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      • 기계적 펌핑 기반의 반응성 플라즈마를 이용한 GaAs 반도체와 고분자 소재의 건식 식각 연구

        김재권 인제대학교 2009 국내석사

        RANK : 247631

        본 연구에서는 기계적 펌핑 기반의 반응성 플라즈마를 이용한 GaAs 반도체와 고분자 소재의 건식 식각에 대한 결과를 다루어 보고자 한다. 현재 GaAs는 레이저 소자, 고출력의 이동 통신용 소자로 보편적으로 사용되고 있다.[1]~[6] 고분자소재의 경우 플렉시블 폴리머 소재를 기반으로 하는 플라스틱 반도체, 바이오 칩, 센서 등 다양한 소자를 개발하고자 하는 노력이 가속되고 있다.[7] 특히 향후 비정질 실리콘, ZnO, InSnO 등의 투명한 반도체 물질, PEDOT 등의 전도성 폴리머의 개발이 가속화 됨에 따라 미래 플렉시블 소자의 기판으로 사용할 새로운 재료의 미세 가공에 대한 관심이 커가고 있다. 또한 1회용 바이오 멤스(MEMS) 소자의 개발에 있어 손쉽게 양산이 가능하며 소재 가공성이 뛰어난 물질에 대한 수요가 머지않아 나타날 것으로 예상한다. 그런 의미에서 미세 가공이 필요한 바이오 멤스 분야에서 폴리머 소자 개발을 위한 건식 식각 공정 개발은 상당히 중요하다고 할 수 있다. 본 연구를 수행함에 있어서 필수적인 장비인 건식 식각 장비는 일반적인 관점에서 볼 때 고전압의 파워를 사용하고 진공을 사용해야한다는 큰 약점들을 가지고 있다. 결국 이런 것들은 장비의 가격을 높이고 소자 제조 비용에 큰 부담을 준다. 그런 측면에서 플라즈마 시스템의 안정성을 더욱 강화하며 경제성을 유지하고자 한다면 이 문제를 몇 가지로 나누어 생각해 볼 수 있다. 첫째는 플라즈마 식각 공정에서 낮은 공정 압력 유지를 위해 흔히 사용하는 터보분자 펌프를 가능한 이용하지 않는 기술을 개발하여야 한다. 터보 분자 펌프는 스태터와 로터로 구성되어 있으며 회전 날개인 로터가 분당 수만 번 회전함에 의해 고진공을 유지하게 되어있다. 그러나 일반적으로 지금까지의 터보 펌프는 기계적 충격에 상대적으로 약하고, 언제든 정전 등에 의해 쉽게 고장날 수 있으며, 고장시에는 유지 보수에 많은 비용이 들 수 있다. 그리고 이 문제는 반드시 GaAs와 고분자 재료의 식각의 경우에만 국한되는 것은 아니다. Si의 경우에도 최근 들어 450 mm 직경의 웨이퍼가 시험 생산되고 있으며 터보 펌프를 사용하는 지금의 식각 공정을 근본적으로 개선하지 않고 그대로 사용한다면 향후에 그런 규모의 웨이퍼를 플라즈마로 식각하기 위해서는 더 용량이 큰 터보 펌프를 사용하여야 한다. 그러나 현재 Si 소자의 패턴 크기를 생각한다면 앞으로도 플라즈마 식각의 사용을 피할 수 없다는 것을 쉽게 짐작할 수 있다. 또한 소자 제조 원가 비용 절감을 위해 여러 장의 웨이퍼를 동시에 식각하고자 하는 산업의 요구에 부응하는 경우에는 역시 터보 분자펌프의 높은 가격은 제조업체와 장비 업체에 큰 부담이 아닐 수 없다. 두번째로는 플라즈마를 발생시키기 위하여 공정 반응기로 인가되는 전압과 전류를 지나치게 높은 것을 사용하는 것을 피해야 한다는 것이다. 이 문제는 우리가 지금까지 개발한 모든 플라즈마 장비를 바라보는 관점을 새롭게 한다. 즉, 높은 전압과 많은 전류를 공급하여 식각 속도를 높일 수는 있겠지만 그런 높은 전압과 전류의 사용은 그만큼 장비의 위험도를 높이게 된다. 특히 고밀도 플라즈마를 생성하기 위해서는 독립적인 두 개 이상의 전원을 공급해주는 것이 일반적이다. 그에 따라 반응기에는 높은 열이 발생하고 이것은 다시 고성능의 열교환기와 열 교환을 위한 더욱 정밀한 샘플 지지대를 요구한다. 여기서 우리가 스스로 의문점을 가질 수 있는 것은 그럼 이 모든 문제를 해결하기 위해서는 어떤 연구가 선행되어야 하는 것이다. 그 답으로는 터보 분자 펌프를 사용하지 않고 가능한 많지 않은 파워를 사용하여 소재를 식각할 수 있는 공정을 개발하고자 하는 것이다. 우리는 이런 관점에서 1) 오직 단순한 기계적 펌프만을 사용하고, 2) 비교적 단순한 CCP 만을 사용하여 상대적으로 높은 GaAs와 고분자 재료의 건식 식각률 (> 0.1 ㎛/min)을 줄 수 있는 우수한 플라즈마 공정을 개발하고자 한다. 여기서 더 나아가 고분자 소재를 이용한 건식 식각 공정에서는 다층 RIE Multi electrode를 이용한 건식 식각 공정을 수행한 결과에 대해서 논하고자 한다.

