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Capacitively Coupled Plasma Source를 이용한 Etcher의 상부 전극 온도 변화에 따른 Etch 특성 변화 개선
신한수,노용한,이내응,Shin, Han-Soo,Roh, Yong-Han,Lee, Nae-Eung 한국진공학회 2011 Applied Science and Convergence Technology Vol.20 No.5
Etch process of silicon dioxide layer by using capacitively coupled plasma (CCP) is currently being used to manufacture semiconductor devices with nano-scale feature size below 50 nm. In typical CCP plasma etcher system, plasmas are generated by applying the RF power on upper electrode and ion bombardment energy is controlled by applying RF power to the bottom electrode with the Si wafer. In this case, however, etch results often drift due to heating of the electrode during etching process. Therefore, controlling the temperature of the upper electrode is required to obtain improvement of etch repeatability. In this work, we report repeatability improvement during the silicon dioxide etching under extreme process conditions with very high RF power and close gap between upper and bottom electrodes. Under this severe etch condition, it is difficult to obtain reproducible oxide etch results due to drifts in etch rate, critical dimension, profile, and selectivity caused by unexpected problems in the upper electrode. It was found that reproducible etch results of silicon dioxide layer could be obtained by controlling temperature of the upper electrode. Methods of controlling the upper electrode and the correlation with etch repeatability will be discussed in detail. 상부 전극에 RF power 가 직접 인가되는 capacitively coupled plasma source를 이용한 oxide layer etching 공정은 현재 반도체 제조 공정에서 매우 유용하게 사용되고 있는 방식이다. 그러나 디바이스의 사이즈가 점점 작아지면서 공정을 진행하기 위한 RF power도 커지고, plasma ignition 되는 electrode 사이의 간격도 점점 좁아지는 기술적 변화가 이루어지고 있다. 이러한 H/W의 변화에 따라 예상치 못한 문제들로 공정을 적용하는데 많은 문제점이 발생하고 있는데, 공정 진행 시에 plasma의 영향으로 인한 electrode의 온도 변화도 그 중 하나이다. 이러한 온도 변화로 인해 wafer to wafer의 공정 진행 결과가 서로 다르게 나타나게 하는 문제가 야기되고 있다. 아래의 내용에서는 상부 electrode의 온도 변화에 따른 etch 특성을 연구하고, 이를 개선할 수 있는 방법에 대해 논하고자 한다.
지역심뇌혈관질환센터 접근성과 심뇌혈관질환 사망비의 연관성
신한수,노영민,서지우 한국보건사회연구원 2023 保健社會硏究 Vol.43 No.1
Cardio-cerebrovascular diseases have the second-highest mortality rate after cancer. Therefore, the 2nd Master Plans for Public Health and Medical Services, published in 2021, announced a policy to designate 70 local centers for cardio-cerebrovascular diseases by 2025 for appropriate management of cardio-cerebrovascular diseases. This study identified medical institutions with the level of capacity necessary to serve as local centers for cardio-cerebrovascular diseases and verified their distribution nationwide. Using the GIS network analysis method, we also determined which of the 70 hospital service areas (HSAs) have difficult access to cardio-cerebrovascular disease centers and examined the effect of access to local cardio-cerebrovascular disease centers on the mortality ratio of cardio-cerebrovascular diseases. Our analysis found that there were 11 HSAs with poor accessibility to cardio-cerebrovascular disease centers. In particular, the cities of Geochang, Yeongwol, Sokcho, Haenam, and Tongyeong were found to have a vulnerability of more than 80% to access to a cardio-cerebrovascular disease center. Measured in terms of the severity-adjusted mortality ratio, the prevalence of cardiovascular disease was high in Yeongwol, Geochang, Chungju, and Icheon, while the prevalence of cerebrovascular disease was high in Chungju, Geochang, Haenam, and Tongyeong. A comparison of the severity-adjusted mortality ratio for cardio-cerebrovascular diseases between underserved and non-underserved areas showed that the average mortality ratio was greater in underserved areas than in non-underserved area(p<0.05). This study confirmed that the appropriate placement of local cardio-cerebrovascular disease centers could contribute to lowering the mortality ratio of cardio-cerebrovascular diseases in HSAs. 심뇌혈관질환은 암 다음으로 사망률이 높은 질환이다. 따라서 2021년 발표된 제2차 공공보건의료 기본계획에서는 심뇌혈관질환의 적절한 관리를 위해 지역심뇌혈관질환센터를 2025년까지 70개소 지정하겠다는 정책을 발표하였다. 본 연구에서는 지역심뇌혈관질환센터로서 기능하기에 적정한 수준의 의료기관을 정의하고, 전국 단위에서 그 분포를 확인하였다. 또한, GIS 네트워크 분석을 통해 70개 중진료권별 심뇌혈관질환센터 접근성 취약지를 도출하였으며, 중증도 보정 사망비와 비교를 통해 지역심뇌혈관질환센터 접근성과 심뇌혈관질환 사망비의 연관성을 파악하였다. 분석 결과 접근성이 취약한 중진료권은 총 11개가 도출되었으며, 특히 거창권, 영월권, 속초권, 해남권, 통영권은 접근성 취약도가 80% 이상으로 매우 취약하였다. 심뇌혈관질환 중증도 보정 사망비의 경우, 심혈관질환은 영월권, 거창권, 충주권, 이천권 순으로 높게 나타났으며, 뇌혈관질환의 경우는 충주권, 거창권, 해남권, 통영권 순으로 높게 나타났다. 접근성 취약지와 비취약지 간 심뇌혈관질환 사망비의 연관성을 분석한 결과, 취약지의 경우 비취약지 보다 사망비의 평균이 높은 것으로 나타났다(p<0.05). 본 연구를 통해 지역심뇌혈관질환센터의 적정 배치가 중진료권의 심뇌혈관질환 사망비를 낮추는 데 기여할 수 있음을 확인할 수 있었다.