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에피탁시 BaTiO₃ 박막의 승온중 in - situ 구조분석
김상섭(Sang Sub Kim),제정호(Jung Ho Je) 한국진공학회(ASCT) 1999 Applied Science and Convergence Technology Vol.8 No.2
MgO(001) 단결정 기판에 스퍼터링법으로 제조된 에피탁시 BaTiO₃ 박막의 온도에 따른 구조적인 특성 변화를 실시간 방사광 x선 산란 실험을 이용하여 연구하였다. 제조된 박막은 상온에서 c축이 박막표면의 수직방향과 평행한 정방정 구조를 지닌 단일 분역구조의 박막임을 확인하였다. 또한 박막의 격자상수는 덩어리 BaTiO₃의 격자상수에 비하여 기판평행 방향 뿐만 아니라 기판수직 방향으로도 팽창되어 있었다. 한편 이 박막을 상온에서 600℃까지 가열하였을 때 정방정 결정구조가 그대로 유지되었으며, 일반적으로 정방정 에피탁시 강유전 박막에서 관찰되는 정방정-입방정 상변태가 발생하지 않았다. The structural characteristics of an epitaxial BaTiO₃ film on MgO(001) grown by sputtering were studied as a function of temperature using in-situ, real time synchrotron x-ray scattering experiments. We found that the as-grown film was single c-domain but strained at room temperature and tetragonally distorted with the c-axis normal to the film surface. Interestingly, its lattice parameters were found to be expanded in both the in-plane and the out-of-plane directions, i.e. biaxially, comparing with those of a bulk BaTiO₃. More importantly, as it was heated up to 600℃, the tetragonal structure was kept up through without any phase transition, which is usually observed in other epitaxial ferroelectric thin films.
김상섭(Sang-Sub Kim),안희갑(Hee-Kap Ahn) 한국정보과학회 2010 한국정보과학회 학술발표논문집 Vol.37 No.1A
구들의 집합이 주어졌을 때, 주어진 구들이 모두 서로 겹치지 않은 경우 이들 모두와 교집합을 가지는 가장 작은 구(SIBB)를 계산하는 문제에 대해 연구한다. 먼저, 점집합에 대한 Welzl의 무작위 알고리즘을 구집합에 적용하였을 때, 계산된 결과가 조건을 만족하는 최소 크기의 구가 아닐 수 있다는 사실을 증명한다. 이와 함께, 선형 기대시간에 SIBB를 계산하는 새로운 무작위 알고리즘을 제시한다. 제시된 알고리즘은 구조가 간단하며 구현이 용이하여 실용적으로 사용될 수 있다.
스퍼터링 증착변수에 따른 SKD 61강 기판상 TiN 박막의 증착거동 변화
김상섭(Sang-Sub Kim),임태홍(Tai-Hong Yim),박용범(Yong-Bum Park) 한국진공학회(ASCT) 1998 Applied Science and Convergence Technology Vol.7 No.4
반응성 스퍼터링 방법을 사용해서 SKD 61 강 기판상에 TiN 박막을 제조하였으며, 다양한 증착조건의 변수에 따른 박막의 증착거동 및 제조된 박막의 물성을 평가하였다. 챔버내의 가스압력 및 RF 인가전압이 높을수록 증착속도는 급격하게 증가하였다. 반면에 혼합가스의 질소함량이 높을수록 증착속도는 감소하였으며, 박막의 표면에 hillock이 발생하였다. 대표적인 증착조건으로 제조된 TiN 박막의 경우 (111) 우선배향성을 보였으며, 비교적 순수한 TiN의 화학양론비를 충족하는 박막임을 알 수 있었다. TiN thin films were deposited on SKD 61 steel substrates by reactive sputtering under various deposition conditions, and subsequently their growth characteristics and properties were studied. Deposition rate was proportionally increased with total gas pressure as well as RF input power, while the increase of nitrogen in the reaction gas induced a significant suppression of deposition rate. The resulted films exhibited hillocks on the surface. The TiN film prepared using a typical deposition condition showed a (111) preferred orientation and maintained the stoichiometry of pure TiN.