      • 공공도서관의 서비스 품질이 이용자 선택 속성에 미치는영향

        김재권 한남대학교 일반대학원 2010 국내석사

        RANK : 247631

        공공도서관은 각종자료를 수집, 정리, 보존하며 지역주민들의 이용을 위해 봉사하는 기관이며 공공도서관의 임무는 누구라도, 어디에 살더라도, 어떠한 자료라도 이용할 수 있는 상태로 만들어져서 모든 국민의 알 권리와 읽을 권리를 사회적으로 최대한 보장하고 그들의 지식영역을 확장시키는데 있다. 따라서 공공도서관 이용자가 도서관을 선택하는 만족도는 무엇인가에 대해 연구 하였으며 공공도서관의 증가에 따른 이용자의 도서관 인식이 변화되고 또한 과거에 비해 이용자들은 더욱 높은 수준의 서비스 품질을 요구하고 있음. 따라서 공공도서관은 수준 높은 서비스를 제공할때 공공도서관의 이용자가 확대되고 이용자에게 환영받는 국가 문화시설로 자리 잡을 수 있다고 생각한다. In the knowledge based society of the twenty first century, the effective accumulation and application of knowledge and information is one of the most important things. The public library is the institution that serves the community by collecting, organizing and preserving all sorts of data and document. The primary mission of public library is to help community members to access the any documents easily that they want to know, to guarantee their rights to know and to help them expand their area of knowledge. This study examines what satisfies library users and how they select the library. Below are the results: First, among satisfactory factors of public library service qualities, satisfaction with facilities is the primary factor that library users consider most to select the library. The next factors are physically easy accessibilities to the library and their PR. Satisfaction with facility and easy accessibilities are positively considered when users select their libraries. Second, among satisfactory factors on the facilities of the public library, users considers the appropriate arrangement of spaces as the most important factors when they choose their libraries. The next factors are modern facilities, convenience and cleanness of the resting lounge and rest rooms in order. Third, as for library data quality and quantity, users consider most important the search system through which users get information they need with ease and the next is updated data and information. Fourth, on personnel resources who work the public libraries, users consider most important library workers' confidence that makes users feel comfortable, and the next factor is librarians' understanding and specific explanation on users' demand. Fifth, as for library's accessibility, users considers periods of checking out and returning books as the most important factor. It must be flexibly operated. And the next is the ease geographical accessibility to the public library. Sixth, among library services, good equipment in the library is the first factor that users consider when they choose their library. They want equipment such as computers, scanners, printers and copy machines to be well prepared. Seventh, as for PR of the public library, cultural events hosted by the library affects users most when they choose their library. The next factor is information on cultural events that users can get from the library. This means that one of library missions is to increase the cultural levels of a community as well as its intellectual level through various events. Based on these results, it is concluded that to increase the awareness on service quality of the public library and to promote the use of the public library, the following is the limitations. First, since subjects of this study are limited to users of public libraries in Deajeon, there is a possibility of geographical and environmental difference in user selections. For more accurate studies, studies that cover the broader area must be done. Second, when it is analyzed how service quality affects users' selection for libraries, facilities and accessibilities are the most important factor that satisfies users. In the future study, these two factors must be examined more specifically. Third, to increase the credibility of this study's results, it is necessary to select specimen in more various areas and to distribute more questionnaires as well as to make more questions and to modify some questions. Fourth, since service quality of the public libraries is an important factor that makes users select and use them, various approaches to improve the service quality is necessary and measures to adapt the changes must be considered. In conclusion, as recently the number of the public library increases, and users' recognition on the public library changes, they demand the higher service quality of the public library. Therefore, if the public libraries provide high service and the users of the public libraries increase, they will be the national cultural facilities that are welcomed by users.

