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전자선 직접묘사에 의한 Deep Submicron $p^+$Poly pMOSFET 제작 및 특성
김천수,이진호,윤창주,최상수,김대용,Kim, Cheon-Su,Lee, Jin-Ho,Yun, Chang-Ju,Choi, Sang-Soo,Kim, Dae-Yong 한국전자통신연구원 1992 전자통신 Vol.14 No.1
$0.25{\mu} m$ 급 pMOSFET소자를 구현하기 위해, $P^+$ 폴리실리콘을 적용한 pMOS를 제작하였으며, $p^+$ 폴리실리콘 게이트 소자에서 심각하게 문제가 되고 있는 붕소이온 침투현상을 조사하고 붕소이온 침투가 일어나지 않는 최적열처리온도를 조사하였다. 소자제조 공정중 게이트 공정만 전자선 (EBML300)을 이용하여 직접묘사하고 그 이외의 공정은 stepper(gline) 을 사용하는 Mix & Match 방법을 사용하였다. 또한 붕소이온 침투현상을 억제하기 위한 한가지 예로서, 실리콘산화막과 실리콘질화막을 적층한 ONO(Oxide/Nitride/Oxide) 구조를 게이트 유전체로 적용한 소자를 제작하여 그 가능성을 조사하였다. 그 결과 $850^{\circ}C$의 온도와 $N_2$ 분위기에서 30분동안 열처리 하였을 경우, 붕소이온의 침투현상이 일어나지 않음을 SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometer) 분석 및 C-V(Capacitance-Voltage) 측정으로 확인할 수 있었으며 그 이상의 온도에서는 붕소이온이 침투되어 flat band전압(Vfb)을 변화시킴을 알았다. 6nm의 얇은 게이트 산화막 및 $0.1{\mu} m$ 이하의 LDD(Lightly Doped Drain) $p^-$의 얇은 접합을 형성함으로써 소자의 채널길이가 $0.2 {\mu} m$까지 짧은 채널효과가 거의 없는 소자제작이 가능하였으며, 전류구동능력은 $0.26\muA$/$\mu$m(L=0.2$\mu$m, V$_DS$=2.5V)이었고, subthreshold 기울기는 89-85mV/dec.를 얻었다. 붕소이온의 침투현상을 억제하기 위한 한가지 방법으로 ONO 유전체를 소자에 적용한 결과, $900^{\circ}C$에서 30분의 열처리조건에서도 붕소이온 침투현상이 일어나지 않음으로 미루어 , $SiO_2$ 게이트 유전체보다 ONO 게이트 유전체가 boron 침투에 대해서 좋은 장벽 역활을 함을 알았다. ONO 게이트 유전체를 적용한 소자의 경우, subthreshold특성은 84mV/dec로서 좋은 turn on,off 특성을 얻었으나, ONO 게이트 유전체는 막자체의 누설전류와 실리콘과 유전체 계면의 고정전하량인 Qss의 양이 공정조건에 따라 변화가 심해서 문턱전압 조절이 어려워 소자적용시 문제가 된다. 최근 바닥 산화막(bottom oxide) 두께가 최적화된 ONO 게이트 유전체에 대하 연구가 활발히 진행됨을 미루어, 바닥 산화막 최적화가 된다면 더 좋은 결과가 예상된다.
김천수,신영무,박병전,Kim, Cheon-Su,Sin, Yeong-Mu,Park, Byeong-Jeon 한국음향학회 1994 韓國音響學會誌 Vol.13 No.1
본 논문은 모형실험법에 관한 것으로 실내음향과 차음에 있어서 건축음향분야의 모형실험의 의의와 동향 및 음향모형실험에서 실내음향의 물리적인 대응관계인 가장 기본적인 상사칙과 차음의 상사칙에 관하여 이론적으로 고찰하였다. This study aims to find the theoretical consideration of the basic simularity rule between scale model experiment and real building as a results ; 1. In the case of room acoustics, $f_m=n\cdot{f_r}\;T_m=T_r/n\; \alpha_m(f_m)=\alpha_r(f_r)$ 2. That of sound Insulation : $TL_m(f_m)=TL_r(f_r)$
대형마트의 임대점포가 영업규제 대상에서 제외되는지 여부
김천수 ( Cheon Su Kim ) 한국유통법학회 2014 유통법연구 Vol.1 No.-
After the business restrictions of the Distribution Industry Development Act (Act) of 17, January 2012 came into effect, controversy arose over the issue of whether rented stores in large retail discount stores should also be included in the scope of restriction in the Act. The conflicting arguments are as following : Large retail discount stores argue that rented stores in large retail discount stores are also small and medium sized retailers, the party the Act aims to protect. Thus they argue that the rented stores in large retail discount stores should not be restricted. On the other hand, small and medium sized retailers argue that in order to protect the bushiness community of street markets rented stores in large retail discount stores albeit their size should be restricted considering the fact that they are also part of the large retail discount stores. The controversy over rented stores in large retail discount stores seems to reflect the improperness of regulation in protecting small and medium sized retail industries. It divides small and medium sized retailers to those who are regulated and who are not and the collision between these two parties result in the fight over the scope of regulation. However, the underlying cause of such collision lies in the imprecision of the Act, in that its definition and classification of the retail industry is not sophisticated enough. In other words, the Act first classifies small retail stores and then aims to protect them accordingly. However the classification itself is inaccurate and thus has led to such controversy. Moreover, restrictions inconsistent with the whole system of the Act were added and this has made it harder to make consistent, unified interpretations of the Act. To toggle such problems, I first reviewed the specific clauses of the Act and studied relevant foreign precedents. Then I reviewed and analyzed the arguments for and against restricting rented stores in large retail discount stores and tried to analyze the situation in the perspective of the distribution law. Finally, I propose some solutions to the problems that might appear as the result of the restriction.