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$Pt/SrTiO_3/Pb_x(Zr_{0.52}, Ti_{0.48})O_3/SrTiO_3/Si$ 구조의 전기적 특성 분석 및 $SrTiO_3$박막의 완충층 역할에 관한 연구
김형찬,신동석,최인훈 한국전기전자재료학회 1998 전기전자재료학회논문지 Vol.11 No.6
$Pt/SrTiO_3/Pb_x(Zr_{0.52}, Ti_{0.48})O_3/SrTiO_3/Si$ structure was prepared by rf-magnetron sputtering method for use in nondestructive read out ferroelectric RAM(NDRO-FEAM). PBx(Zr_{0.52}Ti_{0.48})O_3}$(PZT) and $SrTiO_3$(STO) films were deposited respectively at the temperatures of $300^{\circ}C and 500^{\circ}C$on p-Si(100) substrate. The role of the STO film as a buffer layer between the PZT film and the Si substrate was studied using X-ray diffraction (XRD), Auger electron spectroscopy (ASE), and scanning electron microscope(SEM). Structural analysis on the interfaces was carried out using a cross sectional transmission electron microscope(TEM). For PZT/Si structure, mostly Pb deficient pyrochlore phase was formed due to the serious diffusion of Pb into the Si substrate. On the other hand, for STO/PZT/STO/Si structure, the PZT film had perovskite phase and larger grain size with a little Pb interdiffusion. the interfaces of the PZT and the STO film, of the STO film and the interface layer and $SiO_2$, and of the $SiO_2$ and the Si substate had a good flatness. Across sectional TEM image showed the existence of an amorphous layer and $SiO_2$ with 7nm thickness between the STO film and the Si substrate. The electrical properties of MIFIS structure was characterized by C-V and I-V measurements. By 1MHz C-V characteristics Pt/STO(25nm)/PZT(160nm)/STO(25nm)/Si structure, memory window was about 1.2 V for and applied voltage of 5 V. Memory window increased by increasing the applied voltage and maximum voltage of memory window was 2 V for V applied. Memory window decreased by decreasing PZT film thickness to 110nm. Typical leakage current was abour $10{-8}$ A/cm for an applied voltage of 5 V.
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기(氣)철학에서의 총체적 통찰과 경험과 인식-임성주와 최한기를 중심으로-
김형찬 철학연구회 2005 哲學硏究 Vol.0 No.69
임성주는 전통적인 성리학의 이기론(理氣論) 체계 속에서 리(理) 중심적 이론틀에 대한 반성적 성찰을 통해 ‘기일분수(氣一分殊)’ 형식의 기(氣)철학을 구축한 데 반해, 최한기는 서구의 근대 자연과학을 수용하며 경험적 인식방법을 이용해 독특한 기철학을 만들었다. 임성주는 성인(聖人)의 총체적 통찰을 통해 인식돼 전해지는 기존의 가치관이나 윤리관이 영원불변하다는 데 대해 의심하지 않았고, 단지 그것을 능동적으로 실천하기 위한 보다 강력한 이론체계를 구축하려 했다. 이에 반해 최한기는 기존의 가치관이나 윤리관이 시대의 변화를 반영하지 못한다고 생각했고, 시대의 변화를 반영하기 위해 외부 세계에 대한 정확한 경험적 인식방법을 모색했다. 감각기관을 통한 인식, 대상과 주체와 인식의 구분, 지식의 축적과 인식의 정도에 따른 진리의 가변성 등은 바로 최한기가 임성주와 분명한 차별성을 가지게 된 결정적인 요인이었다. 경험적 인식의 방법을 탐구하며 진리의 가변성을 인정한 최한기의 기철학은 임성주의 기철학에서 기대하기 어려웠던, 시대적 변화의 수용이라는 과제를 해결할 수 있는 길을 열었다. 또한 최한기의 기철학은 존재론과 가치론이 공존하는 유교적 자연관의 기반 위에서 서양 근대 자연과학의 경험적․분석적 사유방식을 수용해 냈다는 점에서, 동양적 사고와 서양적 사고의 성공적인 결합 가능성을 보여준다.