      • 18界 構造로 본 認識現象에 관한 硏究 : 俱舍論(Abhidharmakosadhasyam)을 중심으로

        김재권 동국대학교 대학원 1998 국내석사

        RANK : 247631

        The problem of existence in Early Buddhism can be explained by the paradigm of the five skhandas, the twelve a ̄yatanas and the eighteen d ̄hatu. This classification of all dharmas is the context in which the phenomenon of perception is examined in this thesis. This classification of dharmas in Early Buddhism can be considered as a method by which the law of dependent origination has been applied to explain phenomena This can also be concluded trough an examination of the citation that 'the one who sees dependent origination sees the dharma, the one who sees the dharma sees dependent origination.' Dependent origination can be deemed as a paradigm for understanding human existence and the existential phenomena of the world, further, the paradigm of the five skhandas, the twelve a ̄yatanas and the eighteen dha ̄tu is a more concrete attempt to restructurize and explain human existence and the existential phenomena of the world. From this point of view, human existence and the world are included in the threefold scheme of skhanda-a ̄yatanas-dha ̄tu. These three categories can be reduced to the principle of dependent origination. The first chapter examines the background of the introduction of the skhanda-a ̄yatanas-dha ̄tu-paradigm and the principle of classification of all dharmas according to the Abhidharmakosa´bhas.yam. Also, for a better understanding, an attempt is made to elucidate the meaning of the word 'dharma'. This is a concept central to the system of the Sarva ̄stiva ̄da, which was criticized by Vasubandhu and by other Schools. But if the definition of dharma occurring in the Abhidharmako.sa´bhas.yam is examined, it becomes obvious .that there is a problem in considering the Sarva ̄stiva ̄din conception of dharma as an ontological reality. Although this issue requires a more elaborate inquiry implying .the Sarva ̄stiva ̄din theory of knowledge, it remains a problematic one. The Sarva ̄stiva ̄da consider the four characteristics as real existent dharmas which are related to the production of created phenomena. This point of view is criticized by Vasubandhu on the basis of the continuity of the productive flux of events. The theoretical deficiency of the Sarva ̄stiva ̄din can be apprehended in the discussion between Vasubandhu and the Sarva ̄stiva ̄din concerning their difference in interpreting su ̄tras. This deficiency seems to rely upon the peculiar dharma-theory of the Sarva ̄stiva ̄din themselves. The second chapter aims at an understanding of the general meaning of epistemological phenomena through an elucidation of the meaning and the relation of mutual inclusion of skhandas, a ̄yatanas and dha ̄tu. Further, the character of dependent origination of the 18 dhatu is examined through the causal relation between sense organs, sense data and consciousness. This examination is helpful in understanding the generative process and the conditions of epistemological phenomena. The third chapter is concerned with the prerequisites for the generation of consciousness besides sense data, ie., the necessity of secondary causes of consciousness. This is done through an examination of the critical discussion between Vasubandhu and the Sarva ̄stiva ̄din on the stages of the evolving process of consciousness after the primary contact between sense organs, sense data and consciousness. Thus it is possible to understand structurically the flux of epistemological phenomena. The fourth chapter focuses on the problems of the epistemological subject and the phenomenal and non-phenomenal theory of knowledge. The epistemological subject, which has always been a source of problems in Buddhist philosophy, is considered from the point of view of Vasubandhu's theory of dependent arising, although even borrowing his view cannot solve all extant problems. The aim of this thesis is to explain the formative process of human perception through an examination of the paradigm of the five skhandas, the twelve a ̄yatanas and the eighteen dha ̄tu. Further it explains the reasons and the conditions of the limitation of human consciousnes.

