/분자의 상대적 크기에 의존하는 기존 분리 및 이송 기술의 선택효율, 투과도, 에너지 소비 측면에서의 기존 분리 기술의 한계를 극복하기 위한 새로운 개념의 분리 기술을 제시 하고자 하였다. 이를 위해 나노채널 플랫폼 가공 기술 개발, 나노채널 표면 기능화 기술 개발 등의 연구를 수행하였으며, 나노채널에 대한 전압인가 및 유량 조절이 가능한 이온이송제어 측정 시스템을 제작하고, 다층 금속 멤브레인을 이용하여 선택적으로 특정 이온($Cl^-$)의 이송을 95% 이상 차단하였다. 본 연구를 통하여 세포막에 존재하며 물분자만을 매우 효율적으로 투과시키는 채널인 아쿠아포린의 기능 및 특성을 모방한 신개념의 분리기술 구현을 위한 기반 기술 개발을 수행하였으며, 향후 지속적인 연구를 통하여 차세대 정수/담수, 휴대형 인공신장, 인공 감각 기관 등의 핵심 기반 기술이 될 것으로 예상한다. Functional nanochannels were fabricated in order to control selective ion transportation with high permeability and low energy consumption. In this research, nanochannel platform fabrication process and surface functionalization process were developed. In addition, selective ion transportation and concentration measurement system was also set-up. By using fabricated multilayer metal membrane with electrical bias, 95% of ion ($Cl^-$) was blocked. This developed process is new-conceptional membrane fabrication technology and is expected to be applied to next-generation water purification/desalination, portable artifical kidney, and artificial sense organ.