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김형찬 대동철학회 2017 大同哲學 Vol.79 No.-
이 글은 하이데거의 세계개념을 해석학적으로 연구하여 현존재의 세계형성을 해명하는 것이다. 그리고 이 과정에서 하이데거 전기철학의 한 축을 담당하는 철학적 인간학과 형이상학의 통합이론으로서의 현존재의 형이상학을 새롭게 평가하려는 시도를 하였다. 하이데거에게 인간은 최고의 존재자로 자리매김하지 않았다. 그는 근원적인 존재문재 탐구를 원하기 때문에 자신의 존재물음을 존재론적으로 해명하려고 하였다. 이러한 탐구과정에서 전통적인 존재론과는 달리 존재 일반이나 존재 자체를 문제 삼지 않고 존재의 의미에 대한 물음을 근원적으로 제기하였다. 즉 이러한 흐름 속에서 하이데거는 시종일관 존재 자체에 대해서 직접적인 답변을 시도하지 않고, 오직 ‘유한성’이라는 시간의 지평에서 인간 존재가 어떻게 드러나는가를 보여주고자 했던 것이다. 그는 존재에 이르는 길로서 ‘인간’을 지목하였기 때문에 그에게는 존재문제가 존재문제로서만 제기된 것이 아니라, 인간에 대한 물음과 함께 하는 존재에 대한 물음이어야 했다. 따라서 그에게는 존재에 대한 물음을 묻는 존재, 지금 여기에 있는 존재, 즉 ‘현존재’가 가장 중요하게 되었다. 철학적 인간학자들이 인간을 식물, 동물, 그리고 신들과 관계를 지어서 서술하는 비교분석의 방법을 수용한 하이데거는 세계없음으로서는 ‘돌’을, 세계빈곤에서는 ‘동물’을, 그리고 세계형성으로서는 ‘인간’을 들어 비교 연구한다. 그는 세계빈곤과 세계형성이 맺고 있는 관계가 결코 우열적인 단계질서가 아님을 지적하였다. 하이데거는 ‘동물이 세계빈곤 속에 존재한다’는 논제를 세계문제에 대한 본격적인 설명을 하도록 하는 계기로 삼아 이 논제를 ‘인간은 세계형성 속에 존재한다’라는 논제와의 관계에서 보고자 하였다. 여기서 세계형성이라는 말은 존재자가 그 자체로서 전체에서 개방되어 있음을 의미하였고, 그로써 세계는 형성된다고 할 수 있었으며, 또한 세계는 오직 그와 같은 형성에서만 그것인 바로 그것으로 존재한다고 할 수 있었다. 하이데거는 주객대립의 발상 위에 성립하고 있는 근대의 인식론적인 사고방식을 극복하고, 그 대립의 근저에 있는 현존재라는 새로운 철학적 단서를 기반으로 세계에 대한 새로운 이해의 차원을 펼치려 하였다. This study attempts to prove world-formation of Dasein focused on especially hermeneutically studying on Heidegger's world concept. It also aims at a new evaluation of the philosophical anthropology which is considered as a major part of his early philosophy. Heidegger reconstructed it in a new type of metaphysical ontology in his original philosophy. Heidegger seeks fundamental problems of ontology beyond anthropology. In the process of his search, the meaning of being is created originally, which differs from the typical view of ontology and doesn't approach the being-general or being itself. Heidegger attempts to reveal how human beings appear over the horizon of time named ‘finiteness’ rather than to answer being itself directly. Accordingly, Heidegger seems to have to comprehend the inquiry of being as not only that of the beingness but also that of human beings. What is most important to Heidegger is the being who asks about the beingness, the present being here, that is, being-there (Dasein). Heidegger considers it proper that his contemporary philosophers of anthropology describe human beings in relation to plants, animals, and gods, and follows the same way in the search for human beings. In Heidegger's thematic approach, ‘stone' stands for worldless-ness, ‘animal' for world-destitution, and ‘human being' for world-formation. Heidegger points out that the relation between world-destitution and world-formation never lies in a kind of hierarchical order. He considers it in terms of the subject, ‘human beings exist in the world-formation' by taking the subject, ‘animals exist in the world-destitution' as a clue for explanation of the world question. The concept of world-formation implies this fact: a being oneself is opened to the whole, through which the world is being formation, and by being formation itself the world exists. Heidegger attempts to discover a new structure of human existence different from that of traditional views. Heidegger seeks a new level of understanding about world on the basis of the being-there which lies in the conflict of subject and object.
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