      • 무기염 촉매를 이용한 식물성오일로부터 바이오디젤유 제조에 관한 연구

        김재권 건국대학교 2004 국내박사

        RANK : 247631

        영문초록:Considering the important matter of air pollution and long-term energy prospect, alternative energy comes into the limelight because of CO2 emission increase as using petroleum fuel. Thus, Alternative energy gives rise to the important social issue because it has thrown away the renewable fuel such as waste oil. Therefore, this report is to study and develope the environmental-friendly alternative energy in order to substitute the fossil fuel being reduced and use as renewable materials. Also, we investigated the optimum conditions for fatty acid ester by the transesterification reaction under catalyst such as mineral salts and the possibility of the utilization of alternative fuel through the fuel assessment. Biodiesel oil is the resource of renewable energy such as vegetable oils and is possible to burn waste oil clearly through the chemical conversion. Excluding that it makes from organic materials, it has the same properties with petroleum diesel fuel that produces through petroleum refining. Also, as biodiesel oil is a biodegradable fuel environmentally, biodiesel oil shows the results that it almost reduces the air pollutants of the every type of them and it indicates the lowest level remarkably compared to the petroleum diesel fuel which is extracted from crude oil. Especially, one of the best important thing about the environmental advantages is that it contains smaller carcinogenic and toxic materials than petroleum diesel fuel. Also, it is impossible to emit sulfur oxides because it contains none of the sulfur compounds. The compounds of fatty acid ester cause the problem for the application of automotive engine because of the high viscosity and pour point etc., as compared to petroleum diesel oil. On the other hand, biodiesel oil has the high cetane number, low aromatic hydrocarbon and contains the oxygenate above the 11 wt%, for that reason, biodiesel can get the environmental advantages due to complete combustion and biodiesel oil reduce about the average 10 % emission gas, which is toxic, carcinogenic air pollutants(THC, CO, NOx, sulfur oxides, PM) So, it is possible to use biodiesel oil as friendly-environmental alternative energy without remodeling the automotive engine. We can obtain the compound of FAME(fatty acid methyl ester) from the transesterification reaction of vegetable oil and alcohol under sodium hydroxide and potassium hydroxide as mineral salt catalyst. Also, we can obtain optimum condition at above 90% of the conversion rate at the volume of methanol(1:20), reaction time(15 min), reaction temperature(60℃). At this time, when methanol was used in excess, the rate of conversion was increased. The results of good blending could be obtained because of the reaction rate increased. From the result of fuel assessment(ASTM method), we found that it is possible to use biodiesel oil as alternative fuel of petroleum diesel fuel in this condition. Also, we developed the new test method to measure the various test items simultaneously using spectroscopic method. Also, it has the big advantage in point of economy and environment as reusing the wasted resources

