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인공신경망을 활용한 CMP 컨디셔닝 시스템 설계 변수에 따른 컨디셔닝 밀도의 불균일도 분석
박병훈,이현섭,Park, Byeonghun,Lee, Hyunseop 한국트라이볼로지학회 2022 한국트라이볼로지학회지 (Tribol. Lubr.) Vol.38 No.4
Chemical mechanical planarization (CMP) is a technology that planarizes the surfaces of semiconductor devices using chemical reaction and mechanical material removal, and it is an essential process in manufacturing highly integrated semiconductors. In the CMP process, a conditioning process using a diamond conditioner is applied to remove by-products generated during processing and ensure the surface roughness of the CMP pad. In previous studies, prediction of pad wear by CMP conditioning has depended on numerical analysis studies based on mathematical simulation. In this study, using an artificial neural network, the ratio of conditioner coverage to the distance between centers in the conditioning system is input, and the average conditioning density, standard deviation, nonuniformity (NU), and conditioning density distribution are trained as targets. The result of training seems to predict the target data well, although the average conditioning density, standard deviation, and NU in the contact area of wafer and pad and all areas of the pad have some errors. In addition, in the case of NU, the prediction calculated from the training results of the average conditioning density and standard deviation can reduce the error of training compared with the results predicted through training. The results of training on the conditioning density profile generally follow the target data well, confirming that the shape of the conditioning density profile can be predicted.
류지선(Jiseon Yu),송치훈(Chi-Hoon Song),권순모(Soonmo Kwon),박병훈(Byeonghun Park),오진우(Jinwoo Oh) 한국산학기술학회 2021 한국산학기술학회논문지 Vol.22 No.1
군수품 최초양산품 품질관리는 연구개발 이후 최초로 양산 계약된 군수품을 대상으로 개발 후 완성된 규격에 따라 개발품의 양산 실현 가능성과 적합성 평가를 목적으로 수행한다. 하지만 본 연구를 통한 무기체계 최초양산품 소프트웨어 품질보증을 수행하기 이전까지 최초양산품 품질보증은 하드웨어 중심으로 수행되어 소프트웨어에 대한 품질보증은 미흡한 상태였다. 이로 인해 후속 양산단계에서 소프트웨어의 문제점들이 발견됐을 경우 불가피한 기술변경에 따라 많은 시간과 비용이 소요되었다. 본 논문에서는 소프트웨어 기술자료의 충분성 및 적합성을 점검하기 위한 무기체계 최초양산품 소프트웨어 품질보증 프로세스 연구를 수행한 결과를 보인다. 그 결과 컴퓨터 파일의 완전성 점검, 소프트웨어 기술문서의 적합성 점검, 소프트웨어 기술자료와 그 외 국방규격의 연계 여부를 점검하는 프로세스를 정립하고 이 프로세스를 적용하여 최초양산품 소프트웨어 품질보증을 수행한 결과를 분석하여 최초양산품 소프트웨어 품질보증 프로세스의 효용성을 보인다. 소프트웨어 기술자료의 완전성을 확보하여 양산단계에서 발생할 수 있는 소프트웨어 문제점을 사전에 식별하여 소프트웨어의 선제적인 품질 확보에 기여할 수 있음을 보인다. This study evaluated the process of software quality assurance about the initial product in a weapon system. The software quality assurance of the initial product was insufficient before this study. Therefore, the process of the software quality assurance about the initial product in a weapon system is suggested. The process has three parts. First, the completeness of computer files, such as source code and execute files, were checked. Second, the suitability of the software technical data was checked. Finally, the connectivity of software technical data and the Korean defense specification were assessed. Overall, there is a need to toughen the software quality assurance in the research and development step and achieve early stabilization of mass production by preventing the problems that prevent the production of a product due to the insufficient software technical data.