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서지근,김재성,Seo J.,Kim J.S. 한국진공학회 2006 Applied Science and Convergence Technology Vol.15 No.4
The dynamic effects, such as the steering and the screening effects during deposition on an epitaxial growth is studied by kinetic Monte Carlo simulation. In the simulation, we incorporates molecular dynamic simulation to rigorously take the interaction of the deposited atom with the substrate atoms into account, We find three characteristic features of the surface morphology developed by grazing angle deposition: (1) enhanced surface roughness, (2) asymmetric mound, and (3) asymmetric slopes of mound sides, Regarding their dependence on both deposition angle and substrate temperature, a reasonable agreement of the simulated results with the previous experimental ones is found. The characteristic growth features by grazing angle deposition are mainly caused by the inhomogeneous deposition flux due to the steering and screening effects, where the steering effects play the major role rather than the screening effects. Newly observed in the present simulation is that the side of mound in each direction is composed of various facets instead of all being in one selected mound angle even if the slope selection is attained, and that the slope selection does not necessarily mean the facet selection.
O/Fe(100) and MgO/Fe(100) 계의 LEED I/V curve 분석
서지근,김상현,Seo, J.K.,Kim, S.H. 한국진공학회 2007 Applied Science and Convergence Technology Vol.16 No.1
We have analyzed the atomic structure of O/Fe(100) and interface atomic structure of MgO deposited on Fe(100) surface using LEED I/V curve analysis. As the O adsorption on the Fe(100) surface, the first substrate interlayer distance is expanded by up to 16%. For 1ML MgO deposited on Fe(100) surface, the oxygen ions of MgO are located on-top of the Fe atoms, the interlayer distance at the MgO/Fe interface are expanded. From the AIA(average intensity mixing approximation) calculation, we find the interface structure of monolayer MgO on Fe(100) system has the two interface structure with MgO/FeO/Fe(100) and MgO/Fe(100). This supports the results of EELS experiment that shown existence of stretched FeO layer and coexistance of MgO/FeO/Fe(100) and MgO/Fe(100) structure.
서지근,심현석,김상현,Seo, J.,Shim, H.S.,Kim, S.H. 한국진공학회 2012 Applied Science and Convergence Technology Vol.21 No.2
기울어진 각도 증착(GLAD)에서 입사원자의 속력이 표면 지형에 미치는 영향 Molecular Dynamics와 결합한 Kinetic Monte Carlo 시뮬레이션을 통하여 증착원자의 속력이 증가함에 따라 거칠기가 줄어드는 완만한 표면이 형성되는 것을 확인하였다. GLAD 계산에서 증착원자 속력이 ${\upsilon}_0$에서 $10{\upsilon}_0$로 증가함에 따라 표면 지형을 대변하는 성장 지수 ${\beta}$값은 0.97에서 0.67로 감소하였다. 화학증기증착(CVD) 방법과 같은 증착 방법에 대해서도 증착원자의 속력 의존성을 고찰하였다. GLAD에 비해 지수 ${\beta}$값의 속력에 따른 차이는 적지만 CVD의 경우에도 증착원자의 속력이 표면 지형에 일정정도의 영향을 주는 것을 확인하였다.
고진공, 초고진공, 대기 환경에서의 STS 표면의 오염 정량화
서지근(J. Seo),신용현(Y. H. Shin),홍승수(S. S. Hong),정광화(K. H. Chung),이상길(S. K. Lee),이규장(K. J. Lee) 한국진공학회(ASCT) 1995 Applied Science and Convergence Technology Vol.4 No.3
대기, 고진공, 초고진공 등 다양한 압력 조건에서 STS 합금 표면의 오염상태를 AES 측정을 통해 살펴보았다. 모든 환경에서 노출 초기에 많은 오염이 이루어지며, 시간이 증가함에 따라 오염 속도는 감소하지만 지속적인 오염이 이루어지는 것을 볼 수 있었다. 장기 노출의 경우 주 오염원은 탄소임을 볼 수 있었다. 오염층의 구조는 표면 위에 산소, 그 위에 CO, 그리고 그 위에 탄소가 놓여 있는 층별 구조 형태로 나타났다. We observed the contamination of the STS alloy surface under the various pressure condition, such as air, high vacuum, ultra high vacuum, through AES mesurements. We Found that most of contamination develops in an early stage of exposure and that the contamination persists in the later stage though its rate slows down regardless of container pressure. We determined that the Carbon is the major contaminant in a long-time exposure. The contamination makes the layered structure, that consists of three types layers Oxigcn, CO, and Carbon on the surface of STS alloy.