      • 인지적 도제학습 기반의 예비교사용 RcBr 식물분자생물학 실험 프로그램의 개발 및 적용

        김재권 한국교원대학교 대학원 2018 국내석사

        RANK : 247631

        이 연구는 예비교사의 분자생물학 실험 수업에 관한 전문성을 향상시키기 위하여 Rapid-cycling Brassica rapa(RcBr)를 이용한 식물분자생물학 실험 프로그램을 개발하고자 하였다. 예비실험을 통해 ‘purple RcBr과 non-purple RcBr 개체의 DFR 유전자 확인’과 ‘DNA 프로파일링 방법을 이용한 RcBr 개체의 유전적 다형성 부위 확인’의 두 가지 실험주제를 선정하여 프로그램을 개발하였으며, 예비교사의 인지기능을 향상시키기 위해 인지적 도제학습의 교수단계와 교수방법을 적용하여 개발하였다. 개발된 프로그램은 충청북도 소재의 H 대학교 생물교육과 2학년 예비교사 18명을 대상으로 적용하였으며, 분자생물학 지식과 기술 활용에 관한 인지기능과 영역일반적 메타인지 기능의 향상 여부와 프로그램에서 제공된 수업흐름도 작성 과제를 분석함으로써 프로그램의 효과를 검증하였다. 이 연구의 결과는 다음과 같다. 첫째, 개발된 프로그램은 ‘RcBr 재배’, ‘실험기자재 익히기’, ‘DNA 추출’, ‘DFR 유전자 증폭’, ‘유전자 차이 확인’, ‘다형성 부위 증폭’, ‘제한효소 처리’, ‘유전적 다형성 확인’의 실험 주제에 따라 총 8차시로 구성하였으며, 인지적 도제학습의 교수 단계와 교수 방법을 적용하여 교수자용 수업안내서와 예비교사용 활동지를 개발하였고, 시범 단계에서 사용할 수 있는 실험 동영상을 제작하였다. 둘째, 개발된 프로그램은 예비교사의 분자생물학 지식 및 기술 활용에 관한 인지기능 향상에 효과적이었다. 분자생물학 실험 경험 유무에 따라 고차적 인지기능 향상에 차이를 보였고, 특히 선행 실험 경험이 없는 예비교사의 고차적 인지기능 향상에 효과적이었다. 셋째, 개발된 프로그램은 영역일반적 메타인지기능 중 메타인지적 지식의 과제와 메타인지적 조절의 계획, 점검, 평가 부분의 하위요소에 있어 유의미한 향상 효과를 보이고 있었다. 이는 프로그램의 차시별 자기평가 활동이 예비교사의 메타인지적 조절 기능 향상에 도움을 준 것으로 확인되었다. 넷째, 개발된 프로그램을 통해 습득한 지식과 기술을 활용하여 대부분의 예비교사가 RcBr 부계 찾기 수업흐름도를 올바르게 작성하였다. 특히, 분자생물학 인지기능 향상 점수가 가장 높은 예비교사가 상위권에 속해 있었으며, 심층 면담 분석 결과 문제의 초점을 잘 파악하고 있었다. 프로그램 만족도 설문조사 결과, 긍정적인 평가를 받았으며 프로그램을 통해 교사에게 요구되는 실험 기술과 교수 기술을 습득할 수 있는 것을 확인할 수 있었다. 이에 개발된 프로그램은 예비교사의 분자생물학 실험 수업에 관한 핵심 역량을 키우는데 도움이 될 뿐만 아니라 교수․학습 자료를 재구성하여 현직 교사나 고등학생들에게도 적용한다면 프로그램의 적용 효과를 기대할 수 있을 것이다.