펄스형 레이저 증착법으로 제조된 에피탁시 BST 박막의 구조 분석
김상섭(Sang Sub Kim),제정호(Jung Ho Je) 한국진공학회(ASCT) 1998 Applied Science and Convergence Technology Vol.7 No.4
250 Å과 1340 Å 두께의 에피탁시 (Ba_(0.5)Sr_(0.5))TiO₃(혹은 BST) 박막을 MgO(001) 단결정기판에 펄스형 레이저 증착법(pulsed laser deposition)으로 제조한 후 방사광 X선 산란을 이용하여 분석하였다. 박막은 초기에 MgO(001) 단결정 기판과 cube-on-cube 관계로 증착되며, 박막이 성장함에 따라 이 관계를 계속 유지하면서 성장하는 것으로 판단된다. 한편 박막이 성장함에 따라 박막의 표면은 급격하게 거칠어지는 반면 기판과 박막 사이의 계면의 거칠기는 크게 변하지 않았다. 에피탁시 BST 박막의 초기상태에서는 c축이 기판과 수직한 방향으로 배향된 정방정구조를 보였으며, 박막이 성장함에 따라 그 격자상수가 덩어리(bulk) BST의 값을 지닌 완전한 입방정 구조를 지녔으며, 아울러 기판의 수직(out-of-plane) 및 평행(in-plane) 방향으로의 모자익(mosaic) 분포가 좁아짐을 확인하였다. Epitaxial (Ba_(0.5)Sr_(0.5))TiO₃ thin films of two different thicknesses (~250 Å and ~1340 Å) on MgO(001) prepared by a pulsed laser deposition method were studied by synchrotron x-ray scattering measurements. The film initially grew on MgO(001) with a cube-on-cube relationship, maintaining it during further growth. As the film grew, the surface of the film became rough significantly, but the interface between the film and the substrate seemed to have changed little. In the early stage, the film was highly strained in a tetragonal structure with the longer axis parallel to the surface normal direction. As the growth proceeded further, it was mostly relaxed to a cubic structure with the lattice parameter of the bulk value and the mosaic distribution improved significantly in both in-plane and out-of-plane directions.
김상섭(Sang-Sub Kim),안희갑(Hee-Kap Ahn) 한국정보과학회 2011 한국정보과학회 학술발표논문집 Vol.38 No.1B
이 논문에서는 2차원 평면에서 n개의 구들이 주어졌을 때, 모든 구들이 C₁ ∪ C₂ 에 포함되면서 크기가 가장 작고 합동인 구 C₁, C₂ 를 계산하는 문제에 대해 연구한다. 이 논문에서는 기본적인 방법을 사용하여 O(n?)?시간을 사용하고 O(n) 공간을 쓰는 알고리즘을 제시한다. 또한 우리는 decision 문제를 이용한 이분검색 방법을 사용하는 개선된 알고리즘을 제시한다. 이 알고리즘은 O(n³log²n)의 시간을 사용하고 O(n) 공간을 사용한다.
김상섭(Sang-Sub Kim),손완빈(Wanbin Son),안희갑(Hee-Kap Ahn),유환조(Hwanjo Yu) 한국정보과학회 2010 한국정보과학회 학술발표논문집 Vol.37 No.1A
본 논문에서는 도로 네트워크에서 지배받지 않는(non-dominated) 점 집합을 찾는 문제를 다루었다. 지배받지 않는 자료는 다른 자료들에 비해 질의에 대해서 한 가지 조건이라도 우위에 있는 자료들을 의미한다. 본 논문에서 주어진 도로는 연결된 그래프의 형태로 주어지면 각 도로는 도로를 이용하는데 소요되는 시간을 가중치로 가진다. 우리는 지배성(dominance)과 지배받지 않는 자료의 성질을 이용하는 알고리즘을 우선 제시한다. 또한 이 방법이 지배받지 않는 점을 찾을 때 비효율적인 연산을 수행함을 보이고, 이 알고리즘과 시간복잡도는 동일하지만 비효율적인 부분을 개선하여 실제 수행시간이 향상된 알고리즘을 제시한다. 이와 함께 실험을 통해 개선된 수행성능을 보인다.