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자동 기생 커패시턴스 보상 및 자동 이득 조절이 가능한 위상 고정 루프 기반의 나노공진기 구동 회로
허현우(Hyunwoo Heo),김형섭(Hyungseup Kim),유동근(Donggeun You),권용수(Yongsu Kwon),양일석(Yil-suk Yang),고형호(Hyoungho Ko) 대한전자공학회 2020 대한전자공학회 학술대회 Vol.2020 No.8
This paper presents a phase-locked loop (PLL) based resonator driving integrated circuit (IC) with automatic parasitic capacitance cancellation and automatic gain control (AGC) loop. The PLL makes the driving frequency to be locked at the resonant frequency. The automatic parasitic capacitance cancellation loop automatically matches the compensation capacitance array to parasitic capacitance of the resonator. The AGC loop keeps the oscillation at the suitable amplitude, and the motional resistance can be detected by the AGC digital output.