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        솔-젤 회전 코팅법을 이용한 강유전성 $BaTiO_3$ 박막제조

        배호기,고태경 한국세라믹학회 1994 한국세라믹학회지 Vol.31 No.7

        Ferroelectric BaTiO3 thin film was produced using BaTi-ethoxide sol. This sol was prepared from BaTi-ethoxide by a partial hydrolysis with ammonia as a basic catalyst and ethylene glycol as a chelating agent. BaTiO3 thin film was prepared from three continuous spin-coating layers of the sol on bare Si(100) wafer at 2500 rpm followed by pyrolysis at $700^{\circ}C$ for 30 min. After the heat treatment, the film was 0.200$\pm$0.010 ${\mu}{\textrm}{m}$ thick and its grain size was 0.059 ${\mu}{\textrm}{m}$. On the other hand, electrical properties were measured for BaTiO3 thin film separately prepared on Au-deposited silicon wafer. The dielectric constant and loss of the BaTiO3 thin film at room temperature was 150~160 and 0.04 respectively, which was measured at 10 kHz and oscillation level of 0.1 V. In the measurements of the dielectric properties at high temperatures, it was observed that the capacitance of the thin film increases steeply, while the dielectric loss reaches maximum around 1$25^{\circ}C$, which corresponds a phase transition from tetragonal to cubic BaTiO3.

      • 촉매제에 의한 BaTi-에톡사이드 솔의 옥소폴리머 변화에 대한 저각 X선 산란연구

        고태경,배호기 한국결정학회 1993 韓國結晶學會誌 Vol.4 No.1

        BaTi-에톡사이드로 부터 유도된 솔의 옥소폴리머에 대하여 저각 X선 산란을 이용하여 조사하였다. NH, OH를 사용하거나 혹은 촉매제가 없이 얻어진 솔에서 옥소폴리머 구조의 성장은 비슷하다. 이 솔들의 선회반경은 1.66-2.08nm이다. 이들은 차원 값이 1.6인 질량 프락탈의 거동을 따르며 이 거동은 NH40H 첨가량에 는 거의 무관하다. CHSCOOH를 촉매로 사용하여 얻은 솔의 선회반경은 2.87-3.67nm로서 염기성 촉매 혹은 촉매없이 얻은 솔에 비해 보다 큰 값을 가진다 이들 솔의 산란곡선은 중간 Q 영역에서 비슷하며 프락탈 차원은 1.8이다. 염기성 혹은 중성 수화조건으로 부터 얻 은 솔의 윽소폴리머는 짧은 사슬형 구조를 가질 것이나 산성 수화조건에서는 이들은 보다 분기되고 길어지는 사슬형으로 성장되는 경향을 가진다. Small angle X-ray scattering was used to study on the oxopolymers of sols derived from BaTiethoxide. The growths of the oxopolymers in tools obtained with NH40H as catalyst and catalystfree sol are similar. Their radii of gyration are 1.66-2.08nm. They exhibit a mass fractal behavior with a dimension of 1.6, which is almost inde pendent with amount of NH40H addition. Sols catalyzed with CHSCOOH have greater radii of gyration of 3.24-4.OOnm. Their scattering curves are similar in the intermediate Q region, showing a mass fractal dimension of 1.8. The oxopolymers of the tools from the base and the neutral hydrolysis conditions may have a short chain structure.

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