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      • SiC 반도체 웨이퍼의 직경확대 연구

        손창현 東義大學校 大學院 2009 국내석사

        RANK : 247631

        SiC(탄화규소)는 1500℃ 이하에서 열적 안정성이 우수하고, 산화성 분위기에서 안정성도 뛰어나다. 4.6W/cm℃ 정도의 큰 열전도도를 가지므로 고온에서 장시간 안정성이 요구되는 환경 하에서는 GaAs, GaN와 같은 Ⅲ-V족 화합물 반도체나 다이아몬드보다 SiC의 응용이 한층 유용하다. 이러한 장점에도 불구하고, SiC 결정 성장에 있어 결정 결함을 완벽히 제거 하지 못하고 있는 실정이고, 결제적 관점에서 SiC 결정 성장에 잇어 결정 결함을 완벽히 제거 하지 못하고 있는 실정이고, 경제적 관점에서 SiC 소자제작을 위한 높은 수율을 갖는 대구경의 고품질 SiC 단결정 필요한 실정이며, 이 외에도 Dopant 활성화 기술, Ohmic contact 기술, 그리고 산화막 형성 기술 등 소자 제작의 기술면에서도 해결되어야 할 많은 문제들을 가지고 있다. 본 실험에서는 도가니 구조 변경을 통하여 SiC 결정성장의 초기 단계 및 성장 단계에 있어 생성되는 다결정 SiC 성장이 가능한 방법을 제안하였다. 먼저 다결정 SiC의 성장을 억제하기 위한 실험을 진행하기 위해서 2-inch용 도가니를 사용하여 내부에 가이드 튜브의 구조 및 종자정과의 간격을 변경하여 성장을 실시하였다. 그 결과 성장시킨 SiC 결정은 단결정영역과 다결정영역이 완벽히 분리된 형상을 나타내었다. 이후 선정된 가이드 튜브를 적용하여 2-inch용 도가니와 3-inch용 도가니에서 50.8mm, 54.8mm, 61mm의 직경을 갖는 Wafer를 종자정으로 사용하여 결정 성장을 진행하였으며, 각각의 SiC 결정은 자체적으로 Wafering 공정을 실시하였고, 최종적으로 각각 50.8mm, 54.8mm, 61mm의 직경을 갖는 웨이퍼 및 10×10mm²의 시편을 준비하였다. 성장된 세 잉곳의 결정 양상 및 성장률, 마이크로파이프 결함 밀도 측정, XRD를 이용한 결정성 측정 및 광학적 특성 평가를 실시하였다. SiC 단결성 성장 결과 단결정영역과 다결정영역이 완벽히 분리되고 직경이 향상 된 결정을 나타내었다. 세 결정의 성장률은 0.21mm/hr로 거의 동일하게 나타내었지만, Micropipe 밀도 측정에서는 3-inch용 도가니를 적용하고 54.8mm의 종자정을 사용하여 성장시킨 결정이 가장 낮은 353 ea/cm²로 나타내었다. Micropipe 밀도 및 결함 측정을 위해 용융염에 에칭하여 관찰한 결과 결함 분포 역시 3-inch용 도가니를 적용하고 54.8mm의 종자정을 사용하여 성장시킨 결정이 상대적으로 Micropipe 및 기타 결함들이 비교적 흩어져 있는 양상을 나타내었다. XRD를 이용한 세 결정의 다형 분석 결과 모두 (006)과 (0012)의 주 피크사이에 이중 회절효과에 의한 5개의 작은 피크가 존재하는 것이 확인되어 세 결정 모두 6H-SiC로 판별하였다. 결정성 분석 결과에서도 역시 가장 최종적으로 성장시킨 결정의 (0006)면 Rocking curve의 FWHM 값이 111arcsec으로 나타내어 점점 성장이 진행될수록 개선된 결정성을 갖는다는 것을 알 수 있었다. UV-VIS-NIS spectrophotometer를 이용한 분석 결과 세결정 모두 3.04eV 정도의 밴드갭을 가지는 N-type의 6H-SiC로 나타났다. 결론적으로 도가니 내부의 위치한 가이드 튜브의 구조를 변경하여 초기성장 시 생성된 다결정 SiC의 침입을 억제함에 따라 단결정 SiC의 성장을 촉진하였고, 기존에 사용하던 2-inch용 도가니보다 큰 3-inch용 도가니를 사용하여 대구경 SiC 단결정을 성장하였다. 점차적으로 성장 시킨 SiC의 최종 직경이 71mm를 갖고 결정질이 개선된 N-type의 6H-SiC 대구경 단결정을 나타내었다. 따라서 SiC 단결정의 최종적인 품질이 개선 된 대구경 단결정성장에 긍정적인 효과를 줄 것으로 기대된다.

