http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.
변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.
압저항 방식의 μN급 MEMS 추력 측정 시스템 설계 및 성능 예측
류영석,이종광,Ryu, Youngsuk,Lee, Jongkwang 한국추진공학회 2018 한국추진공학회지 Vol.22 No.6
마이크로 추력기의 성능평가를 위해 MEMS 추력 측정 시스템을 설계하였으며, 시스템의 성능 예측에 관한 연구를 수행하였다. 추력 측정 시스템은 빔, 박막, 압저항 센서로 구성된다. 시스템의 안정성 검증과 빔의 응력 변화를 확인하고 압저항 센서의 크기 및 위치 선정을 위해 FEM 해석을 수행하였다. 재료의 허용응력과 최대응력을 비교하여 설계한 시스템들의 안정성을 검증할 수 있었다. 압저항 센서는 높은 게이지 계수를 확보하기 위해 빔의 길이의 20%로 설계 하였으며, 기준형상의 박막과 빔의 크기는 각각 $15mm{\times}15mm$, $500{\mu}m{\times}500{\mu}m$로 설계하였다. In this study, an MEMS thrust measurement system was designed and a study on the performance prediction of system was performed to evaluate the performance of micro thruster. Thrust measurement system consists of beam, membrane, and piezoresistive sensor. An FEM analysis was carried out to verify the stability of the system, confirm the stress variation at the beam, and position the piezoresistive sensor. The stability of the designed system was verified by comparing the yield strength of the material with the maximum stress. The piezoresistive sensor was designed to be 20% of the length of the beam to obtain a high gauge factor. The size of the membrane and the beam of the reference model were designed to be $15mm{\times}15mm$, and $500{\mu}m{\times}500{\mu}m$, respectively.
FEM 해석을 이용한 mN급 MEMS 추력 측정 시스템 설계
류영석(Youngsuk Ryu),서대반(Daeban Seo),이종광(Jongkwang Lee) 한국추진공학회 2018 한국추진공학회 학술대회논문집 Vol.2018 No.12
mN급 마이크로 추력기의 성능 평가에 적합한 시스템을 설계하기 위해 FEM 해석을 수행하여 MEMS 기반 추력 측정 시스템의 형상 최적화를 수행하였다. 추력 측정 시스템은 원형 박막 구조를 가지며 추력 측정을 위해 압저항 센서를 사용하였다. 압저항 센서의 높은 민감도를 확보하기 위해서 시스템은 동일 추력 대비 높은 응력을 발생시킬 수 있는 시스템으로 설계되어야 한다. FEM 해석을 통해 목표 추력 범위 내에서 원형 박막의 크기와 두께에 따른 응력 변화를 확인하여 형상 최적화를 수행하였다. In order to design a system suitable for the performance evaluation of mN level micro thrusters, an FEM simulation was performed to optimize shape of MEMS based thrust measurement system. The thrust measurement system is based on a circular membrane structure and a piezoresistive sensor is used for thrust measurement. To obtain the high sensitivity of the piezoresistive sensor, the system should be designed as a system, which has higher stress under the applied thrust. Through the FEM simulation, the optimization was performed by analyzing the stress variation according to the diameter and thickness of the circular membrane within designed thrust range.
MEMS 기술을 이용한 μN급 추력 측정 시스템의 제작 방법
류영석(Youngsuk Ryu),이종광(Jongkwang Lee) 한국추진공학회 2018 한국추진공학회 학술대회논문집 Vol.2018 No.5
MEMS 기술을 이용하여 μN급 추력에 적합한 추력 측정 시스템을 제작 하였다. 제작될 MEMS 추력측정 시스템의 설계는 FEM 해석을 수행하여 빔과 박막, 압저항 센서의 크기를 설계 하였다. MEMS 추력 측정 시스템은 압저항 센서 제작 공정과 빔-박막 구조 제작 공정을 통해 제작되었다. 압저항 센서는 다결정 실리콘에 보론 이온을 주입한 후 열처리 공정을 통해 제작 되었으며, 빔-박막 구조는 웨이퍼의 앞면과 뒷면의 실리콘 층을 식각 공정을 통해 제거함으로써 제작되었다. Thrust measurement system suitable for μN level thrust was fabricated through MEMS technology. The dimensions of the beam, membrane, and piezoresistive sensor of the MEMS thrust measurement system were designed through FEM analysis. The MEMS thrust measurement system was fabricated through fabrication process of piezoresistive sensor and beam-membrane structure. The piezoresistive sensor was fabricated by implanting the boron ions into poly-silicon and annealing process. The beam-membrane structure was fabricated by etching the front and backside silicon layers of the wafer through an etching process.
압저항 센서 기반의 μN급 MEMS 추력 측정 시스템의 개발
류영석(Youngsuk Ryu),이종광(Jongkwang Lee) 한국추진공학회 2018 한국추진공학회 학술대회논문집 Vol.2018 No.12
본 연구에서는 μN급 추력 측정에 적합한 MEMS 추력 측정 시스템을 개발하였다. 개발된 추력 측정시스템은 25 mm × 25 mm의 전체 크기를 가지며, 압저항 센서를 이용하여 추력을 측정하는 방식을 사용하였다. FEM 해석을 수행하여 빔, 박막, 압저항 센서의 크기를 설계 하였으며 설계된 형상의 성능을 예측하였다. MEMS 추력 측정 시스템은 압저항 센서 제작 공정, 빔-박막 구조 제작 공정을 확립하여 제작 되었으며, 실험을 통해 목표 추력 범위에서 시스템의 정적 특성을 평가하였다. In this study, we developed a MEMS thrust measurement system suitable for measuring the μN level thrust. The size of thrust measurement system is 25 mm × 25 mm, and the thrust was measured using a piezoresistive sensor. An FEM simulation was performed to design the size of the beam, membran, and piezoresistive sensor, and to predict the performance of designed system. The MEMS thrust measurement system was fabricated by establishing the fabrication process of piezoresistive sensor and beam-membrane structure. The static characteristics of system was evaluated within designed thrust range.
김상훈(SangHoon Kim),류영석(YoungSuk Ryu),양성봉(SungBong Yang) 한국정보과학회 2005 한국정보과학회 학술발표논문집 Vol.32 No.2
P2P 웹 캐싱 기술은 자신의 로컬 캐시에서 원하는 웹 객체를 찾지 못한 경우, 중앙 서버나 프락시 서버로부터 웹 객체를 받기 전에 P2P 네트워크에 참여하는 이웃으로부터 웹 객체를 받음으로써 기존의 서버-클라이언트 방식을 탈피하여 중앙 서버의 고장에 영향을 적게 받고, 중앙 서버로의 과도한 부하를 막아준다. 기존의 많은 P2P 웹 캐싱 시스템은 피어의 로컬 캐시 교체 정책으로 LRU기법을 사용한다. 하지만 이는 P2P 환경을 고려하지 않는 단순한 정책이다. 따라서 본 논문에서는 P2P 환경을 고려한 디렉토리 기반의 웹 캐싱 시스템을 통해서 P2P 협력적인 캐시 교체 정책을 제시하고 실제 웹 로그 트레이스로 시뮬레이션을 하여, 제안하는 교체 정책이 효과가 있음을 기술한다.