      • 골프퍼팅의 전이수행에 관한 연구

        김재권 서남대학교 대학원 2011 국내석사

        RANK : 247631

        This study has a purpose that present an effective practice method and verify effectively positive characteristics of implicit education and implicit education useful in meaning to suppress that explicit knowledge is piled up in technical acquisition on-scene sports. The study object select 48 people without an experience advance to golf and classify at random explicit group, implicit group, control group in J city S Univ. Use 4×2×4 Mixed Design of An experiment design by group and degree of difficulty and repetition measurement, independent variable - An education form(4 Level ; explicit group, implicit group, control group), Degree of difficulty(A horizontal assignment, An inclined assignment), Repetition factors(4 Level ; An enforcement block), dependent variable - Precision of putt accomplishment{A}, Consistency of putt accomplishment{VE}, Knowledge of putt accomplishment, A subjective evaluation score regarding a putt own an applicant(1-5 score). Analyze members a variate with technical statistics of average by repetition measurement and standard deviation in orderto inquire into a difference of accomplishment and acquisition accomplishment of a golf putt assignment, practice method in fuzzy accomplishment(explicit, implicit, control) and if need, use Tukey HDS. That is a result. First, In acquisition accomplishment, Explicit knowledge better than implicit knowledge and control knowledge. Also all group same ability in inclined assignment and explicit group better than other group in horizontal assignment at precision regarding putt accomplishment. Accomplishment all similar a strong group achieved, and consistency regarding a horizontal assignment of putt accomplishment appeared. Second, For putt accomplishment in horizontal assignment, inclined assignment, 3 group have similar ability. Also, Confidence regarding putt accomplishment was high compare with the two groups where a explicit group was different. 본 연구는 스포츠 현장 기술의 기술습득에 있어 이차과제를 부여함으로 명시적 지식이 축척되는 것을 억제하는 의미에서의 암묵적 학습이 유용한가를 규명하고 암묵적 학습의 긍정적인 특징들을 효과적으로 검증하고 가장 효과적인 연습방식을 제시하는데 그 목적이 있다. 연구대상은 J도에 소재한 S대학의 골프에 사전경험이 없는 초보자 48명의 지원자들을 무작위로 명시집단, 암묵집단, 통제집단으로 배정하였다. 실험설계는 집단과 난이도 및 반복측정에 의한 4×2×4 혼합설계(Mixed Design)를 사용하였고, 독립변인은 학습형태(4수준 ; 명시집단, 암묵집단, 통제집단,), 난이도(수평과제, 경사과제), 반복요인(4수준 ; 시행블럭)이고, 종속변인은 퍼팅수행의 정확성(절대항상오차{}), 퍼팅수행의 일관성(가변오차{}), 퍼팅수행의 지식, 피험자 자신의 퍼팅에 대한 주관적 평가점수(1-5점척도)이다. 골프퍼팅과제의 습득수행, 파지수행에서 연습방식(명시, 암묵, 통제)에 따른 수행의 차이를 알아보기 위해 반복측정에 의한 평균과 표준편차의 기술 통계치와 일원변량분석과 필요시 사후검증(Tukey HDS)을 하였다. 골프퍼팅과제의 습득, 파지수행에 따른 주요결과를 보면 다음과 같다. 첫째, 습득수행에서 퍼팅수행지식은 명시학습이 암묵학습과 통제학습에 비해 퍼팅수행지식이 높았다. 또한 퍼팅수행에 대한 정확성은 수평과제에서는 명시집단이 높았고, 경사과제에서 정확성은 세 집단 모두 유사한 수행을 보였다. 퍼팅수행의 수평과제에 대한 일관성도 세 집단 모두 유사한 수행이 이루어 진 것으로 나타났다. 둘째, 파지수행에서 퍼팅수행의 수평, 경사과제에 대한 일관성은 세 집단 모두 유사한 수행을 보였다. 또한, 퍼팅수행에 대한 자신감은 암묵집단이 다른 두 집단에 비해 높았다.