      • 디지털 건축에서 표면의 유연성과 구축성에 관한 연구

        손창현 서울市立大學校 2005 국내석사

        RANK : 247631

        디지털 건축에서 표면의 유연성과 구축성에 관한 연구

      • 통화정책이 이자율과 이자율 스프레드에 미치는 영향에 관한 연구

        손창현 공주대학교 대학원 2012 국내석사

        RANK : 247631

        This thesis is related to between interest rate and monetary policy. Money supply impact affects interest rate and interest rate spread. This effect is called liquidity effect. Many previous studies have found it. Before finding liquidity effect, this study has to decide a sort of interest rate. This is a purpose of this thesis. Financial market has a lot of market interest rates. But change of quantity of money differently affects to each interest rate. This study searched it. In addition this study made period, risk, deposit-loan interest rate spread. Each interest rate spread means period, risk, deposit-loan premium. Through this premium, this study is possible to know that the gaps of interest rate and a forecast of economy. Monetary authority will plan monetary policy referring to the gaps of interest rate and supervise financial institutes. Another important purpose of this thesis is finding exist of asymmetry of interest rate due to money shock. It is important to find an asymmetry because interest rate affects the real economy. Monetary authority plans monetary policy considering economic cycle for economic forecast. So an existence of an asymmetry of interest rate due to monetary shock of course is important reference data. This study practiced empirical analysis for finding liquidity effects and change of interest rate spread due to change of money supply and an existence of an asymmetry of interest rate due to monetary shock. First this study practiced correlation between change of money supply and interest rate including interest rate spread in same period. Second this study practiced Granger causality test to find Granger causality relation between change of money supply and interest rate including interest rate spread. And next empirical test is a vector auto-correlation test (VAR model). This VAR model included price and income variables. Why the model included other variables is because that this study wants to consider price effect and income effect. So the model is 4 variables VAR(-3) model. Utilizing 4 variables VAR(-3) model can forward this study to VAR Granger causality test and impulse response function. This study found that all interest rates have liquidity effect to use impulse response. This liquidity effects is appeared in the short run (3~4monthes). Above all interest rate of CD among several interest rate is the largest affected by change of money supply This study also found that deposit-loan interest rate spread continues to rise in the long run. It means that the gap of loan and deposit interest rate gets big in long run steadily. Therefore monetary authority has to consider difference of change of each interest rate due to change of money supply to plan monetary policy and supervise financial institutes during transit period of monetary policy because of these facts. Another important purpose of this thesis is asymmetry of interest rate by monetary shock. So this study practiced asymmetry test. This test let us know that which monetary shock affects interest rate and interest rate spread. To find it this study divide money shocks in two that are negative and positive shock. The result shows that negative shock raises interest rate. It means that monetary shock has asymmetry of interest rate. Through interest rate monetary policy affects the real economy directly and indirectly. Considering this, the monetary authority has to practice monetary policy. Other Important factors deciding an interest rate are price and income. But this study concentrated on relation of between interest rate including interest rate spread and change of money. So this thesis doesn’t consider another effect like price effect and income effect. And this thesis doesn’t manage that through interest rate, monetary policy affects the real economy. These aspects are limits of this thesis.

      • EMB (Electro-Mechanical Brake) 시스템을 위한 모델기반 센서 고장진단

        손창현 한양대학교 대학원 2011 국내석사

        RANK : 247631

        Brake-by-Wire System의 최근 개발 동향으로 EHB (Electro-Hydraulic Brake), Hybrid Brake, EWB (Electro-Wedge Brake), EMB (Electro-Mechanical Brake)등이 BOSCH, Continental Automotive, TRW Automotive과 같은 자동차 부품 회사를 중심으로 개발 중에 있거나, 일부 System의 경우 양산을 경험한바 있다. 이러한 Brake-by-Wire System의 경우 기존의 유압식 제동 장치에 비해 제품 생산공정에 있어 모듈화를 통해 비용 및 시간이 절감될 수 있고, 기술적인 측면에서도 빠른 응답성능을 통한 차량의 자세 제어 성능을 향상 시킬 수 있는 장점이 있다. 뿐만 아니라, 자동차 업계에서는 이러한 Advanced Technology를 시장에 선보이면서 경쟁 업체 제품에 비해 브랜드 이미지 향상과 소비자의 신뢰를 강화시킬 수 있는 장점을 갖고 있다. 하지만, 전자제어 제동 System을 도입하기 위해서는 제어 성능에 심각한 영향을 미칠 수 있는 고장 상황에 대한 강인한 고장 진단 기법이 개발되어야 한다. 모델 기반의 센서 고장 진단 알고리즘의 경우 수학적 Modeling을 통해 Hardware Redundancy가 대체 가능하며, 이로 인해 상대적으로 비용 절감을 할 수 있는 장점이 있는 반면, 차량 System에 적용하기 위한 Real-Time System이 요구되어 복잡한 수학적 Modeling 적용에 제한적이며, Modeling Error로 인한 False Alarm 또는 Missing Fault Detection 이 발생될 수 있는 단점이 있다. 본 논문에서는 EMB System에 장착되는 Current Sensor와 Rotor Speed Sensor에 대한 모델 기반 센서 고장 진단 알고리즘을 제안하였다. 그리고, 앞에서 살펴본 모델 기반 센서 고장 진단 알고리즘의 단점을 보완하기 위해 비교적 단순한 수학적 모델 적용이 가능한 Parity Space와 Observer Design 접근법을 통해 센서 신호에 대한 Residual을 생성하였으며, 고장 진단 알고리즘의 Modeling Error를 최소화 하기 위해 2가지 방법을 통합하여 Residual을 평가하고 최종 고장 진단을 결정하는 알고리즘을 새롭게 제안하였다. 알고리즘을 검증하기 위해 Matlab-Simulink을 이용한 Closed–Loop Simulation 및 HILS 시험환경을 구현하였다. 이러한 시험 환경을 통해 Modeling Error로 인해 발생 할 수 있는 정상 작동 범위에서의 False Alarm 발생과 센서 고장 상황에서의 Missing Fault Detection 여부를 검증하였다. 그리고, Step Fault Signal과 같은 임의의 Additive Fault 신호가 센서신호에 인가될 경우에 대해서 제안된 알고리즘의 성능을 검증하였다.

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