Video LEED system 과 Tensor LEED program 을 이용한 Cu(001) 표면의 구조분석
서지근(J. Seo),김상현(S. H. Kim),변대현(H. G. Min),한원근(D. H. Byun),민항기(W. K. Han),김재성(J. S. Kim),유재준(J. J. Yu) 한국진공학회(ASCT) 1994 Applied Science and Convergence Technology Vol.3 No.3
Cu(001) 표면의 원자구조를 Dynamic LEED 실험을 통하여 결정하였다. Video LEED system 을 이용하여 I/V특성곡선을 얻었고, 이를 tensor LEED 계산방법으로 분석하였다. 다양한 실험조건과 여러가지 R-factor값의 최소화를 통해 얻은 Cu(001) 표연구조가 1.5%(0.05Å)의 오차범위 내에서 수렴하였다. 이는 기존 설험 결과와도 잘 일치한다. 또한 first-principles계산이 tensor LEED분석에 많은 도움이 됨을 알아내었다. We determined the atomic structure of Cu(001) surface through dynamic LEED experiment. We obtained I/V-curve using video LEED system and analyzed using tensor LEED algorithm. We confirm that the prediction of Cu(001) surface struture remains within 1.5%(0.05Å) uncertainty under several experimental conditions and by minizing the values of various R-factor. The results are consistent with the previously suggested structure. Furthermore, We observed that the first-principles calculation is very helpful to tensor LEED analysis.
초고진공, 고진공, 대기압에서 SUS 316의 오염 구조와 오염 과정 연구
서지근(J. Seo),이규장(K. J. Lee),신용현(Y. H. Shin),홍승수(S. S. Hong),정광화(K. H. Chung) 한국진공학회(ASCT) 1997 Applied Science and Convergence Technology Vol.6 No.1
SUS 316 합금의 노출 조건에 따른 오염 과정과 구조를 x-ray photoelectron spectroscopy 실험을 통해 보았다. SUS 표면에 부착된 오염 물질은 주로 metal-oxide, metal-H-oxide, CO, COH, 그리고 C_xH_y임을 보았다. 오염 물질의 층별 형성 구조는 C_xH_y/CO(COH)/metal-H-oxide/metal-oxide 가 SUS 합금 위에 있는 형태이다. 오염 과정은 주로 금속 구성물의 산화와 C_xH_y의 흡착 과정 두 가지에 의해서 이루어지는 것을 볼 수 있었다. 초고진공 환경에서는, 오염은 주로 산화층 형성에 의한 것으로 노출 시간이 증가함에 따라 산화층의 두 께가 계속 증가하였다. 고진공 또는 높은 압력 환경에서는 노출 초기에 대부분의 산화층이 형성되고, 노출 시간의 증가에 대해서는 주로 C_xH_y에 의한 오염이 계속 증가하였다. 스테인레스 표면 안에 깊이 분포하고 있는 metal-oxide의 농도는 지수형으로 감소하는 형태의 분포를 가지며 그 두께는 대기 노출된 시료의 경우 광전자의 평균자유행로 규모로 형성되는 것을 보았고, 특히 Fe-oxide가 Cr-oxide를 덮고 있는 표면 편석 현상이 보였다. The contamination structure and process on SUS 316 under various exposure conditions were investigated using x-ray photoelectron spectroscopy. The metal-oxide, metal-H-oxides, CO, COH, and C_xH_y are the main components of contaminants on the SUS surface. The compositional profiles of the contaminants are shown to be C_xH_y/CO(COH)/metal-oxide on SUS. The contamination proceeds in two steps. The oxidation of the metallic constituents followed by adsorption of hydrocarbons. Under UHV conditions the contamination is mainly due to the oxidation, and, as the exposure time increases, the oxidation continues. In HV or higher pressure, most of the oxides are formed almost immediately after exposure and as the exposure time increases the contamination of hydrocarbons continues to grow. For the SUS sample exposed to atmosphere, the metal oxide is distributed deep inside the surface with an exponentially decreasing concentration, and its thickness is nearly in the order of photoelectron mean free path. It is also seen that the Fe oxide is segregated over Cr oxide in the highly oxidized samples.