      • COx의 수소화 반응에 의한 메탄을 합성 연구

        김재권 광운대학교 대학원 2003 국내석사

        RANK : 247631

        메탄올 합성반응은 Cu/ZnO/MgO/Al2O2촉매를 이용하여 합성하는 것으로써, 일산화탄소, 이산화탄소 및 수소를 이용하여 가압 고정층 반응기내에서 합성하였다. 고정층 반응기를 이용하여 메탄올 합성시 촉매의 구성비율, 공탑속도, 반응온도, 주입가스의 구성비율, 반응압력에 따라 활성 및 선택도가 결정된다. 합성반응에 있어서 최대 메탄올 수율이 존재하는 반응온도는 260℃이며, 반응압력이 증가할수록 메탄올 수율이 증가하는 결과를 볼 수 있었다. CO2의 수소화 반응에 있어서 주입가스의 성분에 따라 다른 결과를 보이며, H2/COx의 주입 비율이 2.33일 경우 메탄올의 수율이 최대값을 나타내었다. Cu/ZnO/MgO/Al2O3촉매는 공탑속도에 다라 수율이 결정되며, 공탑속도 증가시 메탄올 선택도가 증가된다. 그러나, 12000 l/kg/hr 이상에서는 메탄올 선택도가 감소하는 결과를 나타내었다. 주입가스중 CO2/(CO+CO2)의 비율이 10%일 때 메탄올 수율은 증가한다. 그러나, 이산화탄소의 농도가 증가하면 메탄올 수율은 감소하는 결과를 가져왔다. 이러한 결과는 Cu/ZnO/MgO/Al2O3촉매의 활성점에 H2O 및 CO2가 강하게 흡착되어 발생되는 결과로 사료된다.

      • 주조용 γ-TiAl합금의 미세조직제어에 관한 연구

        김재권 금오공과대학교 대학원 2020 국내석사

        RANK : 247631

        With the increased demand for improved performance and efficiency of parts used under extreme working conditions, γ-TiAl alloys are attracting attention as new high-temperature structure materials. This is related to their outstanding properties, such as excellent specific strength, high temperature oxidation resistance, and high-temperature stability. γ-TiAl alloys are generally produced through a casting process because of low cost and high productivity. However, the coarse cast structure formed during solidification is a critical problem for mechanical properties and microstructure control. This problem can be solved through hot working and additional heat treatment, but in the case of casting alloys there should be no shape deformation, so hot working is impossible. Therefore, in this study, the microstructure of developed alloy (KIMS alloy) was controlled with only a stepped-cyclic heat treatment process without hot working. The coarse cast structure after the heat treatment was mostly replaced by fine structure. Tensile tests were conducted to evaluate the mechanical properties of the controlled microstructure. The mechanical properties at room temperature were improved by the effect of decrease of grain size. As the microstructure became fine, the yield strength at room temperature increased from 482 MPa to 650 MPa and the total strain increased from 0.3% to 1.01%. The mechanical properties at high temperature were influenced by the grain boundary shape of the microstructure. Fine fully lamellar structure had relatively good high-temperature strength. However, strength of the nearly lamellar structure had decreased. 현재 고온용 구조재료들의 성능과 효율 향상에 대한 요구가 증가함에 따라 기존에 사용되고 있는 Ni계 초내열합금을 비강도, 내산화성이 우수한 γ-TiAl 합금으로 대체하려는 시도가 활발히 이루어지고 있다. 이러한 γ-TiAl합금은 연성이 낮고 가공성이 좋지 않기 때문에 주조 공정을 통한 생산이 일반적이다. 그러나 응고 되는 동안 형성되는 조대한 주조 조직으로 인해 미세조직 제어를 통한 기계적 특성 향상에 제약이 있다. 이와 같은 문제는 열간가공과 추가열처리를 통해 해결될 수 있으나, 주조용 합금의 경우 가공공정을 거치지 않으므로 열처리만으로 미세조직을 제어해야 한다. 이에 본 연구에서는 열간가공 없이 단계별 순환열처리법을 통해 주조용 γ-TiAl 합금의 미세조직을 제어하여 기계적 특성을 향상시키고자 하였다. 본 연구의 단계별 순환 열처리는 1000㎛ 이상의 결정립 크기를 갖는 조대한 주조조직을 70㎛ 이하의 미세한 조직으로 제어하였다. 또한 미세조직에 따른 기계적 물성을 평가하기 위해 인장 실험을 수행하였다. 조대한 주조 조직이 미세한 조직으로 대체 됨에 따라 상온에서의 기계적 물성은 향상되었다. 상온에서의 항복 강도는 482에서 650MPa까지 증가하였으며 연성은 0.3%에서 1.01%까지 증가하였다. 고온에서의 기계적 물성은 조직의 결정립 계면 형상에 따른 차이 존재하였고 완전층상조직은 고온에서 비교적 우수한 강도를 유지하였으나 준층상조직은 고온에서 강도가 감소하였다.

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