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이온 조사된 Cu / Ni / Cu(001) / Si 자성박막에 있어서 X-ray reflectivity를 이용한 계면 연구
김태곤(T. G. Kim),송종한(J. H. Song),이택휘(T. H. Lee),채근화(K. H. Chae),황현미(H. M. Hwang),전기영(G. Y. Jeon),이재용(J. Lee),정광호(K. Jeong),황정남(C. N. Whang),이준식(J. S. Lee),이기봉(K. B. Lee) 한국자기학회 2002 韓國磁氣學會誌 Vol.12 No.5
The Cu/Ni/Cu(002)/Si(100) films which have perpendicular magnetic anisotropy were deposited by e-beam evaporation methods. From the reflection high energy electron diffraction pattern, the films were confirmed to be grown epitaxially on silicon. After 2×10^(16) ions/㎠ C+ irradiation, magnetic easy-axis was changed from surface normal to in-plane as shown in the hysteresis loop of magneto-optical Kerr effects. It became manifest from analysis of X-ray reflectivity and grazing incident X-ray diffraction that even though interface between top Cu layer and Ni layer became rougher, the contrast of Cu and Ni's electron density became manifest after ion irradiation. In addition, the strain after deposition of the films was relaxed after ion irradiation. Strain relaxation related with change of magnetic properties and mechanism of intermixed layer's formation was explained by thermo-chemical driving force due to elastic and inelastic collision of ions.
레이저 다이오드의 메사 형상 측정을 기반으로 한 자동용접장치용 정밀 정렬 장치의 개발
김호상(H. S. Kim),이찬희(C. H. Lee),김택겸(T. K. Kim),이기봉(K. B. Lee) Korean Society for Precision Engineering 2021 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2021 No.11월
최근 광통신 업계의 레이저다이오드 정밀도가 향상됨에 따라 고배율의 메사측정방식을 통한 자동정렬기능을 갖춘 자동용접장비에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 메사 형상은 레이저 다이오드 광부품의 발광 칩의 중심부에 위치하고 있으며 수직방향의 고정도 카메라를 이용하여 영상을 취득했을때 W자의 미세한 메사형상의 영상을 얻을 수 있다. 그리고 이러한 메사의 중심을 캡의 중심과 일치시켜 자동용접을 수행했을때 실제 완전한 광 부품의 제작 또는 완성된 제품으로 간주된고 있다. 그러나 이러한 메사형상의 크기는 크기가 수 마이크로 미터에 불과하고 캡의 직경(수 mm)과 비교하여 크기의 차이가 너무 커 이 두 개를 동시에 측정할 수 있는 광학측정시스템의 개발이 문제점으로 부각되고 있다. 또한 광학적으로 측정된 이미지로부터 실제 자동용접장치에 적용하기 위한 오차보상방법의 개발이 필수적으로 요구된다. 본 연구에서는 메사 기반 자동정렬 기능을 갖춘 용접장치를 제안하였다. 먼저, 고정밀도 고속의 메사 이미지 측정을 수행하여 메사 부분과 렌즈 갭 중심부를 동시에 볼 수 있는 광학측정시스템을 제작하고 관련 성능을 확인하였다. 레이저 다이오드에 대한 광학측정시스템의 성능측정 결과, 메사형상을 정확하게 측정할 수 있는 것을 확인하였으며 관련 성능의 환경적 영향에 대한 검토를 수해하였다. 또한, 캡 또는 스템의 위치를 정밀하게 이송시킬 수 있는 장치를 이용하여 실제 메사와 캡 중심사이의 오차를 보상하는 방법을 제안하고 향후 자동용접장치에 적용할 수 있는 가능성을 검토하였다.
레이저 변위센서를 이용한 얇은 연성 PCB 판의 오프라인 오차 보상을 위한 3 차원 지도 작성
김호상(H. S. Kim),이찬희(C. H. Lee),이기봉(K. B. Lee) Korean Society for Precision Engineering 2021 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2021 No.11월
웨어러블 디바이스 및 사물인터넷에 대한 소비자 수요가 증가함에 따라 전자부품 업계는 고밀도, 박막화, 유연화의 추세로 발전되고 있으며 이를 구현하기 위한 핵심부품의 제조방법에 대한 연구가 꾸준히 늘고 있다. 특히, 연성 PCB 의 경우 웨어러블 디바이스의 핵심적인 역할을 수행하고 있으며 그 제조방법으로서 레이저를 이용한 정밀가공기와 형상을 측정할 수 있는 3 차원 형상측정기에 대한 연구가 꾸준히 증가하고 있는 실정이다. 그러나 이러한 얇은 연성 PCB와 같은 부품의 경우 쉽게 휠 수 있으며 고정 지그에 의한 영향이 매우 크게 나타나는 특징이 있어 레이저 가공과 같은 정밀도가 높은 가공법을 적용하기 위해 부가적인 오차보상방법을 통해 정밀도를 확보하는 방법이 꾸준히 연구되고 있다. 본 연구에서는 이러한 연성 PCB 의 제작 시 레이저 가공에 필요한 편평도를 확보하기 위해 레이저 변위센서를 이용하여 오프라인 오차보상법을 제안하고 관련 성능시험을 수행하였다. 관련 성능시험 결과 연성 PCB의 3 차원 높이 지도를 얻을 수 있었으며 이러한 데이터를 이용하여 레이저 가공을 위한 오프라인 보상 방법을 제안하였다. 이러한 연구들 통해 얻어진 데이터들은 향후 연료전지용 분리판과 같은 얇은 두께의 금속판의 레이저 용접 등을 위한 보상 방법에 적용될 수 있으며 PC 기반의 UMAC 과 같은 모션제어기에 적용될 수 있을 것이다.
허재혁(J. H. Her),채동훈(D. H. Chae),박성렬(S. Y. Park),이동렬(D. R. Lee),박수현(S. H. Park),정윤희(Y. H. Jeong),전인준(I. J. Jeon),김동언(D. Kim),이기봉(K.-B. Lee),박용준(Y. J. Park),김기정(K. J. Kim),김봉수(B. S. Kim) 한국진공학회(ASCT) 1999 Applied Science and Convergence Technology Vol.8 No.3(1)
서로 다른 두께를 가진 철/망간산화물 다층박막들을 펄스 레이저 증착기법으로 성장시켰다. 소각 입사 X-선 반사율 측정결과 뚜렷한 다층박막 Bragg peak들이 보임으로써 시료가 좋은 층상구조를 가지고 있음을 확인할 수 있었고, 이를 분석하여 정량적인 구조변수를 얻었다. 또한 MnO의 (111)면에 해당하는 X-선 회절 peak를 통해 망간산화물은 대부분 MnO 형태로 존재함을 알았다. 이러한 Mn+²의 자기적 특성을 알아보기 위해 XMCD를 측정하였으며, 계면근처에서 MnO의 자기모멘트는 Fe과는 반대방향으로 정렬하고 있음이 확인되었다. Fe/MnO multilayers with different bilayer thicknesses were grown by pulsed laser deposition method. Grazing incidence X-ray reflectivity results showed obvious multilayer Bragg peaks implying highly layered samples and, through their analysis, some structural parameters were quantitatively estimated. From the X-ray diffraction peak corresponding to MnO(111), Mn-oxide turned out to be dominantly MnO. To characterize the magnetic properties of Mn+², XMCD were carried out. Magnetic moments of MnO near interfaces were ordered in the opposite direction to those of Fe.